第481章 真假1微米（4）（1/2）

「這些CMP技術也要交給我們倆弄嗎？」

今天得到信息量太大了。兩個年輕人很有種目不暇接的感覺。

多重圖案技術，一聽就明白，也就敢照亮照亮。但是CMP技術，涉及的就是就是真刀真槍了。

機械研磨，研磨液怎麼辦，研磨速度，機加工精度，這裡面就沒有一個是簡單的。

他們兩個與成永興多少面臨同樣的問題，那就是畢竟學習時間太短，基礎知識不牢靠。

「這幾個技術，我會交給其他人進行研發。」

這個CMP技術，也很重要，但它就沒有保密的必要了。因為它本身就是一個公開的技術。現在就是比，誰先採用了。早採用，早受益。它完全可以光明正大的搞起來。

這也是為什麼這個技術，被叫做真1微米的原因。

CMP技術擺在前台做幌子，多重圖案技術藏在後面。

「是要交給趙主任他們嗎？」

「我會另外安排。你們就不用管了。」

這確實是個令人頭疼的問題。

工大在集成電路工藝上面，這兩年也做出了些成果，但畢竟底蘊不足。

另外，術業有專攻。只靠一個專業的十幾個人，去包打天下，根本就不現實。

趙主任領著一群弟子，已經在集成電路設計方面，狂奔了起來。那麼就讓他們繼續走下去吧。

這些技術，很多都是系統性的。它甚至不是靠一兩台設備，一兩個設備廠家能搞定的。

引入第三方力量，就是必須。

不過這個事情不急。幌子的作用，主要還是幌子。

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「我們現在幹什麼？」

「第一步還是先來驗證概念，另外要試驗一下，看LELE和 SAMP 這兩條路，哪一條更容易實現，難度最低。」

多重圖案技術法，有兩條實現路線。一條是LELE，另一條是SAMP.

LELE 是將設計版圖分解成兩套獨立的低密度圖形，通過兩次單獨曝光和兩次單獨刻蝕，然後疊加在一起，形成更精細的圖案。

SAMP 是通過一次光刻形成核心圖形，然後通過沉積（Deposition）在核心圖案兩側形成側牆（Side Wall），最後通過刻蝕（Etch）和修剪曝光來實現所要的圖形。

「這兩條路，是你提出來的，你自己不知道？」

嚴亮覺得這個事情有點奇怪。

「我又沒有自己動手做過，我哪裡知道？」

「這真是你自己的想法？」

「你問這麼多幹什麼？好奇心太大，會害死貓，你不知道嗎？」

「我們又不是貓！不說算了，誰稀罕！」

一個人又不是生活在真空里，只要時間長了，總是要漏出些馬腳的。以前，成永興每次還會去找藉口解釋，慢慢的，他連藉口都懶得找了。

這也是他只相信身邊這幾個人的緣故。至少這些同學，同鄉，他信得過。

可惜了，當初的黃埔軍團，只剩下這兩個人。由於缺乏可信助手的緣故，他的很多想法，都無法執行了。

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「這樣搞的話，908工程根本就沒有必要了啊！如果是這樣，能不能跟國家說說，把908工程的經費要過來一部分？」

「國家的撥款，你們就不用考慮了。908計劃，國家到最後也沒有給撥款，他們跟我們實際沒有什麼區別，都是銀行貸款。」

「到最後？這你是怎麼知道的？算了，我不問了。」

光電在全力衝刺LCD的產能，二號線，已經到了花錢如流水的階段。

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