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第1001章 殊途同歸的EUV(2/2)

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「你幹啥?」蘇遠山見他拉開車門,哭笑不得。

「知道你要去宏芯那邊,我也過去看看。」李明柳一臉的坦然,隨著傅振華呵呵地開鎖,他一把拉開車門,先一步鑽了進去。

蘇遠山:「……」

不得已,蘇遠山也鑽進了后座,隨後韓依依替他關上車門,回到前排後,傅振華便啟動汽車,緩緩駛向大門。

蘇遠山偏頭望向李明柳,看了幾眼後搖頭感慨:「你這傢伙,老張都沒你積極。」

「老張是腿腳不利索了,再說他那邊本來就有宏芯的實驗室,時刻關注到的……我一天到晚哪有空過去啊?」李明柳聳了聳肩,隨即便正色起來:「你剛才說驗證機,是設計中還是什麼?」

「據說已經設計完了。」

「嗯,是全反射式的?光源搞定沒有?」

「光源據說還差一點,但驗證機嘛,主要是驗證思路的,不是要解決所有問題的。」蘇遠山深深地吸了口氣,輕聲道。

他確實很想看看宏芯這邊的驗證機設計方案是什麼樣子的。

在後世,euv光刻機的概念圖到處都是,但在現在……即便是asml前兩年「斷糧」的時候,都沒有公開設計圖。

李明柳聽了便點了點頭,不再說話。

汽車一路駛出大門,上了正道後在右側拐了個彎,緊接著又前進了兩千米左右,便抵達了宏芯的大門。

當看到車牌和擋風玻璃下的通行證後,門口的保安直接放行。奧迪便沿著一條弧形的園區路駛向光學實驗中心。

頭髮白了一般,但精神異常矍鑠的鄭振川領著一大群人站在門口,看到蘇遠山的座駕後,遠遠地便揮舞起了手。

……

「鄭叔!」蘇遠山呵呵地伸出雙手,和鄭振川緊緊的握著。

隨後,李明柳倒是矜持了點,只是一隻手握著,不過他喊的是「鄭所」。

一段很多人已經忘記了的歷史是,當初遠芯支援成光所搞第一台光刻機的時候,李明柳是遠芯團隊的負責人,他曾經在成光所呆了接近一年,期間還和設計工程師拍過桌子。

「哈哈,小山,明柳,裡邊請!」鄭振川容光泛發,哈哈大笑著,引著二人走向樓內。

都不是外人,鄭振川自然不需要客套,他直接把二人帶進了自己的辦公室。

「鄭所,你這是會議室吧?」

進屋後,李明柳看著堪比一間教室大小的辦公室,便有些忍不住笑了起來他和蘇遠山不一樣,他是第一次來這邊。

「辦公室,平時這邊放的是模型什麼的,然後還有學生也在這邊,今天你們要過來,就收拾了一下。」鄭振川笑眯眯地看著李明柳,突然之間便有些感慨起來:「明柳,我還記得當初你們過來的時候,這一晃……都十六年了?」

「差不多得有十六年了。」

「嗯,當初的帥小伙也變成中年人了。」鄭振川一邊走向自己的辦公桌,一邊打趣道。

「這位從少年都成中年人了呢。」李明柳坐到沙發上,笑呵呵地望向蘇遠山。

「咳……」蘇遠山咳嗽一聲:「鄭叔,我還趕著回家吃飯呢。」

「回啥家?來了我這你還走得掉麼?」鄭振川笑著回到,然後抱著筆記本便走到了茶几旁。

看著筆記本,蘇遠山和李明柳同時一笑。

嗯,筆記本是遠芯的x波ok7。

鄭振川從腰間取出一個加密u盤插入筆記本,又操作了幾下後,便將屏幕轉向蘇遠山和李明柳。

「這是驗證機的設計方案,也是目前的最終設計方案。」

蘇遠山微微點頭,眼睛卻漸漸亮了起來。

原因無它,因為這……和他所見過的euv光刻機,是「一樣」的。

之所以「一樣」要打引號,是因為記憶過去太久遠了……蘇遠山已經無法記清楚細節,只能說,他看著設計圖,便感覺到了一股熟悉。

這意味著……在現有的euv的理論框架下,無論是asml也好,還是宏芯也好,他們的思路……是殊途同歸的!

而既然是殊途同歸,那麼接下來比的,就看誰的供應鏈,誰的設備供應商更牛逼了!

這也是為什麼,鄭振川要在第一時間把喜訊告訴他的原因。

因為普天之下,在半導體這個領域,就算是宏芯,asml,尼康,佳能……這些光刻機生產商,要論對半導體領域的影響力,也不如遠芯。

要搞定設備和零部件供應商,遠芯是個最好的中間人。

而這個忙,蘇遠山顯然願意幫。

李明柳也湊過頭來,他比蘇遠山要跟興奮一些,不斷地翻著頁面,最後視線停在整體設計圖上,抬頭問道。

「機械仿真全過了?」

鄭振川笑眯眯地點頭:「當然。」

李明柳看了蘇遠山一眼,繼續問道:「零部件的要求高嗎?」

「高,不是一般的高。」鄭振川知道李明柳這人聰明絕頂,當年如果不是實在不好意思,他是真想把李明柳留下來的當然,後面證明了,李明柳確實聰明絕頂,而且他也真留不下來。

「國內能滿足多少?」蘇遠山這時也順著李明柳的話問道。

聽到這,鄭振川便微微嘆了口氣:「小山,明柳,我不瞞你們。國內這十幾年,雖然精密加工有了長足的進步,但euv這種……可靠性需求還是太高了。國內沒有幾家能夠滿足我們條件的。」

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