1470章 第一梯隊！（1/2）

而且當年瑞星科技公司剛開始研發雙工件台系統的時候也是通過外交渠道邀請過霓虹國康尼株式會社的社長來華興科技集團公司這邊訪問，當時這位社長還當著何玉光等人的面說過這麼一句話：「光刻機光學系統雖然很難，我相信你們能夠研製出來，但工件台你們恐怕是拿不下來的，因為這個系統太複雜了。」

而且康尼精機方面也是不願意向瑞星科技公司公司提供零部件的，更願意賣整機。

後來瑞星科技公司也是靠著華興科技集團公司和楊傑的關係網得到了各種技術專利和人才資源，一邊緊盯著海外光刻機的技術動向一邊自己埋頭苦幹，一開始搞出來的光刻機確實是整體性能不怎麼樣，但是中晶微和華越電子集團和華晶都是批量購買，而瑞星科技公司公司也是直接派出技術人員守在晶圓廠隨時解決問題和收集各種數據，逐步地讓自己的產品設備改進完善。

瑞星科技公司剛開始的時候並不追求光刻機在所有方面性能卓越，強調的是可靠穩定，一開始的時候得不到氟化氪和氟化氬這些雷射光源就用技術已經非常成熟的汞燈光源設備結合浸入式光刻技術開始起步。

當年瑞星科技公司公司全力攻克的是沉浸式光刻機的浸液系統，並在這個系統上面掌握了大量的技術專利，這個也成了瑞星科技公司殺手鐧一般的武器。

而瑞星科技公司在這個基礎上也是不斷地在其他關鍵系統上進行研發，尤其是在雙工件台系統上進步非常快，這個也是得益於華興科技集團公司自己本身在超精密數控工具機技術上進展非常快，不僅做出了滿足90納米光刻需要的工件台，針對28至65納米光刻配套的雙工件台也也是搞了出來，現在連28納米到10納米光刻機配套的雙工件台也是研製出來，並且進行了大量的測試驗證。

經過這麼幾輪產品的技術疊代，瑞星科技公司公司的光刻機其實在05年到07年間推出的產品整體性能就全面上來了。

尤其是這幾年華興科技集團公司的眾多的技術成果開始湧現，再次將瑞星科技公司的產品技術推到了一個更高的高度。

瑞星科技公司公司現在光刻機產品線也是十分豐富，低端的產品主要還是以i線光刻光源為主，用來加工非關鍵性和比較大的電路結構，也能為45納米量產提供精確的套刻，主要用來加工存儲晶片、圖像傳感器、微機械晶片等大量晶片。

中高端光刻機產品主要是以氟化氪和氟化氬光源設備為主，這些設備主要是用來用來製造最小和中等尺寸的晶片電路結構，這種更短的波長能刻印40以下的納米電路結構。

一般而言，晶片的掩模層數最多達30或40層，因此中晶微在內的這些晶片製造商生產晶片時，通常會同時用到這三種設備。

氟化氪和氟化氬光源是瑞星科技公司向科學院光電研究院進行訂購的，雙方之間的合作很早就開始了，到現在科學院光電研究院已經能夠批量生產高性能的這兩種光源。

而在極紫外光光源上瑞星科技公司還是自行研製設計為主，到現在也是終於將這套光源給搞定了。

瑞星科技公司公司在國內挑選產品子系統供應商主要還是以國內的這些科研研所和高校的課題實驗室為主，甚至主動地向這些科研院所提供設備和資金的支持來進行扶持。

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