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第271章 再一次成功,跨上台階(1/2)

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周志強是好幾天都沒回總廠了,而且同樣是好幾天沒回家裡去了。

新光刻工藝的實驗已經接近尾聲,這兩天就是不斷實驗的過程。

實驗車間內,一台被改進的已經和接近式光刻機相似的設備、不對,應該說本來就具備接近式光刻工藝原理的光刻設備,正準備運行。

技術人員一邊檢測一邊準備操作,如果這已經是周志強帶人進行的第三次微調。

如果這次失敗,他們依舊要尋找修改微調的地方,成功的話,那他們就實現了半自動化生產半導體矽片。

以後不單單是生產效率提升了一大截,就連用這台光刻設備生產出來的半導體矽片都可以讓集成電路的性能大大提升。

透鏡單元一致性復檢通過,誤差在萬分之三內;光源預熱完成,功率趨向穩定,具備了實驗的可行性。

掩膜版已精確裝載、對準;矽片塗膠也完成了,參數符合最開始的計算設定

技術人員在林工的帶領下,將所有儀器設備全部檢查了一遍,確保所有數值都達到開始實驗加工的界限後,才轉頭向周志強和趙成輝兩人點點頭。

「開始吧,第三次加工試驗。」

「是。」

技術操作人員也有些緊張的深呼一口氣,隨後便按下了啟動按鈕。

在設備開始運行後,輕微的嗡鳴聲響起。

設備內部,經過無數次優化調整的勻光系統開始工作。

慢慢的將汞燈發出的紫外光均勻化、整形,透過那面精心製作、鍍膜均勻度達到新高的掩膜版,精準地投射在下方塗覆了光刻膠的矽片上

技術操作人員也十分謹慎小心,生怕因為自己把這次實驗搞砸了。

旁邊圍觀的人更是一點聲音都不敢發出,畢竟這台新的光刻設備,是他們這麼多人,用了將近半年才改良出來的成果。

年前單單是參數計算和數據收集,就用了一個多月,年後沒休息幾天,項目組內的人又全員匯聚,悶在數控分廠內不斷設計研發。

到現在已經進入四月底,沒幾天就到了五月份,他們要是再不成功,數控系統壓根趕不上總廠那邊的精度。

現在總廠項目組的進度可謂是飛快,有了兩個高校的教授和技術專家支持,還有一堆懂得計算、打下手的大學生。

這讓總廠的項目組飛快的解決了一個又一個的難題,現在已經在等數控分廠的數控系統,進行聯調測試.

時間一分一秒的流逝,單單每一秒都讓其它人感覺度日如年,更別說要等一分鐘了。

不過儀器上顯示的代表光功率穩定性的曲線波動機器微小,沒有意外出現的徵兆

「曝光完成。」

技術操作人員在完成這一步後,立刻開口匯報導:「廠長,趙副組長,我要準備開始顯影了」

「好好,一定要穩住。」

趙成輝聞言後連忙叮囑道,他語氣都壓著激動,要不是接下來還有步驟沒完成,他聲音都壓不住。

接下來操作技術人員又按部就班的將後續的操作全部小心完成。

顯影后的沖洗,隨後小心放到高倍顯微鏡下,操作技術人員這才回頭鬆了一口氣的說道:「廠長,趙副組長,已經生產完了.要不,還是你們來看吧?」

「成輝同志,你去吧。」

周志強笑著說道,他心中有種預感,這次的實驗已經成功了,所以讓趙成輝去看。

剛才的操作的一點問題都沒有,這台光刻設備也是他用收集推演助手,用符合這個時代的技術材料,推演了兩遍才製造出來的。

工藝原理上沒問題,設備也沒問題,操作更是謹慎的沒問題,那就不可能出現失敗的情況,所以周志強才會將宣布這個好消息的機會讓給趙成輝。

「那我就不客氣了啊。」

趙成輝也沒退讓,深呼吸一口氣後,很快便湊到目鏡;在他的視野中,一片在矽片上蝕刻出的微細線路圖案清晰地呈現出來!

一點瑕疵都沒有,邊緣陡直圖案保真度極高,和掩膜版上的設計預想幾乎完全一致。

趙成輝反覆看了兩遍,隨後才高興抬頭說道:「志強同志,成了,咱們這次的加工實驗很完美,均勻性非常好!」

「讓我看看。」

「我也要看,林工看完後讓我看看.」

其他人聽到趙成輝的話後,都紛紛想要上前觀看,畢竟這可是新一代光刻設備製造出來的矽片,精度較之前更高。

距離他們上次研發出矽晶片還不過兩年多,現在他們又讓國內的半導體上升了一個台階。

這對電子工業和其他行業的影響,可以稱得上跨步式前進了。

別的不說,單單計算機的製造上,趙成輝感覺就可以讓計算機的體積再次縮小,並且性能還會提升,比之前的大頭機提升許多。

還有其他能用的上半導體的電子工業,都可以嘗試更新換代了。

「同志們,測試,最後這一步千萬別忘了。」

周志強的開口,壓下了在場所有人心中的激動,讓他們想起來雖然加工製造出來了新的矽片,但還沒經過測試呢。

於是連忙有技術人員,連忙操作起顯微鏡配套的測量系統,一項一項的開始測試起新的矽片黑精度。

「套刻精度優於.五微米!?」

「線寬均勻性.整片的波動小於百分之四!」

等所有的測試都完成後,試驗車間內才響起熱烈的歡呼慶祝聲。

雖然和之前的項目比起來,這次才忙了不到半年,已經算快的。

但取得的成就可一點不見少,他們在半導體器件的製造精度上,又快要追上國際一流的水準了。

現在說不定比他們強的,也只有阿美這一個國家了。

不過這也是周志強的推測,畢竟半導體這方面在西方國家,也是保密程度比較高的,對他們都是禁運的。

但是禁運就禁運吧,現在他們國內已經研發出不輸於世界一流的半導體製造工藝了。

「靜一靜,各位同志們。」

周志強揮手讓車間內歡呼的技術人員們安靜下來,隨後大聲宣布道:「我們成功邁出了最艱難的第一步,但這僅僅是開始!

實驗室的成功,距離穩定的大規模工業生產,還有很長的路要走,接下來,我們要進行更密集、更嚴苛的重複性測試穩定性。」

「成功率之後是良品率,還有工藝標準等各種『硬骨頭』等著咱們。

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