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第432章 欣喜:單晶矽棒突破(1/2)

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「出樣品了!」

「純度11N!」

9月20日上午十點鐘,沐陽正在辦公室里看資料,突然收到矽廠(晶圓廠)的消息,一直凝視資料毫無波瀾的臉蕩漾出喜悅。

適用於集成電路行業的半導體矽片對產品質量有極高的要求,純度必須達到99.99999999%(9個9,簡稱9N)以上,最先進的工藝則需要達到99.999999999%(11個9,即11N)。

出口要求,一般要達到9N。

現在國產矽棒,能達到11N是有,但生產極不穩定,成本會高許多。

沐陽的要求,要穩定達到12N,而且生產成本不能太高。

矽棒指標當然不止純度,還有結晶構造、平坦度等,也要滿足電阻率、碳殘餘量、厚度、翹曲度、表面金屬殘餘量等各類參數指標要求。

但純度就是核心,尺寸就是成本,這麼說有些片面,但也沒錯。

「好的,我過來看下。」

沐陽放下資料,喊上司機準備車。

矽廠不在總部基地這邊,而是在星海集團2號工業園區,即陽富區工業園區。

三分鐘後,沐陽坐上未來01,向矽廠方向駛去。

半個小時後,沐陽來到了實驗車間,換上白色無塵服裝和熟膠手套,戴上口罩,全身嚴實,只留下一雙眼睛。

在入口處按了下指紋,驗證人臉,才能真正進入實驗車間。

九月份的天氣非常炎熱,還好車間是恆溫車間,溫度只有二十攝氏度,要不然,穿著一身包裹得嚴實的衣服,那得多難受。

但就算如此,沐陽還是感到一些不習慣,特別是幾年不戴口罩了,感受呼吸不是很順暢。

在後世,戴口罩戴習慣了,一天不摘下來感覺也沒事兒,就耳朵根被勒得有些疼而已。

走在車間裡,沒有人認出沐陽。

路過的一位員工看到他沒有佩戴員工牌,衣服背面也沒有個人名字標識,趕緊走回去擋住他「你好,請問你是哪位?怎麼進來了?為什麼沒有佩戴員工牌?」

這個時候,沐陽才想起,他沒有生氣,反而是笑了笑,不過,眼前這位員工也是看不到他笑。

「問你呢?否則我要報警了!」

「沒事,我是沐陽。」沐陽摘下口罩,露出一個笑臉,然後又重新戴好口罩

他這麼一說,眼前這位年輕員工恐慌起來,向沐陽深深鞠躬∶「啊,您是董事長,我沒認了來,對不起,對不起!」

「沒事,你做得很好,警惕性很高,我路過幾個同事,都沒注意到這點。說到底就是我的問題,沒有製作自己的標牌。「沐陽揮揮手笑道。

「謝謝董事長,我真的沒認出來。「

「不用在意,去忙吧。」

「好的,拜拜。」說完後,這員工快步離開,感覺太尷尬了,幸好董事長不在意,還表揚了他。

沐陽來到一台XH1200型單晶爐前,此時有七八位員工正在設備外圍交流,看到沐陽,這些員工還是沒認出來。

技術經理向海,見過沐陽多次,也知道沐陽要來,通過他的身材和眼神認出來,然後走過去打招呼:

「董事長,您來了。」

向海這麼一喊,其他員工血壓瞬間飆升,眼前這位竟然是董事長!

「嗯,說說具體情況。「沐陽點頭。

向海說道∶「我們眼前這台設備,昨天開始試製樣品,理論最大熔料量達到1200公斤,我們放了1000公斤。

設備可拉制12英寸到14英寸的單晶矽棒,目前正在生產的

是12英寸的矽棒,嘗試全長度尺寸怎麼樣。

昨天,我們試製了兩根一米長度的單晶矽棒,以測試結果來看,各種指標達到了高端手機晶片的矽材料要求,生產效率比常規的每小時提拉10厘米要快一倍左右。

當然,離我們制定的要求,還是有一些差距,有不少小瑕疵,比如矽純度達到了11N,但不管怎麼樣調試,都達不到12N,我們正在找原因,還沒找到。」

星海集團目前使用的矽精練方法是提拉法。

先把熔化的Si放在石墨坩堝裡面,使用感應法加熱,之後又放在石英容器里,通過純氫氣體作為清潔氛圍。再把作為種子的籽晶放在垂直棒的前端,再放入熔化的Si裡面。

因為籽晶表面會吸附熔化物,在垂直棒不斷緩慢旋轉和提拉的過程中,可以長出直徑比籽晶大得多的體材料晶體。

這有點像兩根筷子插入盛滿麵條的鍋里,筷子夾緊的幾根面子就像是「籽晶」,吸附鍋里的其它麵條,隨著筷子旋轉,然後提升,越來越多的麵條被捲入筷子中。

而且,被捲入的麵條排布得比較整齊,其實提拉法還利用到了旋轉重力的作用,能夠均勻地分布熔化的矽,同時通過軸(筷子)的旋轉,控制了矽溫度和幾何構性的不均勻性。

沐陽說道「先帶我看看試製好的樣品。」

向海點頭,走到一根未切割的單晶矽棒前,長度約一米多,外徑是12英寸,這一根矽棒,也有一百多公斤。

沐陽蹲下來觀察,用手撫摸矽棒表面,贊道∶「外徑直線度不錯,直徑均勻,不過,這只是一米長而已,拉完一爐一千公斤的,理論可以拉四五米長。」

沐陽檢查完這根未切割的單晶矽棒,再檢查另一根已經切割過的矽棒樣品,已經切割了一半。

單晶矽棒是先用線切割機把兩端錐形料頭切割掉,如果矽棒很長就分段,否則太重不好搬動和加工,車外圓,然後再用真正的切片機切晶圓片。

用切片機切片,效率會快許多,切割平面度會更好一些,也不容易碎,如果是線切割,比較粗糙。

剛切下來的晶圓片厚度不到一毫米,還要繼續打磨、研磨,直到符合設計的厚度要求。

切片厚度主要看材料韌性情況和切片機的性能,如果很容易切碎,那就切厚一點,而且直徑越大,切片難度越大,所以12英寸的切割厚度要比8英寸的肯定要厚一些。

這也沒法,單晶矽的韌性很差,實際上就是脆性材料。

最終晶片的成品厚度一般在0.3毫米以下,薄的話可以達到0.1厚米左右。

沐陽拿起一片晶圓片,從外觀看上去,平面度不錯。

「你們切割了多少片,切裂的概率有多少?」

「就試切割了幾十片,剛開始還切裂了幾片,發現切片機的冷卻系統沒搞好,後面的,也沒切裂過。」

「就純度11N」

向海說「嗯,抽檢了9個晶圓片,都這個數據。」

沐陽點頭,他理解其中的難度,就算每個零部件都按照圖紙生產,工藝按照他的做,但設備組裝肯定存在誤差,生產環境同樣有影響,還有其它因素,最終都影響到單晶矽純度與其它性能。

如果能達到目前的情況,的確可以開始嘗試量產了,即使離他設計的理論值還差一些。

他的要求,只是想以此為基礎,製造更好的晶片而已,比如用在高端手機和高端電腦上的晶片,對純度要求就這麼高,再差也要達到10N。

而且,矽棒的其它指標都達到了世界頂尖水平。

可以說,星海集團已經製造出世界頂尖的矽棒了,就看接下來的

量產情況了。

「一個單晶棒沒有代表性,也許是偶然,前期多生產多一些樣品,多檢測收集數據。」

沐陽說出他的要求,接下來,他親自檢查問題根源,從氫氣的純度和流量大小、矽原材料、單晶爐工作溫度與濕度等等一一排除。

他熟悉所有設備和工藝流程,但沒有這方面的實踐經驗,在灌輸技術過程中,大腦中給他的「熟悉經驗」,與實際還是有些差異,需要走一遍,融合得更好。

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