第245章 你難道連這個也懂（1/2）
「繼續講吧。」
徐銘點點頭重新看向對方，示意往下接著報告。
這時旁邊的余高遠，同樣沒有耽擱，迫不及待也跟在後面附和上一句。
「對。」
「快說下其他測試項目情況？」
迎上現場所有人目光的實驗室工作人員，因緊張下意識咽了口唾沫後，隨即接著念出手中報告後面的內容。
「線條邊緣粗糙度出現異常，LER的測量值，普遍比璇璣系統預測高出30%。」
隨著這句話講出，房間內的氛圍頓時一變。
原本還浮現在臉上的笑容，瞬間便消失不見，就像是大冬天突然被澆了盆冷水。
沒想到首次全鏈路功能驗證流片，還是不可避免的出現了問題。
而神情變化最大的，則要屬化學研究所人員，尤其是周啟深院士。
旁邊華天科技公司工程師，也微微有些皺眉。
從剛才的測試結果來看，國產逐光極紫外光刻機，主體研發成功沒有問題，在線條邊緣粗糙度上，出現這麼大數值的偏差，原因大概率在光刻膠或者算法工具，說明仍舊存在沒有發現的錯誤。
正當大家陷入沉思時，只見周啟深一個跨步，來到那位實驗室人員跟前，迅速接過數據報告認真查看起來。
視線約摸移動了幾行內容，口中不由得低喃出聲。
「線條邊緣在顯微鏡下，呈現出顫抖的毛邊形態，並非預測中的光滑刀刃。」
「我們的光刻膠剛完成技術升級————」
「不應出現這種情況才對？」
話音還未完全落下，華天科技董事長孫慶豐，幾乎下意識脫口接上一句。
「璇璣系統是由徐總師親自帶領大家開發，預測的數值絕對能夠保證精度。」
「沒錯。」蘇振豪聞言也點了點頭。
他全程見證了，徐銘親自參與璇璣系統開發，深知其核心算法和模型的技術程度，是絕無例外的遠遠領先於海外三大EDA公司產品。
賀鵬濤與丁順安等微電子裝備這邊，按理說應該會逐光極紫外光刻機的成功高興，但突然出現這種情況，心裡湧現出幾分擔憂。畢竟無論光刻機還是光刻膠，亦或者璇璣系統軟體，都是為了製造高端晶片服務，任何環節出現問題所帶來的結果一樣。
那就是生產線無法啟動。
至於院長余高遠，和其他領導，因未具體參加項目。
面對稍專業的內容，無法做出判斷。
只得把目光投向，身為總設計師的徐銘。
將大家的反應看在眼裡，徐銘這時卻並不意外，相反早就做出了類似情況的措施。
不管怎麼說，這都是首次進行全鏈路流片驗證，中間涉及到的因素實在太多太多，縱使發生狀況也屬於很正常的一件事情。
要知道在極紫外光刻機領域，國內可沒有什麼流片的具體經驗。
在這件事上，還是要承認海外優勢的。
念頭停留在這裡，他目光在眾人身上掃過，接下周院士遞來的報告，垂眼快速瀏覽完後，依舊無比鎮定的講出自己的相關判斷。
「可能是工藝波動，或者測量誤差，先等電性測試結果出來吧。」
「結果預計多久？」後邊這句是對實驗室人員說的。
「報告徐總師，電性測試也在進行中，下午應該就應能有詳細數據出來。」實驗室工作人員連忙沉聲回答。
「那好。」
「大家就再耐心等等吧。」徐銘收回目光看向大家說。
眼看後續方向明確下來，余高遠也不再沉默，主動接過話茬幫助大家調整好心態。
「為了研發出，百分之國產化的晶片製造產業鏈，咱們所有人都已經等了很多年。」
「哪還會差這點時間。」
「況且咱們還有將近一年時間，肯定來得及。」
儘管他很清楚，大家都肩負著很大壓力，無比希望能在阿斯麥新產品正式發布前，推出國產極紫外光刻機，但越是到這個時候越是要穩住心態。
確保產品技術的絕對成熟。
而最關鍵的一點，是他對徐銘的信心。
有著余高遠調節氛圍，待實驗室工作人員，急忙離開去盯電性測試時，房間內也再次恢復安靜，誰都沒有率先開口打破僵局進行交流。
不過可以確定一點，周啟深以及化學研究所，大部分人臉上神情都肉眼可見的緊張。
仿佛在等待最終的宣判書。
在這種氛圍下，中午大家甚至都沒捨得，下樓去外麵食堂吃飯。
直接訂了些盒飯送到房間，邊吃邊等結果。
時間一分一秒過去，當日頭走過正午，逐漸向西面偏移快到三點的時候。
萬眾期待下，房間的門終於再次被敲響。
這回不用徐銘開口，便有人一把拉開房門，將人拽進來的同時迫切詢問。
「怎麼樣？」
「數據結果出來了嗎？」
此話一出，也瞬間吸引現場所有人的目光。
「報告在這裡。」實驗室工作人員，點點頭主動走過去把文件遞到徐銘手中。
徐銘接下打量上去，約摸過去幾分鐘時間，方合上報告轉遞給身旁的其他人翻閱。
「你們也看看吧。」
口中話音前腳剛落下，緊跟在後面又詳細分析。
「電晶體性能未能達到預期，開關速度比璇璣系統預測值慢了15%左右，且波動範圍也比較大。」
「加上漏電流也比預測值高出一個量級，這會嚴重影響晶片的功耗出現失效「」
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根據這幾項測試的結果看，實際流片數據，根本達不到璇璣系統的數字流片，這樣的良品率，可沒法用於商業生產線的使用。
必須找到問題將其解決。
很快。
伴隨大家都看完報告，人群中的蘇振豪率先開口，依舊堅持自己的判斷。
「璇璣系統的模型算法，經過了無數次驗證，預測數值是不可能出現問題的。」
眼看眾人要針對此事召開討論時，只聽徐銘再次開口拍板為情況做出決斷，顯然通過這些數據報告，已然成功找到了問題的真正所在。
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