第3666章 蕭揚明的勸說(2/2)
之後數年,隨著ASML不斷的對PAS5500進行技術改良和升級,引入更高解析度的i-line、氟化氪(KrF)和氟化氬(ArF)系統,老東家飛利浦也是賺錢賺的合不攏嘴。
在97年的時候,由飛利浦的牽線,以及歐美半導體產業迫切想要擺脫東洋半導體產業的依賴,老美也盯上了ASML這塊肥肉,隨著眾多企業投資加入,以及成功的在阿姆斯特丹和哥譚市證券交易所上市,ASML開始研究極紫外線,到了99年ASML極紫外線光刻機研發聯盟成立,第二年財大氣粗的ASML收購了美國光刻機製造商矽谷集團(SVG),在原來的拳頭產品PAS5500之外,進入更細微的193納米領域。
在去年年底的全球SPIE微光刻會議上,由於Nikon和Canon的強勢,157nm深紫外雷射波(DUV)步進式光刻機的研發主流方向,依然是處於純氮氣中的技術改良。
而沒有提倡嘗試157nm深紫外雷射波,在液體浸沒狀態下的浸沒式光刻技術。
從會議之後到現在,整個ASML的研發部門,依然是各種爭吵中,對於157nm浸沒式研發是否開始,有著極大的分歧。
「目前的問題是,如果選用157nm純氮氣環境中的研發,這個方向Nikon和Canon已經投資了幾十億美元,進行了幾年的研發,手裡面也持有大量的專利。即使最後進行大量的投資,製造出來,怎麼和他們競爭?就算可以競爭,然而有著一些繞不過去的專利壁壘,難道還需要從他們手裡面高價購買專利許可。」
蕭揚明搖頭對趙長安說道:「我的合同將於今年七月到期,不管ASML有沒有和我續簽的意向,我已經決定了離開。這一兩個月的爭吵,根本就看不到任何成功的希望,在我看來,這個ASML最終只會淪為美國想要重新獲得世界半導體行業領先和控制權的一個失敗的嘗試和笑話。當然也不完全就是一個笑話,他們可以把ASML作為備用,用來威脅和打破將來Nikon和Canon在157nmDUV的定價權和壟斷權。這也算實現了這些政客們的一個目標,然而對於我們這些搞技術的,等於是跟在別人的屁股後面,一路吃屁,浪費時間。」
蕭揚明是從復大出去的留學生,他和趙長安大一時候的導員王渝的同班同學,也是一起到麻省留學,之後在歐美半導體行業幹了近十年,還不到三十五歲的年紀,頭上已經有了不少的白頭髮,臉上也有了很多和實際年齡不符的皺紋。
四年前唐文炫想要振興學校的微電子專業,向全世界從復大出去的依然在半導體領域工作而且比較優秀的學生們,發了一批青年教師邀請函,蕭揚明也收到了,不過他沒有和王渝那樣選擇回國,而是繼續參與PAS5500氟化氪(KrF)光源的升級研發。
今天蕭揚明見到這個不遠萬里過來的小學弟,上來就給趙長安潑了一盆涼水,說自己準備離開ASML,就是不希望他一頭扎進去。
歐洲和老美之所以這麼不遺餘力的砸錢投入大量的多種行業和領域的技術精英,是為了遏制Nikon和Canon,咱們作為中國人,吃飽了撐著跑過來給歐美掏錢助力?
這是一家位於阿姆斯特丹機場附近的飯店,為了見自己這個小學弟,蕭揚明專門從費爾德霍芬趕過來,就是想要說服趙長安不要摻和這種花錢吃虧不討好的事情。
而楊一心,葉奕奕,喬航等人則是到米娜提前定的酒店下榻休息。