第401章 要有開飛船的心理準備（1/2）

整整三天時間，燧石研究院全體放假，名義是準備迎接精密儀器和機械專項科研計劃的成果驗收，提前放個假，回來有得忙。

實際上，在趙鴻濤安排人看護住顧松所在的這一大間實驗室之後，裡面就只有顧松一個人。

趙鴻濤也不知道顧松在裡面搞什麼，他也不問，只按時給顧松把吃的送過去。

這枚晶片，就純粹是耗費時間。

啥都得自己動手去操作儀器，光是掩模板的製作，就花了一整天的時間。

顧松休息了一晚養精蓄銳，第二天早上起來正式開工。

曝光的每一步的參數，都是推算好的。光把這些參數設置進去，就花了顧松小半天時間。

在正式開工之前，又花了近兩個小時，才勻膠烘好一片合乎要求的8寸晶圓。

將掩模板和晶圓放好，對準又花了將近半個小時，確認一切參數都沒問題，顧松才開始按下開始鍵，等待曝光完成。

曝光的時間倒是很快，就不知道效果怎麼樣。

顯影完之後，顧松先是檢查。

在開啟「專注運算」模式之後，都花了有將近1個小時的時間，才初步確認，覺得應該沒什麼問題。

硬烘、刻蝕，最後去除光刻膠，才得到這塊巴掌大的晶片。

雖然有巴掌大，但它的製程卻並不低。

沒辦法，現在沒有先進的工藝設備能製作基於納米碳材料的下一代立體網絡晶片。在現在這種矽基半導體工藝思路下，只能用簡化版做出來，實現基本的功能。

他趕緊把這塊晶片拿過去進行測試，看看有沒有問題。

現在這是裸片測試，測試用的probe card又得做些重新的設置，然後才能先看這枚晶片有沒有問題。

測試結果一出來，顧松就覺得心塞。

一片晶圓上，一次性做的四枚晶片，全都有問題。

裸片測試都沒過，也就不用封裝了。

他坐在椅子上嘆了一口氣，看看外面已經黑下去的天色，一天時間，白費了。

參數設置是沒問題的，也不知道是對準精度不夠，還是顯影出了問題。

他讓趙鴻濤把飯送過來，一邊繼續勻膠、前烘，準備繼續。

這特麼槓上了！

……

趙鴻濤一直守到第第二天快午飯，才見顧松從裡面出來。

他一看老闆的樣子，嚇了一跳：「一晚上沒睡？我看你沒叫我送早餐，以為你還沒起來。」

顧松神情疲憊，眼睛很酸澀。

搞到第三遍，才確認由於機械精度的誤差，參數需要稍微調整。

好在有了三次的數據，「謝小寶」倒是很快把更準確的參數提供了出來。

第四遍就到位了，一次成功，雖然四枚晶片裡也有兩枚是廢的。

把兩枚好的晶片封裝好，又測試了一下確定沒什麼問題，顧松把機器里的參數重置好，把記錄刪除，把掩模板銷毀，才從裡面出來。

「回香山別院。」顧松交代了一聲，上車就靠在椅背上開始睡覺。

車在路上開了近一個小時，趙鴻濤把他喊醒：「要吃點東西啊。」

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