第3314章 全球SPIE微光刻會議（1/2）

在趙長安看來，要說這些世界一流的企業裡面，沒有一點明白人，那是根本就不可能的事情，而是這些明白人根本就沒有足夠的話語權。

更重要的是sony，Panasonic，aiwa這些企業在個人可攜式音樂播放器市場，尤其是中高端市場，以及形成了世界性的壟斷地位，手握著大量的技術專利實體工廠，以及多年以來持續性的方向研究和數以億美元計數的投資資金。

假如選擇進入mp3市場，就等於一夜之間他們大量的工廠，數以萬計的員工，以及積累了幾十年的大量專利，幾乎全部被清零。

這種等於壯士斷腕的事情，基本上正常人都很難輕易的做到。

只有到了未來，隨著mp3制式在世界音樂播放器市場形成不可阻擋的趨勢和洪流，這些老大帝國的企業才會不得不痛苦的在現實面前低頭。

這種情況用在目前新一代光刻機的研發上面也是如此，現在世界光刻機巨頭是Nikon和Canon，都依然在豪賭步進式光刻機。

而新進的造機新勢力AL，更是在老美的牽頭下，發誓要在新一代的光刻機領域，打破Nikon和Canon的技術和市場壟斷，讓歐美人也擁有世界最高科技前沿的光刻機企業。

目前Nikon和Canon，在157nm深紫外雷射波（DUV）步進式光刻機的研發上面，已經投入了幾十億美元，雖然處於世界領先地位，不過157nm的光會被現在所用的193nm鏡片吸收，穿透率低，無論是鏡片還是光刻膠都需要重新的研發配適，同時氧氣對157nm光波吸收性很強，——這麼一大堆的問題，都是目前世界上這幾家（DUV）步進式光刻機在研發下一代光刻裡面遇到的難題需要客服。

而且即使能夠實現良品率的量產，157nm的DUV也只能把解析度提高23%，而對於之後的下一代光刻機，這似乎已經成了走到科技樹極限的死胡同。

只不過因為前面天量的投資，使得Nikon和Canon明知道157nm的DUV很有可能已經做到了這一方向的製程極限，然而那句話『超前一步是天才，超前幾步是瘋子』的箴言，他們顯然都很信奉，卻依然在拼命的豪賭。

原因很簡單，只有這麼做他們才能依然保持著行業壟斷，同時收回前期投入的幾十億美元的資金。

這個情況就像現在的個人可攜式音樂播放器市場，他們不是不明白新技術的優勢和代表著產品的未來方向。

而是不願意新技術現在就在市場上蠶食他們的份額，更不願意一切重來的推倒爐灶。

而且即使在研發157nm的DUV光刻機的時候，這兩家公司也在多電子束，離子流技術，甚至浸沒式光刻技術光刻技術，等等研發領域悄悄的組建了研究機構，並且大量的提前申請布局專利壁壘。

就比如在三年前的99年3月16日，Nikon公司就向專利局提交了浸沒式光刻技術專利申請，專利名稱是「Projection expoethod and 」。該PCT國際公開日是99年9月30日，國際公開號：WO99/49504。

可以說是相當的雞賊。

包括和AL合作的麻省理工學院（MIT）林肯實驗室，也在157nmDUV上努力的給AL助力。

不過他們研究的方向有別於Nikon和Canon在純氮氣中進行157nm光波雕刻，而是選擇了離子水（純化水）狀態下的157nm浸沒實驗。

這個實驗大致和Nikon的浸沒式光刻技術專利差不多，都是研究在純淨水狀態下157nmDUV的雕刻性能。

就在幾天前的全球IT做出研發報告157nm浸沒實驗的結果。

本章未完，點選下一頁繼續閱讀。