第224章 讓全球意外的重磅成果（2/2）
這為國產高端光刻機的研發，帶來了希望。
如果最終實驗驗證失敗，或者數據不理想，那麼對國內所有人來說，無疑是從頭澆了盆冷水。
不但會影響後續的研發工作，更難保證眼下這時候大家聚起來的心氣。
尤其還會讓海外方面，更加猖狂有底氣。
可以說在眼下這種局面中，迫切需要一個好消息，來扭轉局勢振奮人心。
所以這也就使得今天的實驗，絕對不能失敗。
「所有裝置已經檢查完畢，符合實驗的條件，我們隨時可以開始。」
上午九時許。
總部大樓實驗室內，全副武裝的賀鵬濤，看向那台搭建了一段時間的毫米級演示裝置，待完成相應的工作後立刻對總設計師進行報告。
雖然他早就入選科學院院士，但這次為了實驗驗證的順利進行，果斷選擇親自動手參與實驗。
儘可能保證不出差錯。
同樣有此操作的丁順安院士，則正站在徐銘身旁。
「開始吧。」
徐銘對於這種重要場面，可以說早就司空見慣，聞言僅點頭吐出幾個字，臉上的表情始終保持鎮定，渾身散發出胸有成竹的自信。
使得周圍人安心不少。
賀鵬濤接到指令，轉過身看向身後的潘耀，讓其進行下一步操作。
「小潘，安裝光源靶盤，」
「是老師。」潘耀擲地有聲回答。
隨即在實驗系統控制室內幾人的注視下，矽基光源靶盤安裝到在演示裝置上，終於為其拼上了最後一塊拼圖。
「好多年沒有像現在這麼緊張了，希望實驗的結果不會辜負大家的期望。」這時丁順安還是忍不住開口，在深吸了一口氣後才算讓情緒穩定下來。
之前微電子裝備研發90納米工藝光刻機時，都未曾像今天這麼緊張過。
不知是海外那份文件給國內帶來的壓力，還是徐銘這幾個月以來，所展現出來的實力太過讓人震驚意外。
只能說在拉高了預期目標之後，越是容易患得患失。
生怕會出現不好的結果。
徐銘聽到丁順安院士的話，順勢扭過頭，臉上堆著淡淡的笑容接過話補充。
「放心吧丁院，我們前期已經準備的足夠多，相信實驗驗證絕不會讓大家失望。」
「說的沒錯，是我心態不穩了。」丁順安點點頭當即笑著附和句。
儘管他這個身份和年齡，竟還不如徐銘沉得住氣，但心裏面卻沒絲毫不適，畢竟以徐銘的水平，很難會去把他當做三十不到的年輕人。
哪怕年齡確實如此。
就這樣。
很快伴隨著驗證實驗正式開始，在眾人的觀察和各種監測儀器設備的記錄下，只見從雷射設備中，發射出一束高強度且高重複頻率的近紅外雷射。
在照射到高速旋轉的光源靶盤上後，雷射在每一個點上瞬間激發耦合態。
輻射出穩定的極紫外光。
「各項數據怎麼樣？」
賀鵬濤最先反應過來，立刻望向坐在屏幕前的潘耀大聲詢問具體數據，想知道最終結果究竟如何。
雖說包括徐銘在內的其他人，沒有再開口，但大家的目光無一例外，都集中在了潘耀的身上，因為過度緊張甚至有人都快要屏住呼吸。
約摸過去了將近兩分鐘時間，潘耀的聲音終於在實驗室內響起。
能夠聽出其中夾雜著明顯的激動情緒。
「有結果了。」
「雷射在光源靶盤上，成功激發出等離激元耦合態。」
「輻射出的光源波長為13.5納米。」
「輸出光源穩定在50瓦，轉化效率突破15%。」
幾乎是潘耀話音落下的瞬間，整個實驗室內頓時爆發出雷鳴般的熱烈鼓掌聲，每個人臉上都肉眼可見的浮現出發自內心的喜悅。
「成功了。」
「我們掌握了穩定的極紫外光源，這是國產高端光刻機研發的一大步。」
「徐總師的設想是正確的。」
「很難想像首次實驗，轉化效率就達到了15%，這可比海外主流的極紫外光源技術高效許多。」
「簡直是在做夢。」
凡是抽調進光刻機專項研究組的成員，都屬於兩個光機所內的優秀科研人員，對極紫外光源的好處無比清楚。
但就是這樣決定著高端光刻機工藝的光源，在幾個月前對國內方面來說，還是可望而不可及的遙遠存在，只有海外的阿斯麥公司才能研發極紫外光刻機。
可此刻在微電子裝備總部實驗室內，卻誕生出了轉化效率高達15%的穩定極紫外光。
毫不誇張的講，這項成果無論放在哪裡，都是地震。
足以讓全世界感到吃驚。
待眾人的情緒逐漸平復下來，賀鵬濤依舊查看著屏幕中反饋的數據，隨後戀戀不捨收回目光，才直起身體看向面前的徐銘面色潮紅。
「太讓人驚喜了，採用新理論得到的極紫外光，已經遠遠超過海外主流的轟擊錫滴技術。」
「解決高端光刻機的核心光源系統，接下來我們的國產光刻機研發，肯定會迎來一段飛速發展的階段。」
「我提議應該立刻向外界宣布此消息，讓海外知道華國有能力研發高端光刻機。」
對此旁邊的丁順安也沒保持沉默，聞言雖不願意破壞眼下的氣氛，但最終嘴唇微動還是跟在後面補充了句。
「可惜輸出的極紫外光，只穩定在50瓦，距離商用所需的250瓦還有差距，不過畢竟是首次進行驗證實驗，這個結果已經遠遠超出預計了。
徐銘對此次驗證的成功並不意外，就連丁順安口中的功率問題也在預料之內。
主要今天的實驗，核心挑戰是新理論方法，是否能穩定輸出極紫外光，事實證明他的設想是非常成功的，要確定了這件事之後才能解決功率問題。
於是還沒等丁順安的遺憾情緒停留多久，他當即主動開口回應上一句，並未在這個時候還故意去賣關子。
「關於光源的功率問題，可以通過將光源靶盤設計成多環結構，讓多路雷射同時激發來提升，應該能夠滿足商用的250瓦功率。」
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