第612章 國產光刻機的研發進程，至少縮短了（2/2）

有人面露難色地擔憂道。

林南皺起眉頭，看向設備組的主任工程師問道：「蔡司鍍膜機在恆溫恆濕環境下，能不能把精度穩定控制在0.05到0.1納米之間？」

設備組的主任工程師想了想，非常嚴謹地回答道：「連續沉積10層鉬矽膜，厚度誤差最小0.04納米，最大0.09納米，剛好能滿足方案要求。

但問題是，每次換靶材、調整雷射功率時，誤差會出現0.12到0.15納米的波動，80次沉積下來，累積誤差可能會超標。」

林南思索片刻，給了一條解決思路：「那就加一道實時校準的流程，算法組先開發一套膜厚監測程序，跟鍍膜機的傳感器聯動，每沉積10層，就自動暫停，用電子顯微鏡掃描膜厚。

根據實測數據調整下一輪的雷射功率和沉積時間，把單次誤差控制在0.05納米以內。

另外，在鍍膜機周圍加一圈恆溫罩，避免溫度的負面影響。」

其他人聞言，頓時豁然明悟。

林南畢竟是滬城光學精密機械研究所的高級工程師，能力和技術兼而有之，又是胡銳暉極力推薦的人才，關鍵時刻能拿出行之有效的方案倒也正常。

事實上，在陳延森看來，像林南等人，智商、領悟力和創造力都不錯，但苦於接觸不到EUV光學的頂尖技術，這才像是鬼打牆似的，一直繞彎路。

若是能擁有同等的科研環境，林南未必開發不出一套收集鏡系統，可很多事終究沒有如果。

而陳延森能搞定這項技術，靠的也是遠超常人百倍的精神力，以及能讓他進入超頻思維狀態的【普朗克時鐘】天賦。

不然以他原本的能力，或許也能突破這項技術，但要花費的時間，絕對不止半個月。

在拿到「多殼層掠入射橢圓收集鏡系統」的技術方案後，星源科技光學部上下，立刻投入全部精力，以最快的速度反覆打磨、全力復現，力求將這套系統成功應用到實際生產中。

算法組連夜加班，三天內就完成了膜厚監測程序的開發。

該程序可以實時採集鍍膜機的雷射功率、沉積時間數據，還能自動生成膜厚誤差曲線，當誤差超過0.05納米時，將會觸發暫停指令，進而對精度進行實時校準。

由於研發中心還有大量光電所的工程師，所以科學協會的大佬們，沒過多久就得知了星源科技的技術突破。

「老胡，你幫我問問，星源科技還缺不缺人？」

滬城光學精密機械研究所的汪象朝，主動撥通了胡銳暉的電話，支支吾吾地說道。

「什麼意思？你想辭職？開什麼玩笑！」

胡銳暉反問道。

汪象朝可是滬城光學精密機械研究所的中流砥柱，主要的研究方向都在EUV光源領域，前後申請了170餘項專利，妥妥的行業大牛。

「老胡啊，星源科技連自研的收集鏡系統都弄出來了，你知道這意味著什麼嗎？再往下走，光源系統就能徹底打通，一旦完成雙工件台的研發工作，第一台國產EUV光刻機就有了技術根基，你明白嗎？」

汪象朝拿著電話，接連問道。

「老汪，你都一把年紀了……」

胡銳暉幽幽說道。

「放屁！六十歲，正是拼搏的年紀！算了，我還是找林南吧，不管怎麼說，我也是他的老領導。」

汪象朝見胡銳暉推三阻四的樣子，瞬間氣不打一處來。

按理說，他找林南更方便，卻有點抹不開面子。

「這套系統的影響力有這麼大嗎？」

胡銳暉是晶片設計工程師，對EUV光刻技術自然了解，但僅限於表面。

比如一個人吃過蛋糕，也知道這玩意是用哪些材料製作的，但製作步驟和細節是什麼，他就不清楚了。

「國產光刻機的研發進程，至少縮短了十年！」

汪象朝語氣篤定地給出評價。

胡銳暉深知汪象朝性格嚴謹，絕不會信口開河，他深吸一口氣，終於意識到星源科技的變態之處。

消息層層上報，一份詳盡的調查文件，迅速遞到了李青松的辦公桌上。

「保密管控，再把光學、雙工件台和調平調焦領域的科研人員，抽調一部分送去星源科技。」

研討會是上午開的，決議是當天生效的。

國產EUV光刻機的誘惑力太大了！

只要參與其中，便能從中撈取一份足以載入史冊的功績，這種機會，誰也不願錯過。

李青松的決議下達後，全國範圍內的科研資源開始向星源科技匯聚。

三天後，來自滬城光學精密機械研究所、華科協會瀋陽自動化所、國防科大等協會的87名專家陸續抵達廬州。

既有汪象朝這樣深耕EUV領域數十年的行業泰斗，也有在雙工件台、調平調焦系統研發中嶄露頭角的青年骨幹。

就連華卓精科所掌握的65納米製程雙工件台技術，都被送去了滬城。

(本章完)