第兩百九十一章 試製晶片(2/2)
光刻機的操作界面也顯示出來了,不過這個操作界面確實日文的,陳學祖看到這些日文頭都大。
「小農你過來看一下,能不能切換到英文。」陳學祖看向一旁小姑娘說道。
小姑娘叫濃顏靈,瓜子臉扎著雙馬尾,一副厚厚的大眼鏡,看起來蠻可愛的。
「好的,陳爺爺。」農顏靈笑道。
濃顏靈走到控制台前,她用手指觸控螢幕幕,很快就找到語言選項,這裡面不但有英文,還提供繁體中文選項。
因為小日子的光刻機並不對彎彎禁售,所以光刻機的系統有繁體中文選項。
「沒想到還有繁體中文選項,這樣操作起來就方便多了,謝謝你小陳,這邊沒什麼事了,你先忙你的去吧。」陳學祖說道。
「那我先去翻譯說明說了。」農顏靈笑道。
「小鍾,把掩膜裝上去,讓人把晶圓體送進來,我們開始測試光刻機。」陳學祖轉頭看向身後的鐘飛雄說道。
鍾飛雄接到命令吩咐一旁的師弟去取晶圓體,他本人則是換上特製的丁腈手套,從放在一旁的無塵恆溫箱取出掩膜。
不過在將掩膜版裝到光刻機之前,得先對掩膜版進檢查察,確認掩膜版沒有問題之後,它按下了掩膜版進口處的開關,一隻機械手臂從光刻機內伸出來。
鍾飛雄小心翼翼的將掩膜版放在機械手臂上。
鍾飛雄再一次按下艙門的開關,機械手臂慢慢的收回機艙中,至於後續的動作就看不到了,因為機器內部是密封狀態。
這時一旁的小師弟推著一個手推車,手推車上放著一片片矽片,這些矽片已經塗上光刻膠,光刻膠是孔令兒兩天前帶來的。
想要跟進和改良光刻膠,孔令兒只能親自飛來長春光機,跟光刻膠的整個使用過程。
待矽片都放入光刻機後小師弟說道:「老師,矽晶體已經放好了。」
「我這邊已經看到了,系統上顯示了。」陳學祖說道。
陳學祖將一張磁碟插入光刻機,校準系統需要先對掩膜版進行掃描,掃描成像後會出現在光刻機系統上,在確認晶片電路圖和掩膜版沒有區別後,原本灰暗的運行鍵亮了起來。
按下運行鍵後光刻機便開始運作起來。
雖然這個時代的光刻機運行效率沒有後世那麼高。不過凋刻十片矽片還是非常地簡單的,僅僅只是花了6分鐘就將矽片凋刻完畢。
矽片凋刻完畢你以為晶片製作就結束了?
這僅僅還只是一個開始而已,接下來要送矽片去清洗,先把未曝光的光刻膠清洗乾淨,清洗矽片需要放入超聲波機器里清洗,通過特定頻率才能將未曝光的光刻機清洗乾淨。
將矽片上未曝光的光刻膠清洗乾淨後,還要塗上特製的顯影液才行,這樣才能看到上面的電路圖,隨後還要矽片送進刻蝕機進行刻蝕。
刻蝕機技術含量相對低很多,長春光機早就製作出來了,而且已經上市量產了。
刻蝕機的工作原理是通過等離子體物理衝擊,將未被光刻膠覆蓋的氧化膜和下方的矽片刻蝕掉,形成所謂的鰭式場效應電晶體中的鰭。
刻蝕完的矽片還要再進行一次清洗,把翻蓋的光刻膠和雜質清洗乾淨後,還要送進離子注入機才行,利用高速度高能量的離子束流注入矽片,改變其載離子濃度和導電的類型。
簡單點來說這一步相當於給你的武器進行附魔,通過離子注入讓矽片變得更強。