第619章 下一代光源的抉擇（2/2）

「山總，這可是你說的。」梁夢松笑了起來：「製程推進很花錢的。」

「花錢怕什麼？只要在關鍵製程上領先一步，一筆單子就賺回來了。晶圓廠是個贏家通吃的行業，誰掌握了先進位程，誰就掌握了高端晶片代工的定價權。」

梁夢松點頭，他當然清楚，今後的製程推進會越來越難，投入需求也會越來越大當然回報也肯定足夠豐厚。

但遠芯還有個問題。

「山總，那要是遇到光刻機禁售……怎麼辦？」

說到光刻機，蘇遠山馬上便沉默了下來。

EUV已經如歷史軌跡一樣成立ASML這個荷蘭小公司，在簽下了幾乎是賣身契之後終於得以進入了EUV聯盟。

可以想像，在接下來的數年內，ASML將會迅速從技術上同時對尼康佳能進行追趕，並如歷史軌跡一般完成EUV的技術構想。

但歷史軌跡又不一樣的是，ASML完成對尼康佳能超越的關鍵團隊，目前在蘇遠山手上。

「只要國產光刻機仍然在追趕，禁售就不會發生。」蘇遠山抿著嘴，沉默地望向遠處的一棟大樓那裡便是林本堅和趙凱東的聯合團隊所在的實驗室。

「而且我們一直都與多方的光刻機企業有技術支持和合作，這種交錯的關係之下，除非德遠受到了明確的針對，否則不會發生。」

梁夢松不擅長這些「大棋」，他只需要知道，蘇遠山說不會，那他就不用擔心了。

而且德遠目前也確實是尼康的友好客戶，在去年WA協定簽署後，國內半導體產業都風聲鶴唳了許久，尼康為此還特意安排了工期……後面證明，霓國方面除了加強了檢查之外，並沒有干涉德遠的訂單。

「總之走著看，我們技術越有優勢，就越有討價還價的本錢。」說著蘇遠山站起身，朝著前方的實驗室走去。

……

「林叔，趙叔。」

蘇遠山見兩人同時站在門口，連忙上前握手，梁夢松也上前打了招呼。

見到跟在蘇遠山身後的梁夢松，林本堅倒沒什麼，趙凱東則是微怔了一下此時張汝金不在，按照規矩，負責接待陪同蘇遠山的顯然應該是德遠的二把手來……

按照職位算，梁夢松只能排到德遠的第五。

這架勢，看來蘇遠山是真鐵了心的要全力推製程突破了。

在接待室落座後，蘇遠山簡單問了一下目前的進度在光源領域，因為林本堅的加入，趙凱東團隊進展得很快，他們即將完成193nm的準分子雷射光源技術。

雖然比起國外同行落後了差不多一年多，但好歹算是追上了。而且就現有的技術和理論來看，193nm將會成為很長一段時間內都無法突破的光源。否則燈塔國那邊也不會成立EUV聯盟，找尋新的出路了。

當然，對於如何跨越193nm，除了EUV之外，也有其他的方案。譬如尼康和SVG就在準備攻克157nm的HeF2雷射，以及電子束投射(EPL)，離子投射(IPL)、甚至X光等等……

總之，就是解決的辦法一籮筐，放眼望去全是路。

但具體哪一條是真正的正道，誰也不知道。

嗯，只有蘇遠山一個人知道。

因為這些方案，都敗給了眼前這個樂呵呵的老爺子。

「林叔，趙叔，193nm之後你們的想法是什麼？」坐到沙發上，蘇遠山端起茶杯抿了一口。

趙凱東和林本堅對視了一眼，隨後笑著道：「193nm看樣子都要停留很久，你這麼著急？」

「我本來是不著急的。」蘇遠山很坦白：「主要是老美那邊搞EUV，搞得我有點心慌。」

趙凱東便笑著搖了搖頭：「雖然說光源要比光刻機領先很多，但193nm的光源現在都尚未用在光刻機上，你心慌也沒用。」

「至於說下一代光源，其實我和老林並不十分看好157nm，因為HeF2雷射可以說要完全推翻現有的光路系統，非但物鏡要重新搞，光刻膠也要重新研製……最主要的是，波長步進提升不大，且投入產出比太高了。」

「EUV，聽起來很不錯，有點下一代光源的意思。但你看EUV聯盟那架勢……就不是我們這個小作坊能夠完成的。」

蘇遠山便笑道：「有您二位在，咱們這實驗室可不是小作坊。」

「呵呵，不管是不是，但設計師不是有句話嗎？摸著石頭過河……既然前面有人趟路了，那我們也乾脆摸著石頭過河就行了。」趙凱東笑道：「intel不是拉了那麼多企業嗎？你也可以拉一個嘛。」

蘇遠山：「……」

他算是聽明白了，趙凱東的意思是，讓他也搞個EUV聯盟。

蘇遠山倒是想搞，可現在要是搞的話，那就不是遠芯主導，而是所有人給霓國人打工。

於是他便望向林本堅。

「林叔？你有什麼妙招沒有？」

（註：雖然有點枯燥，但……總歸還是得寫……）