第六十九章 巨額訂單(1/2)
檢測室內,神光1X射線光刻機正在運轉著,一群工作人員依舊在孜孜不倦的測試和調整。
作為中芯國際的首席技術執行,官李偉光技術水平還可以,他兩眼放光盯著眼前的龐然大物,這是多麼美妙的工業之花。
李偉光心想,希望這台光刻機是秀外慧中的美人,而不是金玉其外。
高致遠指著光刻機介紹道:「大家眼前的這台光刻機,就是我們神光儀器研發神光1X射線光刻機,具體技術指標,想必大家已經有所了解了。」
李偉光、趙軍等人當然了解,工信部的公告附件上面,就有神光1X射線光刻機的技術指標,他們半路上已經研究過。
「高總,貴方的光刻機精度真的可以達到10~7納米」李偉光急促的問道。
「我知道大家非常懷疑,一旁有八寸矽片,中芯國際應該有帶技術員過來吧」
李偉光點了點頭。
高致遠指著一側的庫房繼續說道:「你們可以派人拿著矽片,和我們的員工一起進行光刻測試。」
「那我們就恭敬不如從命了。」李偉光轉過頭向中芯國際的人吩咐道:「張工、李工,麻煩你們了。」
倆中年技術員麻利動手,他們藉助工具小心翼翼的將矽片取出。
這些矽片不僅僅價格昂貴,而且非常脆弱,別說摔地上了,哪怕是空氣最好也別直接接觸,因為沾染上灰塵會非常麻煩。
將兩片矽片送入專門的清潔設備之中,然後塗抹光刻膠,將光刻膠攤平到一定的厚度,晾乾矽片表面的光刻膠。
其中的工序非常繁雜,也不能有一絲失誤,這不僅僅考驗機器設備,也考驗技術員的水平。
要是其中一個環節出現失誤,不僅白忙活了半天,矽片、光刻膠、清潔液這些耗材就白白浪費了,這些都是真金白銀。
怪不得說科研就是在燒錢。
一個多小時過去,終於到了矽片光刻的步驟,一塊八寸矽片被光刻機的自動化設備送入其中。
為了避免影響光刻效果,李工通過一個小窗口的透鏡觀察了矽片一會,便將小窗口關閉,讓光刻室形成一個暗箱。
張工則在電腦上面挑選著一些掩模模板(電路圖母板),隨便挑選了其中一個模板,輸入尺寸調整。
因為不同的晶片電路圖,需要的面積不一樣,因此一塊矽片可以刻出多少顆晶片,是要根據實際情況來調整的。
工作人員們都是用簡單的手勢來交流著,在這種高精密的設備周圍,哪怕是說話大聲一點,都可能影響到光刻結果。
光刻開始。
大約16秒左右,被光刻完成的矽片便出現另一側的出口。
然後又快速加工了第二塊矽片,同樣是16秒左右出來。
在檢測室外面的趙軍、李偉光、方龍等人,都緊緊盯著那兩塊光刻完成的矽片。
張工和李工用特製的設備,一人負責一塊矽片,轉移到隔壁的電鏡檢測室裡面。
電子顯微鏡下,矽片上的電路圖紋路和模板一模一樣,唯一區別就是尺寸。
「竟然真的可以做到7納米,不可思議。」李工看著電子顯微鏡驚嘆道。
「不僅僅如此,X射線光刻出來的紋路非常整齊細膩,真是一個傑作。」張工補充道。
倆人對於兩塊矽片進行了非常全面的檢測,最後生成兩份檢測報告。
在外面干著急的李偉光,看到倆人走出來,迫不及待的上前問道:「結果如何」
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