第二千六百四十六章 關鍵的PAS5500（1/2）

「你想說台積電火災那次是吧？」

「是啊，台積電誕生時是台島工研院和飛利浦的合資公司。在台積電里，飛利浦占27.5%股分，是最大外部股東。因此飛利浦才會毫無保留地把MEGA生產線開放給台積電學習，然後再原封不動地把整條生產線搬到台灣給台積電。」

「意外的是88年底新生產線快裝好的時候發生了火災。台積電把所有被煙燻了的光刻機退回AL，重新下了十七台新機的訂單。AL剛好非常缺錢，這些訂單在關鍵時刻救了急。而為火災買單的保險公司成了AL 1989年最大的客戶，讓AL第一次實現盈利。」胡長風說道：「所以說命好有時候也是一種能力。」

「哈哈哈，再後來就是1992年，飛利浦來大陸了。」

「這個我就太熟悉了。」胡長風說道：「當時滬上元件五廠、上無七廠和上無十九廠與飛利浦公司洽談合資，成立了滬上飛利浦半導體公司，在漕河涇建成我國第一條5英寸Foundry線。打破了我國沒有Foundry線的歷史。這個事情當時就是我主抓。」

「說起來也是可恨，當時我們也想引進PAS 2500來著，但是單線500萬美金的價格，實在是太高了，加上我們當時根本就沒有配套的6英寸晶圓生產能力，最後不得不選擇已經處於淘汰邊緣的5英寸線。」說起創業史，胡長風除了唏噓還是唏噓。

「5英寸也很不錯了，雖然做不了超大，但是起碼解決了LSI生產的問題，為我們的存儲晶片事業打下了堅實基礎。」周至笑道：「現在金融業和各個單位嘗到了甜頭，國內各類存儲卡的需求激增，那條線現在都忙不過來了吧？」

「嗯，接下來，就該是從六英寸過渡到八英寸的那一關而來吧？」胡長風說道：「我們的809工程，其核心就是引進一條八英寸晶片生產線。結果差點栽到裡頭。」

「也不能完全怪決策。」周至到現在倒是想明白了：「當年這個項目出問題，還有一個重要原因，那就是後續的投資沒有跟上，IBM為這個生產線，可是豪砸了10億美金，而我們一國的外匯儲備，前年也才百億美元，真沒多餘的錢做後續。」

「好在是熬過來了。」胡長風說道：「順便還給產品升了個級，沒被國際水平甩開太遠。」

「對，獲得八英寸晶圓生產線是關鍵。」周至說道：「有了這個基礎，我們引進三星產品線和松下快閃記憶體技術，進行存儲晶片生產才有了可能。不過在光刻機領域，日系的運氣就不如歐系了。」

「從6英寸製程過渡到8英寸的過程中，從G線到I線的技術演進中，兩家日本公司犯了一個錯誤。尼康和佳能計劃跳過365nm的i線，直接從465nm的G線過渡到KrF的248nm的雷射。」

「這是一個無比超前的計劃，如果成功，光刻機將直接進入DUV時代。」

「不過他們低估了DUV的技術難度。兩家公司的設備無法順利通過測試，體積和耗能均非常大，而且沒有對應的DUV光刻膠，最終被迫回頭，重啟365nm的i線設備研發。」

「而AL卻穩紮穩打，他們繼續研發了基於I線光源的PAS 5500光刻機，但是將涉及架構更換成了可以改進的新機器架構。」

「這個架構的設計非常靈活，鏡頭和光源可以快速更換，先期匹配高解析度i線光源，後期再匹配DUV鏡頭的KrF雷射器，一舉取得了先發優勢。」

「在晶圓台研發上，PAS 5500也沒有一開始就決定到底是使用H型晶圓台，還是長短衝程發動機。而是同樣保留了兩路適配架構，這是意義非常的方法。」

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