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310.一臉懵逼(2/2)

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尼爾森就閉眼想想說:「好吧,我換一種說法。蘭光公司的這個浸入式設備,已經面臨淘汰,迫使他不得不投入很多的資金和人才,來研究EUV光刻機。而據說這個技術,ASML已經有了突破。」

「等等。」鄭國霖打斷她問,「什麼叫EUV?」這個詞他聽著耳熟。

尼爾森回答說:「就是極紫外光。你知道,光波越短,越容易被吸收掉。這樣,最終通過掩膜投影到晶圓鍍膜上的光線,就很難達到要求的強度。但越短的光波,解析度就越好,可以在單位面積晶圓上,製造更多的二極體。

這個極紫外光,理論上可以達到3nm的線路寬度。當然了,這裡面又要牽扯摩爾定律,就不和你解釋了,你只是聽就可以了。」

鄭國霖心說,我聽也得能聽明白啊?得,死記硬背吧,回去鸚鵡學舌跟專家學一遍,看裡面有沒有有用的東西。

就聽尼爾森繼續說:「浸入式技術,刻錄的光線需要經過一層水膜,光線損失很大,無法和EUV聯合使用,這是個遺憾。所以浸入式光刻機,在不久的將來,是要被淘汰掉的。

蘭光公司深知這一點,這是他們不惜成本,全力以赴攻關EUV光刻機的根本原因。可惜,到現在為止,他們還是不能投入實際運用。」

說到這裡,尼爾森突然不說了。

時間已經很晚了,鄭國霖還是一頭霧水,什麼有用的東西都沒聽到。

他還不敢著急,只能靜靜地等著尼爾森的下文。

過了差不多有一分鐘,尼爾森才說:「做為蘭光公司的資深技術管理人員,我有幸參與了公司這個研究團隊。雖然蘭光公司至今還沒有成功,但是,還是有了許多技術上的突破。

比如,極紫雷射光源波段的純化,我們設計了一種特殊的玻璃晶體,這個恐怕ASML都不見得知道。而這個玻璃晶體的配方和構造,我是知道的。」

鄭國霖還是不置可否。他根本不知道對方在說什麼。

就聽尼爾森繼續說下去。

「極紫光源很容易在經過反光鏡組和掩膜的時候被吸收掉,這就需要效率極高的反光鏡,更多的收集照射光源。

這個反光鏡的製造,尼康等一些知名製造公司也製造不了。只有德國一家公司可以製造。他們只提供產品給我們和ASML。」

說到這裡,她就問鄭國霖:「你知道這個反光鏡的重要性嗎?」

鄭國霖搖頭。她說這一堆,他覺得有用的,只有那個什麼玻璃晶體。

尼爾森知道自己在對牛彈琴,可沒有辦法,為達成交易,她只能繼續往下談。

「這相當於一台照相機,照相機上面所有的技術,世界上都知道。可是,相機鏡頭,卻不是每一個公司都可以製造。」

鄭國霖感覺,尼爾森快說到實質問題了。

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