第223章 實驗驗證的核心挑戰（1/2）
賀鵬濤身為春城光機所院士，在光刻機核心光源系統這個領域中，可以說已經奉獻了小半輩子時間，要單論經驗絕對稱得上國內頂尖專家。
也正因如此，他才更加清楚，研發穩定極紫外光源的複雜程度。
作為國際上公認的高端光刻機，極紫外光源可以說是必備的東西，沒有這種穩定且功率足夠的光源，就無法製造更精密工藝的晶片，儘管相關理論不是絕對秘密，但關鍵是能不能把光源搞出來。
而徐銘藉助等離激元耦合態理論，提出了一種新的極紫外光源設想。
相當於另闢蹊徑。
只要能完成實驗驗證，依舊可以獲得極紫外光源。
簡單來說的話，就是原本的方法，已然被海外半導體設備公司壟斷。
導致國內這邊無法實現突破。
在這種情況下，徐銘卻找到了其他道路，並且還更加高效簡單，所具有的意義可想而知。
不過賀鵬濤在今天之前，想的都是，大家先坐在一起對徐銘的設想進行完善儘可能的查漏補缺，也好減少實驗的試錯成本。
畢竟從一項大膽的設想，到具體的驗證結果，中間往往需要不少時間。
但他萬萬沒想到，看完徐銘完成的內容後，整個人直接就被震驚住，首次對真正的天才有了直觀的體驗。
徐銘僅用短短几天時間，便獨自完善了設想，相當於直接整了份論文出來。
面對擺在眼前的事實，賀鵬濤回顧過往，發現以前遇到的所謂天才，和徐銘竟沒有可比性，怪不得對方能在學界創造出這麼多奇蹟。
「原來真正的天才是這樣式的。」
說完心中暗自感慨一句，剛準備再開口，只聽耳旁又響起丁順安的聲音。
「徐總師。」
「你現在可是整個光刻機專項的主心骨，眼下工作才剛剛展開，必須要注意好身體，保證睡眠多休息才行啊。」
「下回不能這麼熬了。」
丁順安同樣看出了這份文件的含金量，心裡第一反應就是徐銘熬了通宵，否則實在難以想像是幾天的成果。
外界都說徐銘一個理論數學家，擔任光刻機項目的總設計師是瞎胡鬧，現在看來徐銘擁有的實力，要比在公眾面前展現出口多的多。
徐銘把丁順安的話悉數聽進耳中，知道對方是在關心他的身體健康。
當即微笑著接過話茬回應。
「多謝丁院士關心，我會注意的。」
他這麼多年，每天幾乎都要學習十八個小時，其中還包括雷打不動的日常鍛鍊。
雖只用了幾天對設想完善，卻比其他人多很多時間。
況且在多線程並行思維演算推導下，若完不成的話那才真有問題。
「你們年輕人身體就是好，我和老賀就不行嘍。」丁順安點點頭微笑著打趣。
賀鵬濤接話道：「我可比你還小一歲呢。」
待互相閒談了兩句後，賀鵬濤突然面色嚴肅，用非常正經的語氣看向徐銘，重新把話題給引到了正事上面。
「徐總師。」
「我這邊已經準備妥當，隨時可以開展實驗。」
「微電子裝備也一樣。」丁順安補充道。
徐銘聽完兩位院士的話，又看向兩旁眼中浮現出炙熱目光的教授研究員，也終於不再賣關子，嘴角微微上揚拍板正式做出決定來。
「那好。」
「下面我來安排具體任務。」
他這幾天沉浸完善設想補充漏洞，正是為了能儘快驗證極紫外光源。
只要解決了最核心的光源系統，那麼距離國內攻克高端極紫外光刻機也就不遠。
主要高端晶片涉及到的行業實在太多，還關係著很多先進技術的更新疊代，必須用最短的時間走出困境才行。
否則較長時間待在這空窗期內，很有可能會再次被海外拉開差距。
尤其是六代機項目，好不容易才與海外站在起跑線。
既然大家都沒有什麼意見，他肯定也不會耽擱，話音落下後便直接安排起來O
極紫外光源被稱作難以駕馭的微光，海外方面的主流技術是採用雷射激發等離子體，需要用高功率雷射，以每秒數萬次的頻率轟擊滴下的液態錫滴，將其激發成等離子體從而發出極紫外光源。
但由於過程的能量轉換效率極低，要滿足晶片量產所需要的曝光速度，其功率必須達到250瓦以上，這意味著輸入的能量是巨大的。
除此之外整個光路還要在真空環境中進行，使得系統複雜性大幅度上漲。
再加上錫滴方案產生的碎屑，更讓極紫外光源系統成為科研人員的噩夢。
而徐銘的設想，則是對系統重新架構。
相比較主流方法的動態轟擊液體錫滴，他採取了靜態激發的方案。
用一束高強度和高重複頻率的雷射，照射在高速旋轉的光源靶盤上，如此通過等離激元耦合態理論，雷射能夠在每一點上瞬間激發耦合態，從而穩定以及高效的輻射出極紫外光源。
不但繞過了海外的專利壁壘，還更加高效且規避了錫滴碎屑帶來的苦惱。
有助於延長光源的壽命時間。
隨著徐銘同眾人，在具體實驗上展開討論，原本大家困惑的東西也立刻變得清晰起來。
內心激動之下，毫不掩飾臉上浮現出的期待。
「關於光源靶盤的製造，需要覆蓋特殊薄膜，可以拜託給材料院幫忙研發。」
「其餘我沒有任何意見。」
賀鵬濤全程認真聽完徐銘的所有話，待相關任務安排全部講完之後，率先開口提出自己的觀點表明態度。
話音剛落。
旁邊的丁順安也未沉默，立刻接過話茬附和。
「我同意老賀的提議，交給材料院，會在很大程度上節省我們的時間。
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「這樣我們能更快進行驗證。」
徐銘對光源靶盤的材料設計早有方案，從某種程度上來說製造困難性不算太大，無非是經歷多次的失敗。
本來他還想著親自來負責光源靶盤的製造，但聽完賀鵬濤和丁順安兩人的建議，頓時便覺得交給科學院旗下的材料院負責，倒也是項更加合適的辦法，剛好他也能抽出時間和精力負責其他的。
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