第249章 生產線閉環，載入史冊的奇蹟（2/2）

「看來對於璇璣系統，還有著很大開發空間。」

然他們的話音還未完全落下，便被周啟深出聲打斷。

針對詳細的合成過程進行說明。

「不單單是靠璇璣系統，徐總師在化學實驗上的水平也非常厲害，合成過程中幫助我們解決了幾個問題。」

「否則想得到光刻膠樣品，起碼還要等段時間。

說完。

現場瞬間陷入一陣沉默。

包括余高遠在內，大家幾乎同時瞪大眼睛，臉上的表情充滿了疑惑和不解。

就憑徐銘創造出來的傳奇經歷，哪怕小學裡面的孩子都能講出來，更不要說他們這些院士專家。

誰不知道徐銘主要研究領域，僅限於物理數學以及信息算法幾個學科，縱使是多少年不出的天才，同時投入時間和精力也可以說到達極限了。

根本不可能再去研究化學。

因此聽到周啟深，如此稱讚徐銘的化學水平，腦海中不由得浮現一個問號。

心想以徐銘的名氣和權威，也沒必要採用這樣的方式去稱讚。

稍微頓了幾秒，余高遠乾咳一聲，擺擺手說道。

「行了老周。」

「徐總師對項目的貢獻是大家有目共睹的，這份功勞任何人都無法抹除。」

「至於你嘛也不用這麼謙虛。」

周啟深聽到這番話，心裡那叫一個無語，敢情說實話都沒有人相信。

為此他只得又專門強調一句。

「我說的都是真的，根據我的判斷，徐總師以後的化學成就不見得比數學差。」

講這話時神情格外認真。

而聞言大家也都回味過來，看周啟深的樣子，似乎真不是在開玩笑。

但仍舊有些不太敢相信。

成就不比數學差？

要知道證明霍奇猜想，構建全新的理論工具，可以說無論哪一項都站在了數學的最高殿堂。

讓不知道讓多少數學家望其項背。

如果未來的化學成就也達到類似的程度，那該會是多驚人的程度。

確實無法和現在的徐銘聯繫在一起。

相比較在化學領域取得巨大成就，大家更願意相信未來徐銘再次證明黎曼猜想。

經過短暫的怔神後，賀鵬濤最先反應過來。

將目光轉到旁邊徐銘身上後，主動開口詢問拋出自己的問題。

「老周講的都是真的？」

「我記得你之前不是說，沒研究過化學嗎？」

他十分清楚的記得，當初徐銘提出，能在短時間內依靠璇璣系統解決新一代光刻膠時，便向其詢問過是否對化學也有研究。

所得到的回答是否定。

怎麼才短短几個月過去，就化身成化學專家了。

「這具體怎麼回事？」丁順安同樣疑惑。

徐銘原本沒打算參與話題，誰曾想聊到自己身上，面對周邊大家的目光，他倒也沒打算賣關子，未作遲疑便開口進行詳細的回答。

「我確實在光刻膠合成的時候，幫了些忙。」

「至於對化學的研究，前兩個月剛從化學研究所圖書館借閱了文獻資料。」

「剛研究的？」賀鵬濤脫口驚呼。

他無論如何都沒有想到，徐銘會給出這種答案。

僅研究了一段時間的化學文獻資料，就能攻克新一代極紫外光刻膠。

變態程度根本無法形容。

嘴唇微動幾下，最後他還是把話咽了回去，整個人仿佛失去了所有力氣。

哪怕旁邊的丁順安等人，也完全一樣。

生怕繼續聊下去，又會被徐銘的話暴擊，影響到今天的欣喜情緒。

最終還是余高遠強行岔開話題。

「那個————時間差不多了，趕緊開始驗證吧。」

有著上回的經驗，這回進行流片驗證，光刻過程只會更加順利。

伴隨逐光極紫外光刻機啟動，由璇璣系統生成的測試晶片版圖，在塗抹了新一代光刻膠的晶圓片上曝光。

超淨間外。

大家通過觀察窗，看著晶圓片被送入逐光光刻機。

神情越發的緊張和期待。

哪怕無比相信，最終的結果不會讓人失望。

「這次流片的數量，是上回的數倍，所得到的各項數據也會更加精準。」

待眾人離開觀察窗後，丁順安主動向余高遠報告。

對今天進行的流片情況進行說明。

聞言余高遠只是點了點頭，並未發表意見。

畢竟一台新型號的極紫外光刻機，外加新開發的晶片設計軟體和光刻膠，必須經過大量的流片驗證，才能證明其產品技術的成熟性。

以及良品率數值。

雖然這會拉長驗證的周期，卻屬於產品公開發布前的必備流程。

而就在這個時候，人群中一位戴著眼鏡的，中年模樣男子出聲詢問，向丁順安表明自己的疑惑。

「丁院士。」

「咱們的國產高端晶片製造生產線，真的能達到海外最先進的工藝水準？」

崔景和作為華芯國際董事長，其公司是國內最先進同時規模最大的，半導體晶片集成電路製造企業。

但因為無法購買到，海外先進的光刻機和光刻膠。

高端晶片市場份額在全球範圍內落後。

得知國產高端晶片製造產業技術，已經有了重大的突破進展之後，他的心情無疑是非常的激動高興，無比期待逐光極紫外光刻機的問世。

直到今天受邀參加流片驗證，他才真正清楚當前國產技術處在什麼階段。

竟具備了正式推向世界舞台的資格。

這無疑是巨大的衝擊。

主要在大多數人的認知中，國內在高端晶片製造領域內想實現國產化，還是有一段長的路要走。

結果他現在看到了什麼？

國產逐光極紫外光刻機早已研發成功，新一代光刻膠也和晶片設計軟體也配套完善，就仿佛是瞞著外界偷偷在跑道上來了個百米衝刺。

丁順安聞言，自光當即朝崔景和望去。

嘴角微微上揚掛著笑容。

下秒語氣無比堅定的答覆道：「是的，你想的沒錯。」

「根據初步的計劃方案，明年我們的首批國產逐光極紫外光刻機，就會在華芯國際科技園安家落戶。」

「光刻工藝可以達到5納米精度。」

「並且我們有信心，逐光極紫外光刻機，性能會遠遠超過明年阿斯麥推出的新產品。」

將丁順安的話一字不落聽進耳中，崔景和哪怕見慣了大場面，此刻也不由得呼吸變得有些急促起來，似乎已經看到公司躋身全球市場的那天。

深吸一口氣稍微平復後，當即信心十足的保證。

「只要國產逐光極紫外光刻機就位，我們絕對會把失去的高端晶片製造市場份額拿回來。」

絲毫不誇張的講，現在他都想，先把這台極紫外光刻機搬回公司。

而接下來的時間，他則又把視線，移動到徐銘身上。

重新審視這位年輕人。

帶領國產高端晶片製造產業崛起的總設計師。

就這樣隨著時間一分一秒流逝，無論微電子裝備集團還是化學研究所，亦或者華天科技和華芯國際，大家心裏面都在憋著一口心氣。

等待詳細的流片結果出爐。

但要說在這個過程中最輕鬆的，無疑是徐銘。

他幾乎參與了每個環節的技術研發工作，對具體情況可以說非常清楚。

當極紫外光刻膠樣品被合成出來的那刻，最終的結果就已經註定。

高端晶片製造產業百分百國產化是必然的事情。

為此趁著這些日子閒下來，他總算在燕大數院舉行了幾次講座公開課。

——

每場都是人山人海般的場景。

除院裡的研究生報名外，甚至還有講師教授，都不願意錯過這種難得的機會。

畢竟這實在是太難得。

另外值得一提的是，他還抽空給蔣旭和朱志軒，以及陸明哲等人指導了博士畢業論文，如果順利的話他們都會在明年五月份正式畢業。

轉眼來到月底。

讓大家心心念的流片驗證結果，終於出來。

上午。

微電子裝備報告廳。

賀鵬濤鄭重拿起流片報告，面對現場眾人，直接公布最終的結果。

「圖形保真度完美，解析度和線邊緣粗糙度，優於璇璣系統的預測數值。」

「光刻膠對隨機效應成功抑制。」

「測試晶片中數以萬計的環形振盪器，測得平均延遲時間與璇璣系統仿真數值誤差小於1%。」

「電晶體的關態電流密度領先國際水平。」

「流片良品率達到99%，優於璇璣系統數字流片預測結果數值。」

當一項項數據從賀鵬濤口中念出，宣布著逐光極紫外光刻機和璇璣系統，以及新一代極紫外光刻膠的成功。

從海外限制高端晶片和先進半導體設備，到今天徹底實現產業國產化。

如此短的時間內實現技術追趕，無疑是一項足以載入史冊的行業奇蹟。