第1631章 這技術我真沒見過(1/2)
壽榮昌深吸一口氣,努力讓自己的聲音顯得渾厚。
但因為面罩的緣故,反而有些沉悶:
「開箱!」
兩名早已準備好的SMEE工程師,一臉嚴肅地走到貨櫃前。
他們各自手持一把造型奇特的銀色鑰匙,並分別將其插入位於貨柜上下兩端的兩個鎖孔。
兩人默契地同時開始倒數:
「三……二……一……開!」
兩柄鑰匙幾乎同時轉過90°、
貨櫃正面,一盞醒目的紅燈瞬間跳轉為穩定的綠燈!
「滴滴!」電子鎖解除的提示音短促而清晰。
緊接著,一陣輕微的液壓泄氣聲傳來。厚重的雙層合金櫃門,沿著精密的滑軌,緩緩地、平穩地向兩側無聲滑開。
一層厚厚的、透明度極高的鋼化玻璃護罩顯露出來。
透過玻璃,可以清晰地看到被多層柔性防震材料牢牢包裹、固定在特製支架上的核心——
那套傳說中的「全新物鏡系統」模組。
模組整體呈圓柱形,體積比眾人想像中要緊湊得多。
雖然鏡片表面全都覆蓋著黑色的遮光保護罩,但大致輪廓和鏡片分布清晰可見。
「咦?」
跟在張汝寧身後的范洪傑忍不住發出一聲低低的驚呼,在極度安靜的車間裡顯得格外清晰。
他立刻意識到失態,有些尷尬地扶了扶護目鏡,解釋道:「抱歉……我是說,這模組的集成度……在DUV系統里,我至少有十來年沒見過了!」
十幾年前,DUV光源才剛剛引入光刻系統。
模組簡單,是因為性能相對較低。
但現在拿出這麼個緊湊的系統,顯然是另一回事。
「別急。」張汝寧回頭看了他一眼神秘地笑了笑,「更讓你震驚的,還在後面呢。」
語畢,他和壽榮昌二人親自上前,小心翼翼地一齊發力將巨大的護罩緩緩移開。
緊接著,幾名穿著潔淨服、戴著特製手套的工程師上前,在張汝寧的親自指導下,極其謹慎地解除了模組的固定裝置,然後合力將其沿著精密滑軌,平穩地轉移到旁邊一個特製的光學裝配平台上。
當模組穩穩落位後,最關鍵的時刻到了。
又是兩名工程師上前,用特製的工具,極其輕柔、精確地,逐一取下了覆蓋在每一個鏡片組上的黑色遮光保護罩。
物鏡組的真容,終於毫無保留地展現在所有人眼前!
銀灰色的精密金屬鏡筒內,十四個大小不一、形狀各異的鏡片組按照特定的順序排列組合,鏡片邊緣在無影燈的照射下閃爍著獨特的光澤。
「這……」孔學武雙眼猛地瞪圓,下意識地往前湊了一步,有些難以置信地嘟囔著,「這……這光路結構……怎麼看著像個……復古的純折射式物鏡組?」
要知道,從三代之前的ArF-850開始,長光集團就放棄了純折射模組,轉而引入折反式系統。
壽榮昌也眉頭緊鎖,繞著裝配平台走了一圈,手指在虛空中比劃著名。
他作為整機集成專家,對光路極其敏感。
「奇怪……」壽榮昌的語氣中充滿困惑,「我好像有點看不懂這個鏡頭組的光線通路……」
說完,他後退幾步,又比劃了兩下。
還是得到了一樣的結果:
「無論假設光源從1號鏡(最上方的凸透鏡)還是2號鏡的位置入射,按照這些鏡片的曲率和稜鏡角度,光線似乎都無法有效匯聚到底鏡上……反而感覺會從側面,比如5號或者7號稜鏡的位置,直接折射或者反射出去?」
他看向張汝寧和栗亞波,試圖尋求答案。
但並沒有馬上得到回應。
就在眾人被這奇特結構吸引,低聲討論,充滿疑惑之際,張汝寧移步到裝配平台旁邊一台懸掛的大尺寸觸控顯示屏前。
他伸出戴著無塵手套的手指,輕點兩下喚醒屏幕然後迅速輸入了一長串複雜的動態密鑰。
屏幕亮起,瞬間切換到一個高度複雜、標註詳盡的三維光路設計圖界面。
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