第二百四十四章 超紫外雷射!波長1.5nm!功率2000w!(2)(1/2)
時間轉眼就到了第二天。
測試結果非常喜人,崑崙集團的光學系統,包括最重要的物鏡在內,一次就點亮了,並且成功流片。
但與此同時,這次實驗也發現了不小的問題,中科光電院負責的光源,波長雖然達標,但卻存在功率太低的問題,導致矽片曝光不夠,即便用系統饋贈的光學系統和超級物鏡,也沒辦法挽救。
「情況怎麼樣了?」
高原跑去睡了一覺,回到實驗室打了個哈欠。
楚落落小臉煞白,這可憐的孩子,激動加擔心,令她昨晚都沒睡好,而高原就不同了,他不僅舒舒服服睡一覺,還順便進入系統空間學習知識。
「還在調整光源,他們太拖後腿了,我看實在不行,就用咱們自己的光源吧!」楚落落心思單純,也沒有多想,當即說道。
高原蹙眉,看著實驗室里,一群穿著白色防塵服的工程師,正在對光源發生器進行調試,整個測試也因此陷入停滯,大家都在等待。
看來他們的雷射功率的確有問題,而且不像一時半刻能夠解決的樣子。
想到這裡,高原走進了項目辦公室。
由於是聯合項目,各家老總都來了,所以辦公室里人比較多,一個個都顯得很疲憊。
「杜所長。」高原對長春光機所的杜維明說道:「這次我們帶來了超紫外光源,實在不行,就先測試超紫外雷射吧,光電所的深紫外放在後面測。」
高原帶了光源,這件事他早就通報過的,在場的人都很清楚。
只是大家心裡都有點疑惑,超紫外光源是個什麼東西?以前沒聽說過啊!
光電所做的光源叫紫外,或者說深紫外雷射,波長193nm,是目前全球應用最廣泛的存在,從微米級晶片,一直到14nm晶片,都可以使用這種光源。
半導體代工巨頭台積電,甚至用深紫外雷射拿下了7nm工藝,令全球為之震撼,徹底打響了自己半導體領域第一天王山的名號。
所以中科光電所測試深紫外光源,高原一點意見都沒有,這種光源雖然做不出頂級工藝,但勝在便宜啊,性價比高,並不是說高原拿出超紫外光源後,深紫外光源就不需要了。
合格的光刻機台,應該同時兼容好幾種光源,好幾種工藝,所以高原讓中科光電所先測試深紫外光,打算等他們弄好了,再測試自己的超紫外。
誰知道光電所一整天下來,毫無進展,這讓高原有點按捺不住了,提出讓光電所的工程師休息一下,人有時候就是這樣,越忙越忙,弄不好大家睡一覺,洗個熱水澡,茅塞頓開,困難就解決了。
杜維明蹙眉道:「把光源發生器拆下來,再換上你們的,恐怕要大半天時間呢,要不再等等吧,光源又不是電燈泡,換來換去的很麻煩,而且每次拆裝,精度還要再次校準。」
杜維明說的也是實話,光刻機又不是縫紉機,不能整天拆來拆去的,稍微一動,精度就要重新校準,很麻煩的。
高原來的時候,光電所的深紫外光源,就已經裝在測試機台上了,否則高原一定會要求先測試自己的光源。
然而,這番對話讓光電院的龔欣迎院長,臉色一陣紅一陣白,有點坐不住了。
都是做科研的,龔院長雖然一向對崑崙集團敬佩有加,但這也太傷人了吧!
好像純粹是因為太麻煩,才勉強讓自己的光源留在機台上,要是拆裝容易的話,早就把自己的光源拆下來扔了!
你們行?
那你們就上吧!
超紫外雷射?
開什麼玩笑呢!
難道還能比荷蘭asml的極紫外更強!?
要知道,asml已經把波長干到了而傳統深紫外光是193nm,兩種光源之間,有著本質的差別!
我就不信了!
你們崑崙集團的這個什麼超紫外光,也能做到恐怕就是個名字而已吧!
崑崙集團向來熱衷宣傳,給自己的產品和技術,起一些匪夷所思的古怪名字。
明明是固態電池,卻叫崑崙晶石。
明明是複合碳纖維,卻叫崑崙暗星。
最離譜就是機械外骨骼,居然叫原子螞蟻?
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