第632章 全球只此三家！一天9740萬！餌料要（1/2）

第631章 全球只此三家！一天9740萬！餌料要吃，自研不能停！

5月31日下午，星源科技光學研發中心。

此時雖值假期，但負責照明系統攻堅任務的上百名研發工程師，卻大多都在實驗台前忙碌著。

「面形精度34皮米！」

「鉬矽多層膜的表面粗糙度為46皮米！」

「光能利用率91%！」

「照明均勻性超過了98%！」

突然，測試組的一名年輕工程師大聲喊道。

其他人聞聲，不約而同地停下了手中工作。

「哈哈哈不積跬步，無以至千里；不積小流，無以成江海！林總，我沒說錯吧？這照明系統外國人能搞定，我們同樣行！」

汪象朝眯起眼睛，仔細琢磨著這幾組數據背後的意義。

這意味著華國半導體行業，首次掌握了完整的照明系統技術鏈。

一旦攻克投影物鏡系統、掩膜版與掩膜台的核心技術，華國將擁有一套具備世界領先水平的反射式光學系統。

至此，距離自研EUV光刻機，已經差不多走完了三分之一的艱難路程。

這一切，還不是全靠.老闆！

林南在心中暗暗思忖。

劉峰俊從廬州返回後，帶回了一套工藝成熟的離子束拋光、磁流變拋光及磁控濺射技術方案。

與此同時，陳延森的科研天賦也在研發中心漸漸傳開。

儘管起初大部分研究人員並不相信陳延森，但如今成果就擺在眼前，由不得他們不信。

更何況，還有劉峰俊這位當事人的佐證。

「汪工，技術文檔咱們有了，但這製造任務該交給誰？是長春國科精密，還是滬城微電子裝備？」

林南眉頭微蹙，看向汪象朝問道。

「選滬城微電子吧，」汪象朝略一思索後說道：「他們的真空系統和抗污染技術，在國內是頂尖水平，能最大程度提升成像質量。」

汪象朝這輩子的精力都撲在了光學系統研發上，對華國超精密光學製造行業的情況極為熟悉。

林南點了點頭，其實他心裡也更傾向於滬城微電子。

當天晚上，一面鍍上120層鉬矽薄膜的非球面反射鏡被送到了燕京。

華科協會的一眾大佬傾巢而出，齊聚光電所的實驗室。

有人站在一旁，神色複雜地望著這面直徑高達0.6米的反射鏡。

也有人迫不及待戴上無塵手套，小心翼翼地觸碰了一下光滑的表面。

「現在全世界，能造出50皮米以下面形精度反射鏡的公司只有三家，賽高、蔡司和星源。」

光電所的一名工程師輕聲嘆道。

他們苦熬了半輩子，連這項技術的大門都沒邁進去，可一家民營企業卻率先突破了難關。

有嫉妒，有欣慰，更有難以言說的自嘲，仿佛自己這輩子，都在空耗青春一般。

有人悄悄摘下眼鏡，擦了擦眼角的濕潤。

要知道，一面超高精度反射鏡，單是造價就需幾十萬元，售價更是高得驚人，至少要300萬美幣。

一台EUV光刻機需要配備六面這樣的反射鏡，僅這一項成本就達1800萬美幣。

而一台EUV光刻機的售價在8000萬到1.2億美幣之間，反射鏡的成本占比約為15%到22.5%。

單從價格上，就能看出反射鏡拋光與鍍膜技術的重要性。

窗外夜色漸濃，實驗室里的燈光卻亮得刺眼，映照著每個人臉上五味雜陳的表情。

「老陳，你還記得十年前我們去蔡司考察嗎？當時人家連實驗室的門都不讓咱倆進。」

光電所的張宇劍緩緩開口，看著一邊的首席科學家陳高輝說道。

「那時候我們只能從歐美地區的二手市場，購買淘汰、破損的反射鏡，回來拆解研究，就連鍍層的厚度都沒有靠譜的儀器去測量。」

陳高輝苦澀一笑。

次日一早，李青松和商務協會負責人、大基金項目負責人，一同趕往光電所。

……

……

「老陳，你著急回什麼春申啊？」

碧湖雲溪，六號別墅門前，陳延森衝著寶馬 X5駕駛室里的陳國賓說道。

「我回家陪你媽，你自己.多保重。」

老陳張了張嘴，欲言又止，最後話鋒一轉，簡單交代了一句，便駕車離開了。

「宋允澄喜歡吃紅豆蜜棗餡的粽子，記得多包幾個。」

陳延森回到客廳，對著沙發旁的葉秋萍吩咐道。

「你就不怕我在粽子裡下十斤老鼠藥？」

葉秋萍咬牙切齒地說道。

「啪」！

陳延森抬手便是一巴掌，葉師傅被打得秀眉緊蹙，一句廢話都不敢再說，捂著屁股匆匆跑開了。

同一時間。

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