857章 牽一髮動全身!(2/2)
但是現在中晶微、華越電子公司、華晶科技集團公司這三大公司的自主性都是非常高,剛開始的時候主要是用海外的半導體材料,之後逐步地開始用半導體材料公司的材料來代替,這方面都是很同步的。
所以除了華興半導體材料公司之外,國內也是出現了十多家能夠提供可靠國產化半導體材料的公司,半導體材料的國產化程度已經達到了百分之七十多,這些國內的半導體材料公司都是活得比較滋潤。
不過在光刻掩膜光罩這個細分領域卻是因為市場場集中度高,寡頭壟斷嚴重,豐創集團、霓虹國的DPN和社Toppan三家占據80%以上的市場份額,不過這個市場規模也不大,現階段來說只有二十多億美金的樣子,所以半導體材料公司在這方面就沒有發力了,而是主要跟著幾家公司都是有合作。
楊傑也從來沒有說自己要把半導體材料整個市場給吞下來的想法,這些公司在這些細分領域持續研發了這麼多年了,自然是有其過人之處。
而且華興集團公司現在已經掌握了半導體產業最核心的技術,自然也是有底氣進行合作的。
而且這些公司也是十分樂意跟華興集團公司進行合作,為華興集團公司開發各種高階的光刻掩膜光罩。
現在國內成了全世界最大的晶片生產基地,這幾家光罩廠自然對兔子國國內的半導體市場十分重視,豐創集團公司還在潭州市這邊建設了最高等級的光罩廠,專門為中晶微、華越電子公司、華晶集團公司、天馬科技公司等公司提供高端的光罩。
華興集團公司現在正在研發極紫外光光刻機,自然也是跟豐創集團公司有過接觸,希望他們能夠研發出極紫外光光刻掩膜的光罩。
極紫外光光刻機光刻的時候使用鏡面反射光而不是用透鏡折射光,所以採用的光掩膜版也需要改成反射型,改用覆蓋在基體上的矽和鉬層來製作,同時因為極紫外光光刻機因為製程工藝極高,對光掩膜版的準確度、精密度、複雜度要求比以往更高。
當前製作掩膜版普遍使用的可變形狀電子束設備,其寫入時間成為最大的挑戰,解決方案之一是採用多束電子束設備,這就需要這些生產製造電子束設備的公司開發相關多束電子束產品。
也是因為極紫外光光源破壞性太大,就算是豐創集團公司能夠提供光刻掩膜,但是華興集團公司也必須要研發出光掩膜的保護層薄膜,提供阻隔外界污染的實體屏障,可以防止微塵或揮發氣體污染光掩膜表面,減少光掩膜使用時的清潔和檢驗。
而且這些薄膜的對光源的透射率太差的話,會大大地影響到光刻機的產量,如果光刻機的每個小時的晶圓吞吐量過低的話也是楊傑不能忍受的。
為了達到這些設計目標,華興集團公司還有大量的研發要去做,沒有個五六年的功夫這些技術是無法成熟起來的。