第164章 浸入式光刻技術（1/2）

兜兜轉轉一圈下來，趙燁發覺再搞出三微米技術之前，他必須還要腳踏實地的搞出一個中間階段來。

直接上三微米，目前面臨的問題太多了。不是說硬上不行，而是就算做出來了，在應用上一系列的設備根本就支持不了。

這就好比火車提速，不是說你的火車發動機功率足夠就可以了，你要想跑得快，從車廂設計，轉向架，車輪，鋼軌，彎道，線路，等等等等，都要符合提速後的要求才行。這些東西不支持，你光有一個發動機是不夠的。

第二代光刻技術如今已經很成熟了。

半自動化的操作，讓成品率保持在了一個能夠接受的範圍內。如今趙燁看著實驗室里的這台設備，想的是一個投機取巧的辦法。說白了，就是把現在的干法蝕刻，變成濕法蝕刻。

簡單來講，就是把要照射的矽晶片，浸到水裡。

水是種透明的液體，純淨的水，在一定溫度下，它的折射率是固定的。那麼把矽晶片放到水裡，在紫外光照射到矽晶片之前，要先經過水的折射。

只要控制好掩模和光照的方向，就能在現有的設備基礎上，把製程工藝提高半步。

這樣一來，之前製程，就能進步到5微米上下了。

有了這個工藝方法，趙燁就可以在以後的技術升級中，占有一定的優勢。

設想是好的，不過想要實現這個技術，難度也很大。

比如水是液體，在工作檯晃動的時候，水是會跟著動的，而且在工作檯停下來的時候，水是不會立刻就停止運動的。

這樣一來，如果光線照射下來，就會因為水的不均勻，似的折射角度發生極大的偏差。

所以這個時候，就要求工作檯不能移動，或者是說不能過多移動。

還有一種方法，是把液體的盛在一個密閉的容器里，這樣就能避免液體的波動造成的誤差。

不過這樣一來，也有它的弊端，一是操作不便，效率低下。再者就是用於密封的容器，本身就可以看成一組鏡片。他的純淨度和折射率同樣是不規整的。

假如可以做出純淨度和折射率都很完美的玻璃，那直接做透鏡組就好啦，幹嘛還用來做容器呢？這就是多此一舉了。

用水，本身就是利用了純淨的水容易加工這一特性，再給它加個蓋子，那才是脫了褲子放屁，多此一舉呢。

趙燁一個人蹲在實驗室里，連著好多天都在看著這台設備發呆。

周圍的人很多都不怎麼認識趙燁，對他的研究風格非常好奇。

可是這些人註定是失望的，趙燁在眾人眼前就是這麼蹲著，一點多餘的行為都沒有。

既看不到趙燁做驗算，也看不到趙燁畫圖紙。大家不免對趙燁的行為有了不好的猜測。也就是他過去的光環太耀眼了，否則說怪話的人肯定是少不了的。

就這樣過了幾天，一早來上班的人發現趙燁終於不再盯著那台光刻機看了。

因為他已經把這台機器給拆的七零八落。零零碎碎的各種零部件就擺放在一張帆布上。

「趙副處長，您怎麼把這台設備給拆了？這可是要用來做實驗的，咱們八號實驗室就這麼一台呀！」一個小頭頭見到這樣的場景，跑過來就指責趙燁。

趙燁只是看了對方一眼，並沒有多說話。

「趙副處長？你聽到我說話了嗎？你這個態度……」

「行了，行了。我聽見了，責任我來負，你不用管。」趙燁見那人還想再說什麼，終於忍不住打斷了對方的說話。

「趙副處長，我們今天的實驗可就沒法再做了，完不成任務進度，這可不是我們的責任！」那個小頭頭立馬就甩鍋道。

「嗯，知道了。你去忙你的吧，另外你們的實驗任務我知道，這樣，你們小組今天就寫總結報告，那個實驗任務不用再做下去了。一會兒我給你們新的任務。」趙燁的話更不客氣，說白了，那人只是一個小組長，還沒有資格教趙燁做事。再說了，他怎麼進來這個實驗室的，趙燁心裡一清二楚。

他確實是沒有權利讓他走人，不過，既然是進來了這裡，服從上級管理和工作安排，這個是最起碼的要求吧，總不至於這個都不行吧。

很抱歉，趙燁是這裡的最高領導者。

那個說話的小組長當場就有些石化了，說真的，他們的實驗任務都做了小半年了，不說順風順水吧，起碼思路是已經有了的。剩下的就是熬時間，做驗證，直到最佳的方桉被選出來。

可是現在，趙燁輕飄飄的一句話，他們這半年的心血就已經打水漂了。

趙燁是領導不假，可是他們也是有脾氣的呀！

「趙副處長，我們小組需要一個解釋！你不能隨隨便便就停掉我們的實驗工作，這裡面包含了我們…」

「行了行了，我知道你想說什麼，是包含了你們半年多的心血是吧？」趙燁被人說的有些煩躁了，他放下手裡的工作站起來，隨手在自己的辦公桌上拿起一疊文件，遞給了對方。

「這是我弄出來的實驗結果，配方和生產工藝流程都寫在了上面。我就納悶了，一個這麼簡單的東西你們弄了半年，你確定你是來這裡搞研發的？不是來混日子的？」

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