第1623章 超解析度光刻（2/2）

「正是如此。」常浩南點頭讚許欒文杰的敏銳觀察，「當然那個成像屏也可以阻擋光路，以免高強雷射束射出測試範圍，對其它設備或者人造成影響。」

欒文杰下意識伸出手，想要在透鏡和平板旁邊比劃一下。

但旋即想起這東西恐怕不能亂碰，於是又縮了回去問道：

「那為什麼要把成像平板緊貼著透鏡放？」

「實際上是有縫隙的，大約1.5微米。」常浩南用手勢比劃了一個極其微小的距離，「只是肉眼難以分辨罷了。」

他戴上特製的防靜電手套，極其小心地取下了那塊位於透鏡和平板之間的核心平板——那才是真正的成像元件。

然後，開始回答對方最開始的問題。

「衍射極限之所以存在，根本原因在於傳統透鏡無法將光聚焦到一個小於半波長的區域。」

常浩南將那塊特殊的平板捏手中，展示到欒文杰面前：

「但我們的思路是，讓光線在一組折射率絕對值相等但符號相反的材料界面上發生『負折射』。」

他指向透鏡和手中的平板：

「具體說，就是讓從目標物體上發散出來的光線，在我們這塊由負折射率材料製成的平板上實現聚焦，理論上就能繞過衍射極限的束縛，真正實現完美成像。」

說話間，目光掃過屏幕上那不太清晰的173nm解析度靶標圖案。

於是又補充道：

「當然，實際操作中，材料的虛部損耗和界面阻抗不匹配的問題會引入損耗，影響倏逝波的傳輸距離和最終的分辨力，所以還做不到理論上的完美成像……但把有效成像解析度壓縮到衍射極限的一半左右，就像剛才看到的那樣，還是非常輕鬆的。」

「如果使用頻譜寬度更窄、更純淨的光源，結合材料工藝的進一步優化，大概還能進一步推到四分之一。」

欒文杰站在原地感覺大腦里像是經歷了一場信息風暴。

常浩南的解釋每一個字他都聽見了，但那些術語——「負折射」、「倏逝波」、「阻抗匹配」、「虛部損耗」——組合在一起，卻形成了一個他難以在短時間內完全理解和消化的全新物理圖景。

那種感覺，不是簡單的「不懂」，而是認知框架被強行拉伸、甚至局部撕裂的衝擊感。

這比單純看到突破極限的結果更讓他心神震動。

足足有半分鐘，他只是看著常浩南手中的那塊平板，又看看屏幕上清晰的圖像，嘴唇動了動，卻沒能發出聲音。

作為工建委主任他深知這種顛覆性技術的戰略價值，但正因如此，那份源於未知的沉重感才更加強烈。

不過，哪怕這周圍沒有外人，如此目瞪口呆的樣子也不適合維持太長時間。

「咳咳……」

欒文杰清了清嗓子，準備暫時略過光學理論部分，將話題拉回到更務實的層面：

「常院士，我明白了……嗯，至少明白這意義非凡。」他指指屏幕，「這個測試結果……我能不能拷貝一份帶回去？向上級匯報時，這個直觀的證據比任何語言都更有說服力。」

常浩南卻擺擺手：

「欒主任，這個測試作為原理驗證是成功的，但作為向非專業人士展示的材料，還是太抽象了。」

華夏的決策層多數是理工科出身不假，但幾十年遠離一線技術工作，未必還能想起來多少具體的知識。

他把手中的鏡片放回原位，繼續道：

「我計劃用我們基於負折射原理製作的透鏡，和一塊傳統PMMA（有機玻璃）透鏡，同時對一幅專門設計的、包含200nm線寬特徵的複雜微結構圖案進行曝光成像，然後用原子力（AFM）顯微鏡對二者的成像結果進行表面形貌掃描。」

「到時候，把AFM掃描出來的三維形貌圖並排放在一起——一邊是細節清晰、邊緣銳利的圖像，另一邊是糊成一團、根本分辨不出結構的『馬賽克』……視覺衝擊力會更強。」

這個方案顯然經過了深思熟慮，哪怕不懂物理的人，也能一眼看出差別。

「好！這個好！」欒文杰想像著那兩幅對比鮮明的圖像，緊繃的神經終於舒緩了一些， 「非常直觀！那我就等著你這邊的AFM對比圖了！」

(本章完)