第二十一章 真空鍍膜（下）（1/2）

空氣泵發出一聲巨響，隨後傳來「咣咣咣」的聲響。

許秋嚇的一激靈，朝後縮了一下身子。

等了一會兒，他感覺沒什麼危險，便上前檢查空氣泵。

「看著沒有問題啊。」他向學姐道。

「確實沒問題，這是正常情況。現在是發動機在通過曲軸，驅動活塞向儲氣筒內打氣，等到儲滿氣後，就會自動停下。」

陳婉清試圖繃住臉上的笑容，但是沒有成功，還是笑了出來。

「學姐你是故意的吧。」許秋做出一副憤慨的樣子。

「怎麼會呢，我是那樣的人嘛。」陳婉清笑道。

許秋搖了搖頭，回到總控台，繼續實驗。

他打開總控開關，膜厚儀的數顯屏幕亮起。

許秋先檢查膜厚儀的參數是否設置正確，包括靶材名稱、密度和Z因數等。

膜厚儀的原理並不是直接測量膜厚，而是通過間接法計算得到。

在蒸鍍過程中，靶材分子到達晶振片處，會產生電信號，經過擬合計算可將電信號轉化為蒸鍍速率，最後將速率與時間相乘得到膜厚。

調好膜厚儀後，數顯屏幕上顯示：

蒸鍍材料為鈣，速率為0.00埃每秒，膜厚為0.00埃。

同時，許秋觀察到總控台上面有兩個氣壓計，可以實時監測蒸鍍艙內的壓強。

其中一個示數為一個大氣壓，即1.0E5帕，另外一個則處於未工作狀態。

「為什麼要安裝兩個氣壓計呢？」許秋疑惑道。

「兩者的壓強測定範圍不同，前者約為0.1到10000帕，後者約為十的負六次方到1帕。」陳婉清道，隨後又補了一句：

「準備工作都好了，開始抽真空吧。」

許秋點點頭，按下機械泵的啟動鍵，同時打開超真空擋板閥，又是一陣轟鳴聲傳來。

「蒸鍍操作的噪音有點大啊。」習慣了之前安靜實驗環境的許秋，忍不住吐槽道。

「是啊，不過慢慢你就會適應的。」陳婉清道。

機械泵啟動後，氣壓計的示數快速減小。

從1.0E5，迅速變為3.2E4，然後是8.9E3，直至1E3帕左右，下降速度才開始變慢。

過了兩分鐘左右，壓強終於降至20帕以下，許秋關閉超真空擋板閥，打開分子泵。

分子泵的轉速要從0逐漸加速至27000r.p.m.後，它才可以正常工作，約需要耗時10分鐘。

待分子泵運轉平穩後，許秋打開束源爐擋板，然後啟動束源爐的升溫控制裝置。

裝置的屏幕上顯示有束源爐當前溫度和設定溫度，分別為27和30攝氏度。

他打開設定界面。

這塊屏幕採用的是計算器上那種「日」字型的顯示方法，主要用於數字顯示，所以顯示出來的字母都很抽象。

還好都是常用的單詞，許秋花了點時間弄明白每個參數的意義後，手動設定升溫程序：

SP1 30

RATE 30

TIME 60

SP2 400

RATE 30

TIME 3

SP3 520

RATE 20

TIME 100

第一階段，以30攝氏度每分鐘的速率升至30攝氏度，等待60分鐘；

第二階段，以30攝氏度每分鐘的速率升至400攝氏度，等待3分鐘；

第三階段，以20攝氏度每分鐘的速率升至520攝氏度，等待100分鐘。

確認無誤後，他長按啟動鍵，啟動程序。

升溫程序需要跑一個多小時。

在此期間，許秋向學姐請教了真空系統的工作原理。

陳婉清講解道：「機械泵，最多只能將艙內壓強降至零點幾帕，必須使用分子泵才能將壓強降低至十的負五次方帕這個數量級，從而達到蒸鍍實驗所需的最低真空度要求。

分子泵只能在低壓強下使用。所以在壓強大於20帕時，採用超真空擋板閥，阻隔分子泵和蒸鍍艙連接；當壓力低於20帕時將其關閉，再使分子泵和蒸鍍艙連通。

分子泵啟動後，還需要較長的時間，才能使蒸鍍艙內壓強達到1E-5級別。

這個時間在半小時至一個半小時之間。

如果一個半小時過後仍無法達到這個真空度，通常有兩種情況。

一種是體系氣密性不好，比如在關艙門時，門縫處夾了一個塑膠袋；

另一種情況是艙體內蒸鍍殘留物過多，需要清理。」

雖然系統里也有影像資料供許秋學習，但他覺得還是聽學姐講解更好一些。

主要是兩個人站一起，一直不互動也蠻尷尬的。

……

一小時後。

真空計示數達到5.2E-5帕，升溫程序也進入第二階段，一切正常。

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