第460章 五步光刻法（1/2）

1992年3月

新華社全文播發「為改革開放保駕護航」

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全彩會議室

今天開會來的人特別全，因為公司到了一個新的節點。

在會議桌中央，擺放著幾塊10.4寸的TFT-LCD樣品。這幾塊樣品，是用產線設備跑出來的。LCD生產線，終於徹底跑通了一次。

當然了，這個跑通，不等於馬上就能投產。因為還有產品質量問題，良率問題。但剩下的事情相對就好辦了，大家慢慢磨時間吧。

「樣品給駱師姐送去了嗎？」

「送去了，她們的電路板已經準備得差不多了，估計過兩天，成品就會送回來。」

會議室的眾人，都對第一塊可以顯示圖案的LCD成品，期盼著。

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會議的重點，永遠都是良率問題。

ODF工序，被引入以後，按理說TFT-LCD的良率，不應該有什麼問題了。剩下的都是很普通的半導體加工工序。

光電雖然沒有晶圓的生產經驗，但LED的生產經驗不算少了。但實際情況，並非如此，LCD的尺寸，實在是太大了。

「小成，你那邊的五次光刻技術，是否成熟了？」

王青山是產線調試的技術負責人，從現在開始，產率，良率的問題，主要就是他的事情了。

「怎麼了？」

「產品的良率不足，也跟現在TFT的加工工序次數過多有關係。」

TFT的加工工藝，與晶圓沒有原理上的本質區別。每一次光刻，成膜，清洗，塗光阻膠，曝光，顯影，烘乾，蝕刻，去光阻膠，檢查，都要走一遍。

目前的TFT加工工藝，採用的是七次光刻的工藝。也就是基板需要通過七次光刻，才能完成加工。

而在晶圓晶片的加工過程中，幾十次的光刻，是最少的了。這也是為什麼晶圓廠的成品率很難提高的緣故。步驟越多，總成品率就越低。

「小成，如果你有好的技術，就趕緊拿出來吧。」

白學成也在一邊加入了戰團，進行勸說。

「好吧。」

成永興猶豫了一下，但還是妥協了。這個技術，他是準備保留到下一代的。在歷史上，五步光刻法，要過幾年才會出現。

先顧眼前吧。

會議很快就轉向了其它議題。

例如國產原料的送檢等。但這些不影響主要進度。

有，不錯，沒有，也不怎麼值得大家關心。

從全彩員工的角度看，這些都是供應商，用誰的不是用？用國產原料，反而是給大家添麻煩。

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會後，白學成和成永興，王青山三個人到小會議室閒坐。

隨著產線的全線調通，大家的心情，也就慢慢放鬆了下來。

劉民學最後還是接任了《光電設備》的總經理，但他不怎麼來冰城，所以他的那個總經理，只是個掛名。

好在幾家下屬設備廠，完全可以獨立工作，有沒有這個上級單位，也沒有太大關係。

冰城的光電設備本部，又重建了一套獨立的管理班子，周強等一批人，從其他兄弟單位調動了過來。

「我們的顯示基地計劃，一直還沒有批下來。」

「這個我知道。」

「你怎麼一點都不急呢？」

白學成對成永興的態度，感到有點奇怪。

「急有用嗎？」

「呵呵，是啊！」

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