第586章 國產光刻機崛起的希望！高通？小丑（1/2）
第585章 國產光刻機崛起的希望！高通？小丑罷了！
EUV光源，即13.5納米波長的極深紫外光，是實現「超精密電路雕刻」的核心，直接決定了晶片的最小線寬、集成度與性能上限。
只需一次曝光，就能把掩膜版上的電路圖，複製到晶圓表層。
而傳統的DUV光刻機，需通過「多重曝光」，才能形成晶片所需的精細線路。
具體來說，就是要對同一區域的光刻膠進行2到4次光刻與顯影操作，最終效果才相當於 EUV光刻機一次曝光所能達到的水平。
梁勁松從格羅方德、聯華電子手裡購買的NXT 1950i DUV光刻機，雖然也能生產14納米、乃至10納米的晶片，但必須利用多重曝光工藝。
然而，多次曝光會導致光刻步驟增加，生產周期變長、良品率驟減、成本迅速上升，至少要高個30%到50%。
這也是為何阿斯麥只要不向華國的Fab工廠出售EUV光刻機，便能牢牢卡住整個半導體行業脖子的主要原因。
即便掌握了其他關鍵技術，也會因製造成本居高不下，從而失去商業價值與市場競爭力。
就拿同一款晶片產品來說，高通以20美幣的價格出售仍有毛利可賺，但國內晶片製造商若同樣以20美幣的價格售賣，反而要虧損三成。
面對這樣的成本與盈利差距，採購方自然不願買單。
陳延森提出的磁約束放電激發方式，則放棄了雷射轟擊液態金屬錫、激發極深紫外光的方案，轉而採用在強磁場約束下，通過高功率脈衝放電，在金屬錫靶表面產生穩定、高亮度等離子體的技術路徑。
優點顯而易見，固態靶材加高壓放電，機械結構更簡單，穩定性更高。
這是一項差異化極大的技術，可以繞過大量現有的LPP專利壁壘牆。
「辛苦了，繼續在磁約束放電激發技術的基礎上，深耕延伸專利，以防歐美的半導體公司使用微創新的手段，反過來限制我們。」
陳延森在聽完林南的匯報後，當即叮囑道。
高通為什麼栽了？
還不是他在射頻、通信解碼等技術上，設置了全新的專利壁壘，把高通的出口給堵住了。
要不然，保羅·雅各布能心甘情願地與天工科技簽訂專利交叉授權協議？
想都別想！
自己走過的路，當然要堵死！
他可不想有朝一日，突然冒出來一家公司，起訴星源科技侵權。
「好的老闆，我知道構建專利生態壁壘的重要性。」林南立即應道。
他是滬城光學精密機械研究所的高級工程師，在行業內小有名氣。
之前，星源科技和華科協會下屬光電所聯手推進攻關計劃時，胡銳暉就向陳延森推薦了林南。
陳延森要錢給錢，要器材給器材，完全是一副財大氣粗的樣子。
林南在研究所蹉跎了十幾年，眼看民營公司的研究員都拿到了諾貝爾化學獎，他哪裡還坐得住？
在收到陳延森的邀請後，二話不說，就加入了星源科技的光學研究實驗室，與光電所的院士們並肩作戰，試圖另闢蹊徑，尋找一種可商用的EUV光源激發方式。
起初毫無進展，直到陳延森指了一條天馬行空的路線。
用「電磁場」代替「雷射」作為激發和約束等離子體的手段，在放電區域周圍設置一組超導磁體線圈，產生一個特殊的磁鏡場構型。
先用脈衝電流激發等離子體，再用多層反射鏡來收集13.5納米的波長，最後聚焦和輸出。
林南原本不以為然，但在研究一段時間後，他發現老闆的方案並非是空想，而是具備極強的可實現性。
事實證明，這條路是對的！
「行，先這樣。」
陳延森極為平淡地掛了電話。
在他看來，光刻技術是個無比龐大的環節，除去光源部分，物鏡系統、雙工作檯、光刻膠等模塊也是重中之重。
搞定EUV光源的激發方式，不過是千里之行，才走一步而已。
另一邊。
林南暗自咋舌，表情有些失控，他其實很想再打回去告訴老闆：「憑藉這項技術，明年拿個國家最高科學技術獎，也不是沒有可能啊！」
可他轉念一想，深藍科技還有三個諾貝爾化學獎的獲得者，老闆的反應平淡也很正常。
由於『磁約束放電等離子體光源』是星源科技和華科協會的共同研究成果，消息在國內的科學界飛速傳開。
胡銳暉在得知後，猛地站起身，根本不敢相信。
「這才四個月不到，就特麼有成果了？開什麼玩笑？」
胡銳暉在辦公室里走來走去，竟破天荒地爆了粗口。
同一時間，哈工大光學實驗室和龍州光機所也收到了消息。
第一反應，假的！
可他們在反覆驗證後，又不得不相信，星源科技和燕京光電所，還真把EUV光源技術給搞了出來。
並且，還成功繞過了阿斯麥、卡爾蔡司、山星、灣積電和Cymer構築的專利防禦牆。
兩個小時後，李青松接到胡銳暉的電話。
「先封鎖消息，讓安國協會的工作人員立刻趕到滬城，所有參與了研發過程的人員，一律簽署保密條例。」
李青松在明白這項技術的重要性後，臉色瞬間變得凝重起來，衝著一旁的秘書吩咐道。
他在星源科技身上，看到了國產光刻機崛起的希望！
「好的，李先生。」秘書不敢耽擱，抓起電話就開始聯繫安國協會，將需要簽署保密條例的人員名單、對接流程一一梳理清楚。
李青松則站在辦公室的玻璃窗前，望著燕京灰濛濛的天空，不由地陷入了沉思。
星源科技在EUV光源領域的技術突破，像一道驚雷，劈開了自研光刻機路上的迷霧，可隨之而來的，還有無數即將襲來的暗流。
一旦消息泄露，阿斯麥、卡爾蔡司那些國際巨頭絕不會坐視不理，要麼通過專利訴訟拖延進度，要麼聯合供應鏈施壓，甚至可能動用盤外力量干預。
畢竟，半導體行業從來都不只是單純的技術競爭，背後牽扯著太多的利益博弈。
星源科技的發展讓人出乎意料！
與此同時。
滬城星源科技的光學研究實驗室里，林南正帶領團隊進行第三次穩定性測試。
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