第525章 解析度10m（1/2）

第525章 解析度10μm

瓷飛廠是下定了決心，肖總遠赴京城，但高振東這邊的事情，還遠遠沒完。

此時的他，正在拿著防工委發過來的另一位五爺——轟炸機的資料，細細的計算著、考慮著。

他想撬動的可不只是攻-5裝雷達這個事情。

就在他算得入神的時候，門被敲響了。

高振東起身開門，門口是易中海和五道口分來的師妹馬娟，馬娟性格雖然比較直，有些男子的英氣，但是心卻是很細的，正合適代表分廠的電子實驗室跟進一下光刻機的組裝事宜。

「高師兄，好消息好消息！」馬娟不像伍升遠那麼一板一眼，在單位也叫高師兄，高振東聽得還挺爽。

「光刻機組裝好了？」她和易中海一起過來，除了這個不可能有別的。

「嗯嗯嗯，裝好了，我們先試了試，各指標完全達標。」

「太好了，走，看看去。」高振東把手上的東西一收，站起身就往光刻機試製車間走。

易中海和馬娟跟在後面，馬娟笑道：「我們來的意思，就是想請你去主持一下最終的套刻精度試驗。」

高振東連連點頭：「嗯，要試，要試。走！走！」

其他的指標，可以說易中海帶著大師傅們，在馬娟的配合下基本上都完成了，這個套刻精度，算是最終的綜合檢驗。

走進光刻機試製車間，透過玻璃看向超淨室，展現在高振東面前的是一個像是化學試驗室里通風試驗櫥的東西，或者說是像搞生物的帶生物防護的顯微裝置，別的都看不出幹啥的，就是那台顯微鏡賊顯眼。

這台顯微鏡是用來人工對準和檢查用的，主要解決套刻時的對準問題。高振東在掩模上設計了對準標誌，但是對準這個操作，在這台光刻機上是人工操作，那台顯微鏡就是用來幹這些事情的。

按說這機器高振東來來去去，改來改去也見過不少次了，可以算是老夥計了，但是這次看見，還是心裡泛起了一陣激動。

可算是有結果了，這東西在高振東心裡已經不是一台設備，而是一股氣。

高振東前世，在網上對線多年，對手能噴的東西，從逮著啥就能噴啥，慢慢演變為能噴啥才說啥。

最後乾脆成釘子戶了，就在那少數幾個領域蹲著不走了，任你東南西北風，我自巍然不動，嘴裡只是說著「對呀對呀！……光刻機有幾種光源，你知道麼？」高振東看得愈不耐煩，拿著鍵盤走遠。

走遠歸走遠，這幾樣東西的確是到他穿越為止，還沒完全拿下的，至少是高端的沒拿下，光刻機就是其中一種。

他媽的，這輩子老子自己造一個玩玩，有幾種光源我不知道，但是我知道這台能用，而且還挺好！

高振東自己也換上防護服，和幾名試驗人員走進了超淨室。

試驗人員早就把試驗準備做好了，走進來之後，打開了幾個開關，然後示意高振東：「高總，可以了。」

高振東拿起專用夾具，從帶乾燥劑的矽片架里，小心的夾起了一片單晶矽片，放到了工件台上，然後扳動開關，矽片被吸附固定。

這些單晶矽片已經經過清洗、乾燥等處理，對光刻膠的附著力此時是最大的。

然後高振東退後一步，將接下來的試驗交給了馬娟。

要的就是一開始的那個爽感，至於具體操作，這些試驗人員比他手腳麻利多了，專業的事情還是交給專業的人去做。

要說高振東這個光刻機原始，那是真的原始，固定好矽片後，馬娟開動開關，矽片開始旋轉。

這是高振東的設計，一步到位，光刻膠的塗布，他直接上了旋塗法，前世我們最早的光刻機是用什麼方法塗布他不知道，但他知道綜合性能肯定是旋塗法最好。

旋塗法在單晶矽片這種平坦的簡單表面塗布，平坦化能力強，容易控制厚度，塗層密度大，厚度均勻，不是沒有缺陷，但是可以接受和處理。

旋轉很快達到了預設的轉速，在塗料確定的情況下，塗層厚度這些塗布結果參數與轉速高度相關，旋轉的同時，工件台也在對矽片進行加熱，這是為了進一步去除表面重新附著的水汽。

這些小細節，都是高振東從前世帶過來的，不起眼，但是很重要。

加熱時間滿足預設要求之後，旋轉也早已穩定，馬娟拿起了滴管。

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