1413章 雷射倍頻技術！（2/2）

因為阿斯麥可以得到鷹醬國內最好的極紫外光刻機需要的最好光源和計算光刻等方面的應用服務，這個也使得阿斯麥在四年前就推出了極紫外光刻機的原型機，甚至比瑞星科技公司的深紫外光刻機原型機還要提前兩年。

不過瑞星科技公司公司和阿斯麥在光源技術上選擇是截然不同的，瑞星科技公司選擇的光源是氮化鎵半導體固態雷射光源，而阿斯麥選用的是Cymer公司研製的離子束光源。

這種離子束光源主要是通過利用高功率的二氧化碳雷射器以高頻脈衝的方式轟擊光源內的錫液滴靶丸產生極紫外光源輻射，反射光學系統直接將光射向需要刻蝕的矽晶圓。

這家公司在上世紀八十年代起就開始玩氣體雷射光源技術用在晶片生產上面，在這方面玩得非常溜。

不過華興科技集團公司從一開始就開始玩半導體雷射，一開始從雷射讀寫頭開始玩起，後來開始玩半導體雷射光源波長最短的氮化鎵雷射光源，並且利用國內在非線性光學晶體材料上的絕對技術優勢玩雷射倍頻技術。

其實國內在玩雷射倍頻技術上是世界領先的，很早就實現了雷射六倍頻技術，華興科技集團公司利用這種雷射倍頻技術在實驗室裡面很早就研製出了波長只有6納米的極紫外光光源。

只不過這種極紫外光光源破壞力實在是很大，瑞星科技公司公司也不可能直接使用這種光源，只能是等到三陽光學公司研製出可以長時間經受住極紫外光光源照射破壞的鍍膜材料。

這種鍍膜材料要用到零膨脹材料，並且還不能吸收紫外光光源能量，其難度之大簡直眾多的科學家和工程師頭皮發麻。

不過楊傑在這方面那是真的捨得砸錢的，而且三陽光學公司這些年也是一直在為瑞星科技公司公司提供光刻機的鏡頭組，同時也為不少的大科學裝置提供各種高精尖的光學設備，技術研發上就從來沒有停過，所以現在已經能提供能夠長時間經受住波長在25納米極紫外光光源照射的反射鏡鏡頭裝置了。

所以現在瑞星科技公司公司選用的是四倍頻雷射技術的氮化鎵半導體固態雷射光光源。

如果在技術層面上來說的話瑞星科技公司公司在極紫外光刻機水平跟阿斯麥差不多是處於同一水平的。

不過楊傑是想率先搶在阿斯麥之前將極紫外光刻機實現量產，所以在跟胡煥志談到華興科技集團公司還要加碼技術研發上首先就提到了極紫外光刻機研發進度的事情。