713 搞出光刻機挺直腰杆子（2/2）

陸飛笑道：「落後不可怕，可怕的是不追趕，你看我們現在，已經步入正軌了。」

「可不是嘛，快趕上小霓虹了！」

孫紅軍嘿然一笑。

就像霓虹在新能源上梭哈錯了氫能，在光刻機路線上，不去梭哈濕刻法，而是全力押注干刻法，卻失敗了，白白耗費人力財力時間。

今後，邏輯的光刻機就可以跟尼康、佳能競爭低端光刻機市場，先干翻了小霓虹！

「所以啊，尹教授，我知道你很急，但你先別急，ArFi會有的，EUV也會有的！」

陸飛環顧四周，激勵士氣。

「陸總！」

尹志堯鄭重地點了下頭，他作為中微半導體的領軍人，非常清楚邏輯是兩條腿走路，既跟微電子為首的單位合作ArFi光刻機，又跟長春光機為主的科研所研究EUV光刻機。

而且滿世界找幫手，比如徠卡。

「老孫，這次的獎勵方案做出來了嘛？」

陸飛側目望向孫紅軍。

「已經擬出個初步方案，就等您來定。」

孫紅軍應了一聲。

「嗯，但凡這次參與光刻機項目的，哪怕是擰了個螺絲的，也要多發獎金！」

陸飛雙手叉腰，「65n有了，還怕沒有ArFi？沒有EUV？接下來我們就向32n、28n，甚至28n以下的發起衝擊，不管是10年、20年，還是多長時間，也要搞出來！把這顆工業明珠給我摘下來，當彈珠賣！」

「我就是怕耽誤了先進位程工藝的進程，畢竟我們買不到最先進的DUV光刻機。」

尹志堯臉上露出一絲愧疚。

「梁博士，你的意思呢？」

陸飛把目光投向梁孟松。

「陸總放心，難度肯定是有的，但我可以保證，32n，今年下半年就能風險性試產。」

梁孟松話鋒一轉，說出難題。

晶片代工製造的過程非常複雜，需要多方面的技術和設備支持，就像14n是個關鍵的分界線，28n也是個關鍵的分界線。

但設備還不是他最擔心的，他最擔心的是中芯被台積電打倒之後，下一個就輪到邏輯。

「這種情況我不是沒有考慮。」

陸飛擺了擺手：「所以才把邏輯、澎拜的三分之一的產能放在台積電，就是讓章忠謀顧慮，既想對付我們，又怕失去我們的訂單。」

「可按我對章忠謀的了解，肯定不會善罷甘休。」梁孟松憂心道，「另外還有三星……」

陸飛笑道：「梁博士，三星現在的技術負責人還是蔣尚義，哪怕拿到了EUV光刻機，你覺得他有這個能力帶領三星衝擊製程嗎？」

「沒有！」

梁孟松想也不想，「沒這個可能！」

「對嘛，就連40/45n工藝，三星還是靠我們，很難說不會又在一個節點上卡住，難以突破。」陸飛嚴肅說，「這麼一比，台積電才是我們最大的敵人！不管現在，還是將來！」

「台積電那邊計劃今年過渡到32n，然後最早在明年轉向28n，我們的進度並不比台積電慢。」梁孟松自信滿滿。

「梁博士，假如，我是說假如，假如沒有最先進的代工廠給邏輯造晶片，假如邏輯還造不出比較先進的光刻機，假如……」

陸飛把前世華為遭到的打壓說了一遍。

「陸總，這種極限施壓情況下，也不是沒有辦法，可以考慮多重曝光技術。」

梁孟松沉吟片刻，一一列出優缺點。

尤其是缺點，雖然經過多重曝光工藝，可以改變光刻機的製程極限，但良品率低。

而且每次曝光都需要校準，而對準誤差會在多次曝光中積累，進而影響晶片的質量。

「除了損耗，就是成本，多次曝光需要更多的光刻膠、耗材和設備，這個投入可能……」

不等梁孟松往下說，孫紅軍突然打斷。

陸飛和他相視一笑，光刻機的光刻膠等材料，早就納入備胎計劃。

「梁博士、尹教授，我們已經投資了博康化學等十幾家公司，研發攻克光刻膠這些重要材料。」孫紅軍笑說，「而且找了德國的明斯特、亞琛工業等多家高校，跟我們國內的科研院校，合力打破霓虹這方面的優勢。」

「啊？」

梁孟松和尹志堯面面相覷。

「這是公司的絕密，注意保密。」

陸飛鄭重地叮囑，現在需要偷偷摸摸地發育，特別是光刻機，最缺的就是發育時間。

「陸總，孫總，你們放心！」

梁孟松信誓旦旦地保證，就算台積電、三星的光刻機領先邏輯，哪怕製程工藝先突破28n，甚至20n也無妨，他能想辦法從28n，跨越22n、20n，直接到14n。

把因為光刻機設備和技術封鎖而落後的代差跟時間，統統給追回來！

「是不是又要跳代？」

陸飛把眼睛眯成一條縫。

梁孟松點頭說：「只要尹總能造出28n光刻機就夠了，別是14n，就是7n，我也能你們給搓出來！把光刻機上的劣勢給扳回來！就是不知道陸總敢不敢再跟我拼一次？」

「有什麼不敢？」

「拼，只管給我拼！不要給我心疼錢，我最不怕花錢，但最怕你們不花錢。」陸飛睨了眼孫紅軍，「老孫，除了德國，霓虹那邊也盯緊點，特別是佳能、尼康的動靜。」

「尼康那邊好像認命了，倒是佳能，選擇了另一條道路，研究納米壓印（NIL）。」

孫紅軍也說不出個所以然。

陸飛讓他再探再報，跟進佳能的NIL路線，然後冷不丁來一句，「光刻廠有沒有搞頭？」

「什麼？！」

梁孟松等人一臉震驚。

光刻廠？

只聽過光刻機，光刻廠是什麼東西？

「咳咳，我是這麼想的，ASML的光刻機，為了賣出去，才要小型化、產品化、量產化，這個難度很大，但如果我們把光刻機不做小，而是當基礎設施來蓋，比如一個足球場大小，是不是可以彌補光源、鏡片這些問題？」

陸飛看他們一臉茫然，於是換種說法。

相當於造不出熱水器，就建個鍋爐房，然後接水龍頭，一次性接十幾個，能放出428n、14n、7n這些不同溫度的水。

「這個提法，我好像在哪裡聽過……」

梁孟松吸了一口氣，思索了片刻，突然靈光一現，「對，水木！水木大學有篇論文！」

「真有？」

孫紅軍、尹志堯簡直不敢相信。

「不過只是一個概念，叫穩態微聚束加速器光源，也叫SSMB。」梁孟松解釋說，「我關注這個，還是因為提出這個概念的教授，是楊振檸先生的弟子，可行性還有待檢驗。」

「只要有可能，就值得投資。」

陸飛計劃去趟水木大學，順便把自己存那裡一直沒時間取的EMBA碩士證書給領了。

「陸總，在這之前，我們是不是先去見見章汝京？章總一直在等您從香江回來。」

孫紅軍提醒了句，年初中芯跟台積電長達六七年的國際訴訟，達成和解，但作為條件之一，章汝京不得不被迫辭職，離開中芯。

「E，見，必須見！」

陸飛叮囑安排兩人見面的行程計劃。

有個項目，非他這位老帥不可！