第672章 第二步：覆海！破曉 A220 EUV光刻機（2/2）
控制台屏幕上，代表光源功率的數字開始緩慢爬升，每一個數值的跳動，控制室內的呼吸聲就跟著沉重一分。
137瓦、168瓦、214瓦……
當數字穩穩停在220瓦時，林南立即看向一旁的光源穩定性監測曲線。
那條代表等離子體約束狀態的綠色線條，始終保持著平穩的波動，沒有出現任何異常的尖峰或驟降。
系統運行穩定！
「功率穩定在220瓦！等離子體約束狀態良好，沒有出現能量泄漏！」
林南的聲音比剛才響亮了幾分，緊繃的肩膀也稍稍放鬆了一些，臉上綻放出一抹旁人看不見的燦爛笑容。
作為國產第一台EUV光刻機的核心研發人員，那是妥妥能登上教科書、評院士、留名青史的人。
他連忙深吸了一口氣，強行控制住自己的情緒。
陳延森微微頷首，轉頭看向章延傑：「光學系統同步適配，檢查光束勻化效果。」
章延傑立馬調出照明光學模塊的實時數據，屏幕上彈出一組光束截面分布圖。
淡紫色的光斑均勻地覆蓋在模擬掩模區域，邊緣沒有出現絲毫能量衰減的陰影。
「陳老師，光束勻化度99.2%，符合220瓦功率下的光學適配要求，成像光學系統已完成自動對焦校準！」
章延傑揚聲回應道。
這一次，控制室內的騷動比方才更加明顯。
有人悄悄抹了把眼角，還有人用拳頭輕輕捶了下桌面。
從107瓦到220瓦，不僅僅是數字的提升，更是證明他們的MCDE-EUV光源既能「點亮」，也能在更高功率下保持穩定，這意味著量產的可能性又近了一步。
功率是制約工藝節點的重要因素！
製程微縮需實現更小的線寬和間距，要求EUV光具備更高的光學對比度，而功率是對比度的核心支撐。
220瓦的穩定功率，足以滿足7納米製程的晶片生產所需。
陳延森嗯了一聲，接著吩咐道：「準備晶圓台與掩模台同步測試，加載測試晶圓，按28納米製程參數設置曝光程序。」
汪象朝馬上響應：「測試晶圓已通過機械臂送入預對準工位，掩模台已加載28納米標準電路掩模版，同步精度校準中。」
頃刻間，眾人的視線重新聚焦在主監控屏上。
屏幕被分成了四個畫面：左上角是光源功率與等離子體狀態，右上角是光學系統的光束分布，左下角是晶圓台的實時坐標，右下角則是掩模台的運動軌跡。
隨著汪象朝按下按鈕，兩個精密平台迅速移動，它們的運動軌跡像兩條精準咬合的齒輪，每一次微調都控制在0.1納米以內。
「同步精度0.08納米！已達預設標準！」
汪象朝說道。
陳延森看了一眼時間，此刻是晚上8點37分，距離真空泵啟動已經過去了半個多小時。
他俯下身子，對著麥克風，向實驗室的工作人員叮囑道：「曝光開始，單次曝光時間設置為0.5秒，記錄所有參數。」
核心腔室的觀察窗內，淡紫色的微光驟然亮了一下，旋即恢復柔和。
光路末端的探測器瘋狂刷新著數據，屏幕上跳出一行行代表「曝光能量密度」、「線寬均勻度」、「圖形套刻精度」的數值。
每一個數字都在朝著合格的方向靠近！
0.5秒的時間，卻像一個世紀那麼漫長。
當曝光完成的提示音在控制室內響起時，汪象朝立刻操控機械臂將測試晶圓移出，送往檢測室。
一行人都跟了過去，連腳步都變得急促起來。
在精密的EUV掩模版檢測儀下，當第一張晶圓的光刻圖案清晰顯示在屏幕上時，現場徹底沸騰了。
線條細如蛛絲，卻沒有一絲斷裂或模糊，每一個電晶體的輪廓都精準得如同復刻。
光刻機的運行原理就像印刷機，又像照相機，只不過它所運用的『畫筆』和『畫板』都更為精細。
「成了！真的成了！」
汪象朝喃喃低語，雙手在發抖，嘴裡發出『呵呵呵』的笑聲，壓抑中帶著亢奮。
不一會兒，笑聲變得嗚咽。
他今年五十九歲，在EUV光源領域已經摸爬滾打了大半輩子。
曾經的他，眼看著自己的人生快要走到盡頭，連EUV光源的技術突破也漸漸看不到希望，心裡滿是無力。
可誰曾想，星源科技會在這時橫空出世，不僅打破了僵局，更給華國自主研發光刻機帶來了全新的希望。
如今造出了EUV光刻機和燭龍 G1051五軸聯動數控工具機，往後華國晶片產業和高端製造業，總算不用再看別人臉色了！
汪象朝抹了把臉，想把激動的淚水憋回去，可嘴角卻控制不住地往上揚，最後索性也不掩飾，任由淚水順著臉頰往下淌。
這眼淚里，有大半輩子的遺憾，更有苦盡甘來的暢快。
林南見狀，拍了拍他的肩膀，溫言勸慰道：「汪工，咱們沒白等，也沒白干！」
站在人群里的梁勁松一臉唏噓，他暗暗打量著陳延森，默默給出評價：妖怪級別的天才！
要知道，世界上大部分的技術突破，都需要一代人、甚至是幾代人的積累，可陳延森硬是在二線的技術棧上，拿出了行業頂尖的方案。
220瓦、解析度小於12納米、0.33數值孔徑的光學設計，每平方厘米可容納約800億個電晶體，絕對可以支持10納米和7納米節點的EUV量產需求。
陳延森微微一笑，這台EUV光刻機便是他的新籌碼。
畢竟森聯資本涉足的行業越廣，樹敵就越多，若是拿不出像樣的壓箱底本事，又如何能獲得上面的全力支持？
另外，一台光刻機的售價高達5000萬到9000萬美幣，能夠創造巨大的經濟利益。
而且陳延森還能藉此培養一批生產、安裝、養護和維修的工作人員，進而獲得更多的人道薪火。
不過，Alpha樣機僅適用於內部測試，並不具備實際流片測試的條件，後續還得推出Beta樣機，即產品發布前由外部用戶進行測試的設備。
好在星源科技有自己的生產線，只需經過反覆調試、修改、疊代，就能逐步推進，最終製造出符合要求的成品光刻機。
「陳老師，給它取個名字吧！」
章延傑提議道。
「黑暗已逝，破曉乍現！就叫破曉 A220吧。」
陳延森想了想說道。
A代表星源科技光刻機的第一條序列，220是它的峰值功率。
與此同時。
李青松在收到消息後，立馬拿起文件，急匆匆地朝著南海旁的一座庭院趕去。
(本章完)