第3686章 斯維拉克（1/2）

「目前擁有130nm製程的企業，只有我們ASML和Nikon，Canon三家，現在準備突破這個闕值的企業，也同樣只有我們三家。Nikon和Canon在兩年前就開始研發ArF光刻機，在氮氣介質下，193nm最低可以做到65nm製程。這個選擇當然是最穩妥的一條路，就像從G線的436nm到i線的365nm，再到KrF的248nm，以及現在他們正在做的推進到193nm，165nm，157nm。」

斯維拉克不斷來回更換著手裡面的幻燈片，嘴上不帶絲毫的停頓：「問題是，現在越往下推，技術上的困難都是呈現幾何級數的增長，而且不穩定性也成倍的激增，也許他們可以做到65nm製程，可這條路，基本上到了65nm這個極限，就宣告走到了一個封閉的胡同。」

「而採用流體介質，目前最好的選擇是純淨水，在193nm波長下，經過1.44的水介質折射，等效於134nm光源，這就等於ASML跳過了193nm，165nm，157nm這三個節點，跨越了乾式步進式光刻機三個代層，遙遙領先的把Nikon和Canon遠遠甩在身後！」

斯維拉克慷慨激昂的講了大約半個小時，然後躬身結束，趙長安首先鼓掌，蘇博等人也熱烈的鼓掌跟進。

放映廳的大燈亮了起來，斯維拉克關了放映機，下面就是一納米北美的提問環節。

趙長安對這些並不是太懂，不過好在蘇博是個專家。

其實趙長安根本就無所謂懂不懂，作為一條曾經躍出水面的魚，他已經知道了如果分支線沒有大的改動下的ASML的未來，所以即使他還懂一點，就算什麼都不懂，也不妨礙他對投資ASML的信心。

只不過總得像模做樣的做個戲給大家看看，讓他們覺得自己這邊也是經過了艱難的思考和決定，最終選擇豪賭一把大的。

「光刻機所牽扯的領域很多，其中光源，光學，工作平台是最基礎的三大系統，掩膜版，光刻膠，輔助測量聚焦環境傳輸系統，——」

蘇博說了一堆在馬丁和斯維拉克聽著是廢話的話，其實他是在和趙長安王渝講解，然後說道：「對於氟化氬氣體193nm雷射源通過折射得到等效於134nm光源，我沒有什麼異議，然而在液體環境裡和氣體介質中，流體阻力相差12倍，而且對於不同環境下的光刻膠和掩膜版曝光的技術要求，也會有著很大的區別。」

「這個確實是一些難題，不過就像Nikon和Canon的研發一樣，在193nm層面這些問題他們也許可以解決，然而到了157nm，很多同樣不比134nm水介質條件下光刻膠和掩膜版的曝光技術問題更容易的問題，也同樣會出現擺在他們面前。」

馬丁知道眼前這個三十多歲的中國人提出的問題，是至少現在134nm所面臨的幾個非常棘手，也必須得攻克的難題，雖然他有信心相信一定能夠找到一種合適的解決方案，然而這個合適的解決方案具體是什麼，他現在當然也是根本就不知道。

不過這也是他們ASML現在得不到英特爾這些企業豪爽投資的重要原因，要是他知道了解決方案，哪裡還需要這麼熱情和費勁的接待這個投資團隊。

蘇博點點頭，知道馬丁說的這些話等於啥都沒有說。

然而這也是無所謂的事情，現在老闆是不管ASML能不能研發出來浸沒式步進機，他都是鐵了心的要投資砸錢，而他也覺得就算ASML最終研發浸沒式步進機失敗，這筆投資也是值得的事情。

只不過要用這些話表示一納米北美團隊並不是真的什麼都不懂，而是相信他們ASML的技術能力，願意和他們一起豪賭。

同時也是讓ASML這邊明白，一納米北美團隊也不是傻子，不要想著隨隨便便的畫一張大餅，就敢漫天要價的亂要錢。

價格可以相對高一點，但是總不能太過分。

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