第1604章 去你們華芯國際看一看（2/2）

上午的會議結束，人群開始散場。

常浩南沒有立刻離開而是起身，徑直走向了正被幾位同行圍住交流的吳明翰院士。

「吳院士，您好。」常浩南伸出手，語氣平和而尊重。

吳明翰連忙結束與旁人的談話，轉過身，雙手握住常浩南的手：「常院士！您好您好！沒想到您也來參會了，剛才的議題……」他以為常浩南是來討論大會內容。

常浩南微微一笑，開門見山，卻又繞開了剛才大會的焦點：「吳院士，這次來，是想了解下華芯國際在更成熟製程方面的能力。」

這個說法實在有點太模稜兩可，吳明翰用筆帽蹭了蹭頭髮：「具體是指……哪方面？」

會場內人多眼雜，再者栗亞波那邊的試驗也還沒個結果，所以常浩南還不準備把自己的成果直接說出來。

而是換了個角度。

「我們火炬集團，連同火炬-法拉利公司，目前正在積極布局智能製造和工業物聯網領域。」他提到了自己掌控的資源，「這一塊對晶片的需求量巨大，而且跟傳統的工控需求不同，這一塊對產品性能的要求不亞於消費端。」

「不知道……華芯國際目前在48nm，以及更精細工藝節點的產能如何？是否能支撐大規模、高性價比的流片需求？」

吳明翰作為內行人，當然知道再怎麼高精尖的工控需求也不太可能跟消費端一樣，所以對方的提問大概率是醉翁之意不在酒。

因此比較委婉地回答道：

「常院士，智能製造和物聯網這塊，主要應該是48nm，或者更成熟的65nm、90nm節點，這些算是我們目前產能的主力，良率和穩定性經過多年打磨已經相當不錯，成本也有競爭力，但是……」

他話鋒一轉，轉向另一個角度：

「您說的『更精細節點』，如果想通過NXT:1950i這樣的深紫外設備製造，那就要結合離軸照明、相移掩模、還有多重曝光這些技術，去強行實現比理論極限更高的解析度……技術上，我們確實在攻關，也取得了一些成果。」

常浩南也看出對方是會了意，於是追問：「量產能力和良率如何？」

吳明翰搖搖頭，語氣變得沉重起來：「理論上，曝光次數每翻一倍，解析度就能增加一倍，但實際問題非常大……」

說到這裡他略略加快腳步，和常浩南來到一個稍僻靜的地方：

「一方面，這些技術本身極其複雜，工藝整合還不完全成熟，任何一個環節的波動都會導致失敗。另一方面，多重曝光極大地增加了工藝步驟和套刻對準的次數，每一次對準都會引入微小的誤差，累積起來，會導致晶片上特徵尺寸的均勻性變差，關鍵尺寸偏差飆升……」

「總體來說，雙重曝光可能可以實現比48nm更高的特徵尺寸，但良品率和成本都不太容易控制，產能也就不可能提上去，至於四重曝光……」

吳明翰臉部肌肉抽動了一下：「理論性能幾乎可以對標EUV，不過大概率連一片產品都流不出來。」

常浩南靜靜地聽著，臉上沒有任何驚訝或失望的表情，仿佛早已預料到這個答案。

他對吳明翰描述的困境不置可否，既沒有追問細節，也沒有表達看法。只是在吳明翰說完後。

只是沉默了幾秒鐘，然後提出了一個讓吳明翰更加意外，卻又隱隱覺得合情合理的請求：

「吳院士，您說的我明白了。技術攻關的艱難，我深有體會。」他停頓了一下，「不知是否方便……我想近期親自去華芯國際的晶圓廠參觀一下……不需要特別安排，就看看你們最真實的生產線和工藝現狀。」

實際上，這個要求提的有些冒失。

華芯國際畢竟是個企業，常浩南手裡也有企業，雖說不構成直接競爭，但你開口就要去最核心的地方看看，總歸不太合適。

但吳明翰心中卻念頭飛轉：常浩南院士突然對晶片製造產生了濃厚興趣？而且是成熟製程？還要實地看生產線？

這絕對不僅僅是出於對智能製造晶片供應商的考察那麼簡單。

聯想到火炬實驗室那些前沿研究成果……

吳明翰的心臟不由得加速跳動了幾下。

他隱隱感覺到，這次參觀如果成行，或許會帶來一些意想不到的轉機。

「當然方便！」吳明翰冒著越俎代庖的風險應承下來，「我馬上聯繫人安排！您看什麼時候合適？我們全程配合！」