第855章 錦衣夜行（1/2）

換上全套防塵裝備，穿過風淋室，一群全身上下裹得嚴嚴實實的工程師早已站成兩排等在面前。

蘇遠山看著胸卡，認出了戴著口罩的龐克明他在成光所時代便是鄭振川的「徒弟」，如今鄭振川雖然還活躍在技術一線，但畢竟是當老總的人，精力難以為繼。所以便把攻克難關的任務交給了龐克明。

而且按照宏芯的計劃，在完成浸潤式光刻的攻克後，龐克明將就地在滬市建立分廠。

畢竟，作為工業和出口重鎮，滬市比起省城的優勢確實大不少，更重要的是，滬市這邊有德遠總部。今後如果不出意外，省城這邊的總部將更多會保留科研單位，進行技術攻關，而裝配工作會逐漸轉移到滬市這邊。

「龐工。」

「山總，我懶得再防塵服，就沒出來，你沒見怪吧？」

「呵呵，沒有沒有，大家辛苦了。」蘇遠山一邊和眾人打著招呼，一邊望向前方不遠處的「大機櫃」。

很好，看來確實是萬事俱備，只欠自己這場東風了。

「在諸位領導的……」龐克明帶著蘇遠山走向光刻機，他看了眼跟在蘇遠山身後的幾位大佬，笑著替蘇遠山介紹道。

「龐工，撿重點說。」蘇遠山目不轉睛地盯著光刻機，聽到龐克明要搞這種形式主義，馬上擺手：「多久能進廠？」

龐克明便看到，一干人的臉上都露出了笑意，他也輕輕咳了一聲，篤定地道：「現在就可以進廠。」

「哦？意思是，現在就能量產了？」蘇遠山轉身看著龐克明，很有幾分遲疑他一直關注著這邊團隊的進度，是以對光刻機參數了如指掌，壓根不需要龐克明介紹。

他最看重的，還是何時能夠量產。

原型機和量產機，那真的是有區別的。

「在設計之初，我們就考慮到了量產的問題。」龐克明笑著答道：「當然，現在就說能接訂單量產那肯定有些吹牛皮，不過讓這台原型機進廠跑起來，然後提供維護的方案，我們肯定是有的。」

蘇遠山又轉頭看著林本堅等人，只見這老幾位雖然帶著口罩，但也都眼角含笑，心中便知道龐克明所言非虛，當下便哈哈一笑，喜上眉梢。

「不錯，不錯！走，我看一眼測試。」

「好的，而且為了測試，我們還發明了一種專門用於光刻機測試的掩膜版和工序，它包括了套刻測試圖形和參數計算公式。」

龐克明示意下屬開始演示。

「山總，傳統的測試解析度和焦距的方法是製作光刻線寬測試版，即在光刻版的各個區域上都均勻放置一組線寬測試圖形，在圓片上曝光後用掃描電鏡測試該圖形的線寬數據，然後再來評價光刻機鏡頭各區域的解析度和最佳焦距。我們這個算是一步到位，簡單方便，啪的一閃，就能直接得出光刻機的參數了。」

「嗯，不錯！」蘇遠山再次點頭。

……

……

兩小時後，蘇遠山幾乎是一路飄著走出了無塵室。

作為宏芯的代表，龐克明這次就不能再撿懶了，他也和林本堅，趙凱東，梁孟松等一起進入了會議室。

「客套話我就不說了，意義我也不重複了，論功行賞什麼的……」蘇遠山見眾人都笑了起來，他也呵呵一笑：「咱們要低調點，不能搶了上面的風頭。」

「意思是，我們還要等上面驗收？」龐克明看著蘇遠山，試探性地問道。

蘇遠山微微一笑，點了點頭：「雖然咱們早就過了驗收報喜的階段，而且我們也沒有拿國家的錢，不需要上頭來檢查什麼的，更不需要對上面負責……但該給的面子還是要給嘛。」

在座幾人紛紛點頭。

縱然大家都是一心搞技術的工程師，但活了這麼大歲數，這種又不違背原則，又能讓國家開心的事，怎麼都是支持的。

「不過這事兒你們別著急，龐工你也要給鄭叔說一聲，咱們這個消息要先保密起來因為下個月半導體峰會就要召開了，現在初步想法是，等到半導體峰會結束之後再正式發布。」

「然後這段時間，你們看能不能抓緊時間進廠，把良率……」蘇遠山說著自己就愣了一下，隨即不好意思地笑了起來：「哎呀，時間太緊了，估計來不及。」

梁孟松和龐克明相視一笑進廠的話，那這活兒就應該是他倆來幹了。

從現在到五月十五號半導體峰會，滿打滿算都只有一個月掛零的時間，要在這麼短的時間內完成拆裝嗯，加班加點的話，也不是不行。但如果要正式投入使用，完善工藝和製程，那沒有三五個月還真的是休想。

畢竟，這台浸潤式DUV光刻機，它理論上可以提供太多太多的可能的了。

「這樣，大家還是先錦衣夜行一段時間，這段時間，大家好好休個假，放鬆放鬆。等到半導體峰會之後，我們再說。」

「那讓上頭驗收的事？」

「這事我先去找領導商量商量別的人可以瞞，在滬市這地盤，領導可是不能瞞的。」

蘇遠山腦中浮現出領導圓乎乎的笑臉，不由自主地浮出了笑意。

來滬市，他怎麼都要去領導那兒逛一圈的，而這事兒，領導顯然也是必須知道的。

……

由於依舊處於保密階段，大家也就沒有怎麼大張旗鼓地慶祝，晚上只是由蘇遠山做東，請了林本堅等幾個勞苦功高的負責人在酒店吃了頓平平無奇的晚餐。

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