第503章 光刻工廠的設想，彎道超車（2/2）

這個二十年，並不是說通過二十年的時間，我們就能追上先進水平。

而是說，再有二十年的時間，我們才能達到現在的國際先進水平。

那麼，這二十年裡，難道西方技術就不發展了麼？

所以，我們國家的光刻機等尖端技術領域的落後，呈現的情況是極為觸目驚心的。

「王院士，你說的是真的嗎？」

齊斌雖然知道這麼問，不夠尊重人，但還是按捺不住心裡的激動，再次出聲問道。

王東來也沒有在意這一點，他很清楚齊斌這樣的表現是什麼原因。

毫無介意地點了點頭，認真說道：「齊主任，我說的兩年時間，是按照我的計劃預估的，如果可以提高投資的話，我覺得這個時間還能進一步縮短！」

聽到王東來肯定的回答，齊斌頓時輕輕地拍了一下桌子。

「王院士，有你這句話，我心裡就穩了！」

「我現在就給領導匯報此事！」

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「另外，關於此事，在場諸位都要做好保密工作，不得隨意泄露。」

說完之後，齊斌環顧了一圈，神情極為嚴肅地出聲說道。

眾人自然明白這裡面的輕重，當即就點頭表示自己清楚。

會議到了這個時候，自然是開不下去了。

王東來也沒有離開，而是在一旁的休息室里安頓下來。

並沒有讓王東來久等。

齊斌就傳來消息，沈總管將會立即趕回來，和王東來面談。

而一個小時後。

沈總管就匆匆地趕了回來。

看著沈總管略帶一絲急色的樣子，王東來心裡點了點頭。

「王院士，你說的光刻設備設計方案是真的嗎？」

沈總管一見面，就直接問了起來。

王東來在說出來的時候，就已經想好了，這個時候自然不會反悔。

當即就點頭承認下來，出聲說道：「領導，是真的！」

「原本我也是想著我們國家的半導體技術落後國際水平，所以在研發的時候，也是從一些不夠重要的領域開始，為的就是能夠多一些時間讓我們的半導體技術發展。」

「現在，只是初步完成了EDA設計軟體，光刻膠以及先進封裝等方面的突破，雖然不算是最好的結果，但也不算差了。」

「這個時候，已經被白頭鷹列入了制裁名單，這就證明白頭鷹已經注意到銀河科技了。」

「那麼，我也不用再遮掩了，早點設計出屬於我們國家的光刻設備，我們才能早一點在半導體領域站起來。」

沈總管表現的很冷靜，此時出聲問道：「我聽說你的設計方案，只需要兩年就能投產，並且還可以提前？」

王東來點頭，承認道：「是的！」

「根據我的了解，目前全球最為尖端的光刻機是來自荷蘭的AL，我們國家的光刻機設備還遠遠不能和al相比較，你的兩年時間完成投產，是基於什麼信心而做出的判斷？」

沈總管雖然不是專業人士，可是在來的路上，還是看了一部份的資料，所以此刻便問了出來。

王東來並不在意這一點，而是詳細地和沈總管解釋了起來：「al在光刻機領域的霸主地位，並沒有多少年。」

「這其中，也不全是al的功勞，它的70%的技術都是白頭鷹產品和白頭鷹技術。」

「比如說是鏡頭來自蔡司，al擁有蔡司的20%多的股份，CYmer的極紫外光源排名世界前列，被al收購，光掩模板、機電設備、雷射器、微雷射系統、離子注入機套件、準分子雷射源、電子束檢測設備等等，要麼是被al收購，要麼就是al入股。」

「正是因為有這些尖端技術的加持，所以才能讓al的發展如此迅速，全球第一個拿出了沉浸式EUV光刻機，領先市場。」

「我們國家的光刻機想要超過達到世界一流水平，就必須要從這些配件一個個地開始突破，只有這樣，才能達到這個水平。」

「這是我們跟在al後面發展，想要追趕上來的唯一辦法。」

「如果這麼做的話，根據我的估計，最低也需要十五年才能追趕上來。」

「但如果是我們換一種思維呢！」

「al把光刻機做的這么小，所以它才需要這麼多高端的設備和儀器。」

「它之所以做小，是為了可以出口售賣，賣給晶片廠商，為了方便運輸，為了方便搬運。」

「但如果我們拋棄運輸，售賣的想法呢。」

「直接把小小的一個光刻機變成一座光刻工廠，這樣一來，就能避開光刻機的很多技術要求了。」

「起碼，這麼做的話，我們就未必需要最尖端的技術來組裝。」

「同時，一台光刻機每天二十四小時工作下來，生產出來的合格晶片，也只有幾萬枚而已。」

「但是，如果由光刻工廠來生產的話，生產效率能在光刻機的基礎上翻上最低十倍之多。」

沈總管並沒有因為王東來說出來的這麼多優勢而興奮，依舊保持著冷靜。

「你說的都是優點，我想半導體領域應該也有人能想到這一點，但是卻沒有人這麼做，也沒有這樣的嘗試，這裡面肯定還是存在著一些問題。」

「從目前的情況來看，應該是壞處多於好處，所以你說的光刻工廠可行性暫且不說，你如何能證明它建造完成之後，可以超過光刻機。」

聽到沈總管指出這個問題，王東來臉上浮現出一絲笑意。

「領導，您說的確實是一個很重要的問題。」

「關於這一點，我也可以做一個簡單的解釋。」

「光刻機也存在優點和缺點，它的缺點是光源相干性極差，使用反射鏡濾光單鏡光源損耗率30％，總損耗98％，AL使用的反射鏡全世界只有蔡司能夠生產。」

「第二，光刻機的錫污染以及光路散熱工程造成易損件成本增加，高NA升級到600瓦光源功率，使得整機成本增加到四倍。」

「第三，光刻機的生產效率低下，以3400B來說，該EUV光刻機的生產效率是每小時125片晶圓，還不到DUV光刻機生產效率的一半，毫無疑問，該光刻機的生產效率不高，將直接導致晶片的生產成本居高不下。」

「最後，便是光刻機的耗電量大，TJD的所有EUV光刻機開工用電量將會占用半個三峽電站的發電量。」

「至於光刻機的好處我就不提了，我再說說光刻工廠的優缺點。」

「缺點有一點很重要的，那就是波盪器、扭擺器、尾場雷射器三大件，不能產生瞬間磁場的彎鐵必須淘汰，還沒有這樣的裝置進行驗證。」

「如果說光刻機是工具機的話，光刻工廠就是一個車間，把光刻機儘量放大，用一台周長100到150米的環形加速器來作為光源，然後帶動數台甚至是數十台光刻機進行工作。」

「我們在追趕荷蘭的光刻機時，如果只想著因循守舊，走人家的老路，很難在短時間內完成超越。」

「我們必須要另闢蹊徑，開發出新的技術路線。」

「光刻工廠，就是我想到的最好辦法！」

聽完王東來的話，沈總管陷入了沉默之中，久久沒有言語。