第109章:畫面太美(2/2)
掩模板不止一塊,而是有許多塊。因此他有另外一套安置機構,就像工具機的刀具換刀系統一樣。為了最大限度地節省空間,它是平行環繞在工作檯的周圍的,它能環繞轉圈,能根據電腦的指令,將下塊需要的掩模板輸送到微型機械臂的面前。原理和工具機的數控換刀系統是差不多的。
為什麼要把工作檯設置的這麼薄呢?就是為了減少上下移動所花費的時間,還有也減少了運動勢能,這就相應的增加了上下移動的控制精度。
到了這時,如果僅僅從光刻機的角度看,長勝投資集團的晶片製程工藝已經超過了2017年的世界水平。郭東他們設計的光刻機甚至能達到10納米以內的製程工藝,當然雷射頭還需改進成為聚焦式雷射頭。但是從純機械的角度看,他們是真的達到了。
不過晶片製程是一個系統的工程,不是簡單的機械精度就夠了,其實最制約製程工藝的是化學蝕刻環節。在以後的章節中我會祥細講解。
在以往的工業文中,有作者提到浸潤式雷射技術,能翻倍提高蝕刻精度。那是因為當時所處的時代,雷射精度低所導致的,長勝投資集團所用的極深紫外光是2016年才研發的技術,雷射精度一下子提高了幾十倍,遠遠不是什麼浸潤式雷射頭技術所能比擬的。
光刻機研製成功了,郭東他們進行了多次實驗,發現蝕刻精度非常高,已經完全達到或超過了要求。洪濤甚至直言自家的技術已經遠遠超過了美國,他能這麼說,是有道理的。
他是留美電子工程博士,他在美國見過光刻機實物。也知道他們的晶片製程工藝級別。雖然已經過了好多年,但他根據摩爾定律推測,自家的技術也遠遠超過了美國幾個量級。
郭東他們第一時間將這個好消息報告給了沈丹青,沈丹青馬上就來到了長勝精工。他在現場認真聽取了郭東他們的講解,不住的滿意的點頭,就像小雞啄米一樣的勤快,完全沒有意識到這樣會不會傷脖子。
他太高興了,光刻機直到2017年都是中國的一塊短板,如今他們公司已經研製出來了,可以說已經為中國補上了短板,他能不高興嗎?這可不是錢所能做到的。他想像未來中國每年幾千億美元的晶片進口額度沒有了,那中國又是怎樣的一個情況呢?畫面太美,以致於他不敢再想像了。
他收攏心思、穩定了情緒就又問郭東道:「離子注入機研製得怎麼樣了?」
「對不起!老闆,我不知道?」郭東被問得啞口無言,他的心思全用在研製光刻機上了,哪裡知道另外一組的情況。
幸好這時盧汝成趕忙來補救,他急忙向老闆說道:「老闆,我們分組了,我們一門心思都在研製光刻機上了,一有了結果就馬上報告給你了。因此還不知道另外一組的情況。請您恕罪。」
聽到盧汝成的解說,沈丹青的臉色立刻多雲轉晴了,於是他微笑地對他們說:「是這樣就怪不得你們了,兩耳不聞窗外事,這是所有科研人員的通病嘛!哈哈哈哈!好啦!你們這邊解決了,我們去看看另外一組的情況吧!」
可是他的好心情沒有持續多久,到了另外一組一了解,他們居然還在理論研究階段,令他幾乎是咆哮似的發怒了:「你們是怎麼搞的?另外一組的光刻機已經研製成功了,甚至還附帶研發了液晶屏蝕刻技術,你們居然還沒有開始實驗!辦事太拖沓了。看來你們是沒有一個好頭,都各自為政,只顧得扯皮了。這樣吧!由於離子注入機的實際情況,物理研究所所占的比重最大,我現在就明確規定,物理研究所的王所長為這次研製任務的負責人。還是採取事業部制度,王所長為事業部部長,在整個集團內,他有權調動任何人和材料。任何人不得反對和阻擾,否則我會重處。」
然後他又用嚴厲的語氣對王衛紅說:「王所長,我已給你最大的權利了,我只要你趕快給我結果,你能做到嗎?」
王衛紅以及在場的除了光刻機研製組的人早就給老闆的怒氣給嚇住了,老闆又如此嚴厲的問他,他只能哆哆嗦嗦地回答道:「能……我能……老闆,我一定能。」
最後一句,它既是給老闆的回答又是給自己壯膽。老闆的氣場太強大了,他一個沒有什麼資歷的新任所長,有點扛不住啊!
未完待續……
這個光刻機的技術,也是我查資料後總結的,與當今的光刻機是不同的。希望大家喜歡,謝謝!