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第18章微電科(1/2)

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「馬總,我得到小道消息,微電科創始人何文康要出售其公司。」倪光南院士得知這條消息後,第一時間來找馬東。

馬東問道:「微電科的技術實力怎麼樣?」

倪光南院士說道:「能自主設計生產低端光刻機,不過微電科有一隻300人的研發隊伍及現成的4級潔淨車間。

咱們公司建設的6級潔淨車間還需要7個月時間才能投入使用,實驗室人員設計的RISC V架構晶片,要有一個流片的工廠,微電科就是一個不錯的選擇,我們的團隊還在磨合期,他們有一支成熟的研發團隊,能為我們解決不少難題。」

馬東點頭贊同:「倪院長,我們海思確實需要這批研發人員,公司人員全力配合你,多花點錢也無所謂。」

倪光南院士帶著團隊,第二天就來到同在一所城市的微電科,前後花了一周的時間,用3.8億元的價格全資收購微電科。

這場閃電般的收購,讓微電科員工來不及做出反應。

隨後,知道是海思收購了他們,所有人都歡呼雀躍。

然後,馬東頻頻從海思抽調人員前往微電科實習、練手。

倪光南院士又建議馬東向光電所採購,他們今年6月份通過800納米CMOS全套工藝進行工藝考核的1000—800納米分步重複投影光刻機。

分步重複投影光刻機是微電子製造業中的關鍵設備之一,光電所從1991年開始承擔研製1000—800納米分步重複投影光刻機,取得了一系列重大技術創新與突破。

作為光刻機核心系統的5倍精縮投影物鏡,首次突破雙遠心設計和研製,能同時滿足高精度成像和暗場高精度同軸對準的需要,增加了物鏡恆溫控制及氣壓補償。

光電所自行研究編寫了可計算500萬條以上光線數的光能分布模擬計算軟體。

此外,在掩模矽片同軸對準、高精度三維測量平面氣浮工作檯、調焦調平等技術上均有突破,實現了整機全自動化。

馬東好奇的親自跑到成都光電所,光電所所長馬佳光院士親自接待這位先後投資10億美元發展國內半導體的年輕人。

馬東是受寵若驚!

在參觀過程中,馬東詢問了很多,也很深入。

陪同的馬佳光院士也是暗暗吃驚,他是真沒想到馬東對光刻機的熟悉程度如此之深。

這麼年輕,馬東是從哪裡學到的這些技術,也不像是臨時準備呀,馬佳光院士疑惑不解。

通過深入了解,馬東既高興有失望。

高興是:國內終於有了高良品率的800納米CMOS全套工藝的光刻機。

失望是:靠軍工那點產量,光刻機工業化生產遙遙無期。如果採用國外零配件,雖然可以快速量產,但零部件自產率不到40%,剩餘的60%需要依賴進口。

看著國內半導體產業發展之路坎坎坷坷,馬東也是著急。

光電所的光刻機已經是國內最高水準,可想而知國內其他半導體產業是什麼境況。

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