第470章 又回到老問題了（2/2）

高振東和負責機械的同志仔細端詳著這個機器，光學所的同志向他們介紹：「這個機器工作波長355nm，光學調製傳遞函數在理想位置大概是0.63左右，光程差小於四分之一波長，數值孔徑0.029，放大倍率1。」

這些高振東就是真的不懂了，除了355nm的工作波長和放大倍率1之外，其他的他都不清楚：「李工，這意味著什麼？」

李工不以為意，這位畢竟不是搞光學的：「這意味著他的解析度為9μm。」

9μm？高振東一下子就炸了，這個解析度，搭配較小的形變，10μm線寬不是夢啊。

「李工，那圖像的形變情況怎麼樣？」

「很小，最大場曲在15μm範圍內，最大像散在7μm左右，總體畸變小於1ppm，像面不均勻性小於2%，我想對於你們的要求是完全沒有問題的。」李工笑道，對此他也頗為自得。

這個機器，高振東要求的投影直徑是160mm左右，1ppm的畸變，意味著不到1μm，這對高振東的想法來說是完全足夠了。

高振東哈哈大笑：「李工，太謝謝你們了！辛苦辛苦！」

李工笑道：「能滿足你們的要求就好，今天時間也比較晚了，具體的其他事務，我們明天繼續怎麼樣？」

高振東在興奮中連連點頭：「好，今天就不麻煩同志們了，我們明天再繼續。」

當天晚上，高振東輾轉反側，想了半個晚上。

第二天一早，高振東帶著人，早早的就來到試驗室門口，李工已經等在那裡了，一行人換好衣服進去。

高振東進去之後，李工開始張羅著叫人用標準掩膜，進行一遍完整的測試，畢竟他昨天說歸說，但是完整的測試流程是要走一遍給高振東他們看的，這算是甲方來驗收了。

試驗一邊進行，高振東一邊拿著整套光學系統的指標在看，他想看看能不能達到自己的想法。

看著看著，他皺了一下眉頭。

「李工，這套系統的透光率，是30%多？」高振東問道。

他沒好說「只有30%多」這個話，有點兒不太好。

李工臉上露出了一點兒不好意思的神色：「嗯，355nm這個波長已經進入紫外波長了，透光率天生就比較差，加上材料的原因，就比較難看了。」

紫外線波長是10nm到400nm，能量高，但是穿透性差，這個有點像輻射中的阿爾法射線，能量最高，但是一般常見的阿爾法射線一張列印紙都能擋得住。

這個透光率，還是因為355nm波長比較長，穿透性還沒惡化到底的原因。

這讓高振東感到有些難辦了，這樣一來，如果第二步需要微縮投影，加上微縮那一套光學系統，透光率會進一步惡化，雖然那一步是要聚焦的，但是哪怕是現在，這個透光率都已經到了危險的邊緣了，雷射功率做大，不是大力出奇蹟那麼簡單的，能保留越高的透光性越好。

高振東現在也不好說，畢竟勉強夠用，只是問了一句：「現在的材料透光率多少？」

「400nm波長10mm透光率不小於99%，300nm波長10mm透光率不小於30%，這已經是增加了增透膜之後的效果了。」

嚯，這可下降得夠快的，難怪數據這麼難看，355nm比300nm肯定是要好得多，但是架不住一套光學系統裡面有多個透鏡。

高振東點點頭，一邊看著試驗，一邊說出了自己的想法。

「李工，這個系統的解析度，在第二步的時候能不能做到5μm乃至更好一點？」

他想搏一搏。

李工聽了他的話，搖了搖頭。

「很難，現在這個，已經是我們的極限了，別的不說，加工成本就極為高昂，再提高到你說的那個程度，我們現在這種人工加工再優選的方法就已經不一定實用，加工成本將極為高昂，完全沒法量產。」

高振東沒有被嚇住：「如果不計成本，只要一套或者幾套呢？」

李工眼睛一亮，然後又暗淡下來：「那加工倒是有可能，但是再提高的話，我們的材料撐不住，依然沒有意義。」

「材料？什麼材料？」高振東打破砂鍋問到底。

「光學玻璃，我們現在用的是冕牌光學玻璃，其參數如透光性、熱膨脹係數等不是太好，要麼影響光學調製傳遞函數這些關鍵指標，要麼影響其環境適應性，微小的溫度波動都可能造成性能的劣化，就現在這個，都是有嚴格的工作溫度範圍要求的。」

又回到老問題上了，材料。

冕牌光學玻璃，不是一個品牌，而是光學玻璃的種類。

(本章完)