第628章 難道沒有國外的技術，我們就造不出（1/2）

第627章 難道沒有國外的技術，我們就造不出EUV光刻機嗎？

「又卡殼了？」

陳延森看完林南的匯報郵件，眉心微蹙。

他沒想到，自己都已經把大門踹開，為他們鋪好了路，這幫人卻還是沒能力往前再走一步。

當前的難點有兩方面：

第一，中繼鏡組中的非球面反射鏡，需要將面形精度控制在50皮米以下，表面粗糙度得低於0.1納米的均方根誤差。

換句話說，這相當於要求一塊徽安省大小的區域，整體起伏不能超過一張A4紙的厚度。

難度可想而知！

目前，全球僅有燈塔國的賽高、德國的蔡司具備相應水準的鏡面拋光工藝。

可受到瓦森納協定的限制，即便花錢買，也拿不到供貨名額。

而哈工大、國防科大和華科協會長春光機所，儘管擁有離子束拋光與磁流變拋光技術，理論上能實現原子級的面形精度，但現實與理論往往存在巨大落差。

這就好比問，國內能造出F1賽車的發動機嗎？

按理說，華國不缺能生產金屬活塞和氣缸的工廠，也清楚內燃機的製造原理。

但F1賽車發動機並非單一部件的簡單組合，它是材料學、精密加工、熱力學、電子控制系統等頂尖技術的集成體，且對轉速、熱效率和可靠性的參數標準達到了行業極致。

由此可見，技術原理懂了，要落地到穩定的實際生產中，仍有難以逾越的鴻溝。

明白是一回事，造出來又是另一回事。

第二，鏡子打磨完成後，還得在表面鍍上40到60對的鉬、矽交替薄膜層，且每層厚度的誤差都需控制在原子級別。

鍍膜環節所需的磁控濺射技術，國內雖有不少研究所已掌握，但在均勻度和精細度上，仍然不符合EUV光刻機的使用需求。

此外，如何精準檢測鏡面光滑度也是個難題。

沒有測量，就沒有加工！

檢測能力決定了拋光水平的天花板。

2014年華國在高精度干涉儀領域，特別是用於EUV波段的檢測設備和技術，根本達不到50皮米的測量精度。

而林南和汪象朝等上百位研發工程師，已是光學賽道的佼佼者，連他們都搞不定的事，再找其他人，大概率也無濟於事。

他們盡力了，只是能力有限。

陳延森心裡清楚，他要是不出手，這場科研大會戰多半要成為一個笑話。

他略一思索，便讓林南先把離子束拋光、磁流變拋光和磁控濺射的技術文檔發過來。

與此同時。

滬城，星源科技光學研發中心。

林南倚在實驗台前，雙眼滿是紅血絲，神色黯淡。

汪象朝坐在一旁，拍了拍林南的肩膀說道：「別著急，車到山前必有路，慢慢啃唄，既然方案都有了，還怕搞不定工藝問題？」

滬城光機所的一名專家點頭附和道：「以前我們不需要皮米級別的拋光精度，所以技術進展就慢，現在不一樣了，只要搞定照明系統的非球面反射鏡，這EUV光刻機的光學系統，就等於拿下了一半的核心技術。」

話雖如此，實驗室里的氣氛卻沒怎麼緩和。

林南苦笑一聲，指著桌上的檢測報告：「道理都懂，可現實擺在這裡，我們的儀器測試精度僅有亞納米水準，面形精度夠不夠，壓根不知道。」

這無異於閉著眼睛走路，方向對不對都不確定，怎麼提升？

燕京光電所的年輕工程師語氣哽咽，一臉絕望地小聲呢喃道：「難道沒有國外的技術支持，我們就造不出EUV光刻機的核心部件嗎？」

這話就像一根鋼針，把所有人的信心都給戳破了。

「放屁！人家花了幾十年積累的技術，我們才用了幾天？這點耐心都沒有嗎？」

汪象朝猛地站起身，大聲反駁道：「一個月時間，我們就把照明系統的方案推演出來了，這說明思路是對的。

我已經和長春、燕京光機所的人溝通好了，接下來大家齊頭並進：咱們先攻堅投影物鏡系統，等拋光和鍍膜技術達標後，再整合各項技術，總能把這塊硬骨頭啃下來。」

他的話像一劑強心針，讓實驗室里低迷的氣氛稍稍回暖。

林南深吸一口氣，跟著站起來說道：「汪老說得對，咱們先按照分工，集中精力攻投影物鏡系統的光路設計。」

滬城光機所的專家立刻拿出圖紙，指著上面複雜的光路結構：「投影物鏡得把照明系統過來的光束精準聚焦到晶圓上，而且要消除各種像差，這對鏡片的曲率精度要求比反射鏡還高。

我們之前設計的光路，在模擬環境中還存在0.5弧秒的像差偏差，得再優化。」

汪象朝湊到圖紙前補充道：「我查過資料，蔡司的投影物鏡用了15片高精度鏡片，每片的面形誤差都控制在20皮米以內。

我們要是能把像差偏差降到0.2弧秒以下，後續工藝跟上，說不定就能趕上他們的水平。」

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