第1608章 這位常院士未免太過激進了(2/2)
「張研究員,先不急著看資料。」
這個態度,讓另外二人有些愕然。
「火炬實驗室的新理念,是完全……顛覆性的。」常浩南解釋道,「現有設計方案本身的參考價值恐怕有限,關鍵在于思路,包括折反式系統的設計方法,還有一些關鍵過程和數據。」
張汝寧臉上的笑容微微一滯,眼底掠過一絲難以察覺的訝異和……不服氣。
參考價值有限?
他帶來的可是對標國際頂級DUV光刻機的核心光學設計方案!
這位常院士的口氣,未免太大了些。
不過,他倒也不至於表露出來,只是點了點頭:「那我們就客隨主便聽常院士您安排就是。」
常浩南也看出了對方的小情緒,但只是起身,做了個請的手勢:
「二位跟我來。」
張汝寧和吳明翰對視一眼,都看到了對方眼中的疑惑。
對方強調兩個人,那意思當然是不能帶隨行人員。
好在這是國內,倒不用擔心什麼摔杯為號衝出五百刀斧手之類的劇情。
於是兩人將隨行人員留在會議室,隻身跟隨常浩南,深入到了火炬實驗室的地下測試中心。
剛一踏進測試大廳,張汝寧的目光就被吸引住了。
「這是……蔡司最新的那台三坐標測量儀?精度能達到亞微米級了!」
他幾乎不由自主地走向一台造型精密、閃爍著金屬光澤的大型設備,如同看到稀世珍寶。
如果不是有一層窗戶擋著,怕是要上手摸一摸。
「還有這台,同步輻射光源的小角散射裝置……」
「Talysurf PRO+表面輪廓儀……」
「……」
張汝寧的語氣充滿驚嘆。
「這些設備的投入,簡直難以想像!」
他本人的課題組建立較早,不少設備已經並非最新型號。
而長光集團畢竟是個企業,要考慮投入產出比的問題,不可能無限制地追逐新款。
常浩南微微一笑,並未在此多作停留。
「張研究員見多識廣。不過,今天的重點不是這些。」
他引著二人,徑直走向測試中心一個相對僻靜的角落。
那裡擺放著一台看起來相當「樸素」的光路演示儀。
儀器主體就是一個帶有精密位移台的黑色光學平台,上面固定著光源、幾個調整架和一個觀察埠。
平台旁邊連接著控制電腦和顯示器。
但此時正關著機。
栗亞波早已在此等候。
張汝寧快走幾步,饒有興致地湊近光路儀。
他本以為會看到一組結構複雜、鏡片林立的實驗性物鏡原型。
然而,當他來到跟前時,卻發現光學平台中央的調整架上,只固定著孤零零的一個光學元件。
一片厚度大約幾個毫米的、長方形的……
鏡片?
它被小心翼翼地夾持在一個特製的夾具中,表面平整如新。
但無論怎麼看,這都只是一片平面鏡而已。
「常院士,這是……」張汝寧疑惑地看向常浩南,又看看同樣一臉茫然的吳明翰。
他完全無法理解,這片看似普通的平面鏡,如何能與「顛覆性」的光刻物鏡設計理念聯繫起來。
常浩南沒有直接解釋,只是對栗亞波點了點頭:「亞波,開始吧。」
「是,老師。」
栗亞波早已做好設置,此時只需要按動一下啟動按鍵即可。
嗡的一聲輕響,一道穩定而纖細的綠色雷射束亮起
與此同時,光路儀四周厚重的遮光罩緩緩升起、閉合,將整個平台籠罩在黑暗之中。
只有控制面板上幾個微弱的指示燈亮著。
幾秒鐘後,栗亞波輕輕點頭,讓出了觀察口的位置,示意準備就緒。
這個速度,快到如同兒戲。
吳明翰好奇心更重,率先將額頭貼上觀察口的目鏡。
然後……
安靜。
沉默。
直到幾秒鐘後。
「嘶——!」
一聲極度壓抑卻又充滿難以置信的抽氣聲,猛地從吳明翰喉嚨里發出!
他整個人如同被電流擊中,身體瞬間繃直,貼在目鏡上的額頭甚至微微後仰了一下,嘴巴張得老大。
仿佛看到了最不可思議的魔法!