第272章 成功了!光刻工廠實現了!(2/2)
一塊區域被曝光後,透鏡組立馬移動,側開照射光源,待移動平台調整後繼續移回正位,對下一個區域進行光刻曝光。
12寸半導體矽片,大概能產出232塊1.6×1.6的成品裸片,也就是說需要曝光232次。
目前來說,曝光一次的速度大概在1秒,這就需要232秒,也就是差不多4分鐘才能把一張半導體矽片全部曝光完成。
雖然這個速度相比較於光刻機慢了差不多一倍,可光刻工廠畢竟是國產自研,而且是第一代產物,後續透鏡組和移動平台還能繼續優化,追趕上光刻機的光刻速度不是不可能的。
在等待了四分鐘後,林天看向陳星等人解釋道:「考慮到兩塊光掩膜版的能量消耗,我們先不急著拿去顯影,讓半導體矽片再次加熱,加劇光刻膠的化學反應。」
陳星、雷兵、夏揚微微頷首,都在等待著結果。
現在這裡陳星算半個門外漢,雷兵、夏揚則是都是門外漢,只能聽林天安排。
他別說拿去烤了,哪怕是燒,他們也會覺得很合理。
隨著林天輸入指令,本該送去顯影的半導體矽片被傳送去了烘烤區域,進行二次加熱,加劇ArF光刻膠內部的化學反應。
當這步完成以後,半導體矽片再次被運輸,它來到了顯影區域。
先用去離子水潤濕矽片,緊接著把矽片放在顯影平台,上方的機器設備噴出顯影液,均勻地撒在半導體矽片表面,進一步溶解被曝光的部分區域。
隨著這個步驟完成,半導體矽片表面已經清晰可見電路圖案,只差最後的沖洗,將未曝光部分黏著的光刻膠全部清洗掉。
「我好像看見圖案了。」
雷兵瞪大雙眼,不敢錯過任何一絲的細節。
「我也看見了。」夏揚附和道。
剛才半導體矽片清洗拿出時,可以清晰看見矽片表面密密麻麻的電路圖案。
「有電路圖案是好事,但還需要經過電路測試才能知道晶片能不能正常運行。」
陳星講解道。
經過了開天晶片、輕舟晶片、SOC上帝晶片多次耳濡目染,他已經算半個行內人了。
曝光、蝕刻、顯影、清洗他都略懂一二,當然了,只是略懂,還停留在理論知識層面。
不過縱使是這樣,雷兵還是忍不住豎起拇指稱讚道:「想不到陳總不僅在商業領域有所建樹,原來在晶片領域也有自己獨到的見解。」
「確實想不到。」
夏揚也附和一聲。
本以為陳星什麼也不懂,沒想到人家出口成章,這讓他們都感到了一絲意外。
聽著兩人稱讚,陳星也幾位謙虛道:「不算是見解,只是耳濡目染多了記下的知識點。」
「能記下也是個本事。」
雷兵笑道。
夏揚也點了點頭,附和道:「沒錯,記憶力不好的想記也記不住,陳總能記住這些流程,足以見得龍興科技深耕晶片的赤子之心。」
在兩人一唱一和拍陳星馬屁的同時,全自動化的生產線已經把顯影后的半導體矽片送去切片,進行最終電路測試。
林天看著「檢測中」的提示,看向陳星說道:「如果可以通過,二期光刻工廠就可以開工了,不過能源還是個問題…」
他目光看向夏揚。
後者立馬會意,連忙說道:「陳總、林首席你們放心好了,只要證實光刻工廠可行,天一亮我就回去召開市級會議,主題就是建設你們的能源輸送通道。」
「沒錯。」
雷兵附和一句,繼續說道:「別的地方不敢保證,但在深城,夏局還是可以說上兩句話的。」
「包在我身上。」
夏揚拍了拍胸口。
他們都是混體制的,當然明白國家目前的主推方向。
要是能協助龍興科技完成光刻工廠的建設,那他們所有人說不定都可以往上走兩步。
體制內,誰不想進步?
有進步的機會,他們可不會放過,更何況是涉及「晶片」的。
「我先謝謝兩位的好意,不過…」陳星猶豫了一會,還是決定說出宋衛國承諾的「東電南調」計劃道:
「就如果說光刻工廠證實可以產出晶片,我希望深城電力局多建設拋狗嶺地區的電力傳輸系統,保障電力輸送,至於電力的話,奉天軍區的宋首長說過,近期會有個東電南調文件下達。」
雷兵:「???」
夏揚:「!!!」
這句話說出那刻,雷兵滿腦子都是問號。
奉天軍區?
這不是隸屬於北部戰區的嗎?
你陳星不和南部戰區打交道,跑去北部戰區了?
身旁的夏揚則是驚訝到懵逼,東電南調文件,這不是剛剛下達的全國性絕密文件嗎?
難不成…
它是專門支撐光刻工廠的??
想通了!
夏揚終於想通了!
他就說怎麼這麼奇怪,明明東部地區用的是國家電網,而深城用的是南方電網,怎麼會突然輸送電力過來,深城也不缺電啊。
原來是專門支持龍興科技建設光刻工廠的,這也就是說,上邊其實已經是知道的了。
「咕嚕——」
夏揚咽了口唾沫。
他看向陳星的目光,已經帶了幾分敬畏,這個不到三十的青年掌握的能量超乎了他的想像。
如果可以的話,他真想在陳星耳畔輕聲說一句:「陳總,我夏揚太想進步了。」
就在雷兵和夏揚內心掀起驚濤駭浪,震驚到大腦空白時,林天突然打斷了他們道:「裸片電路的檢測結果出來了。」
陳星:「!!!」
雷兵:「!!!」
夏揚:「!!!」
三人立馬側目,順著林天目光注視的方向看去,上面赫然寫著「電路未檢測出異常」八個大字,最左側的屏幕,還有SOC上帝晶片的全部數據參數,包括納米等級,微架構與運行功率。
在一一進行比對後,林天神色激動地看向陳星等人宣布道:「成功了!光刻工廠實現了!」
(本章完)