第1631章 這技術我真沒見過（2/2）

屏幕亮起，瞬間切換到一個高度複雜、標註詳盡的三維光路設計圖界面。

張汝寧轉過身，面向眾人。

剛剛還在低聲討論的壽榮昌、范洪傑、孔學武等人瞬間噤聲。

整個超淨車間裡，只剩下空氣循環系統的低鳴，以及二十幾道凝聚著震驚、好奇與求知慾的目光，齊刷刷地聚焦在那塊大屏幕上。

只有少數幾名跟隨張汝寧全程參與研發和測試的長光及火炬核心成員除外，

他們臉上露出瞭然於胸的會心笑容，饒有興致地等待著同事們接下來的精彩反應。

「各位，」張汝寧的聲音透過口罩，清晰而沉穩，「這就是我們『全新ArF-1800物鏡系統』的核心設計。」

他指向屏幕中央複雜的光路圖：「首先，大家最關心的光路問題。」

光路圖被高亮，一條虛擬的、代表193nm DUV雷射束的紫色線條開始沿著預設路徑動態延伸。

「光源，從這裡，1號凸透鏡上方特定角度入射。」光點精確地落在1號鏡上。

「然後，光線會依次經過這裡、這裡……」代表光路的紫色輔助線快速在幾個鏡片間跳躍，「注意看這裡，5號稜鏡！還有這裡，7號稜鏡！光線在它們表面，並非單一地折射或反射……」

隨著他的講解屏幕上5號和7號稜鏡的位置被放大、高亮。

然而，兩股光束在接觸到稜鏡表面時，竟然詭異地走向了兩個方向！

一股清晰地沿著折射路徑穿透稜鏡繼續前進，而另一股則沿著反射路徑改變了90度方向！

「這……這怎麼可能？！」范洪傑心中狂震，差點喊出聲。

他死死盯著屏幕，感覺腦子有點發鈍：

一個光學元件，怎麼可能同時承載折射和反射功能？

在物鏡系統內，折射元件表面的反射效應是主要干擾之一，要儘可能消除的。

但張汝寧卻沒有停頓，繼續引導光路前進：「……經過16次折射和4次關鍵反射後，最終，光線會在這裡——底鏡，被完美匯聚！」

光點最終精準地聚焦在代表矽片平面的目標點上。

很快，范洪傑就意識到，問題不只出在那兩處。

通過3號和12號鏡片的折射光路走向也非常奇怪，看上去就好像把把鏡面輪廓給畫錯了一樣……

他強壓下立刻提問的衝動，只是把關鍵疑點記在腦子裡，準備事後細問。

然而，張汝寧的解釋反而更快一步。

「好，光路清楚了。」他的語氣變得無比嚴肅，「現在強調安裝和調試的核心關鍵點！」

「整個物鏡組的核心，是這四塊鏡片！」指尖依次點中3號透鏡、5號稜鏡、7號稜鏡、12號透鏡，它們在屏幕上閃爍著醒目的高亮輪廓線。

「它們由一種革命性負折射材料製成。」張汝寧語氣平淡地吐出了一個石破天驚的名詞，「其中3號和12號透鏡的主要功能是消除系統色差，確保成像清晰度。」

「而5號和7號稜鏡，」張汝寧繼續介紹，「利用負折射材料的特殊光學性質，同時發揮折射和反射功能，避免垂直入射的光線被其它元件遮擋……」

「……」

他環視全場：

「正因如此，這套物鏡組在安裝、定位和校準過程中，其基準點設置，與我們之前的ArF-1500系統完全不同，不再是傳統的1號鏡、中間鏡、底鏡三點校準！」

屏幕上，四個紅色三角精確地標定在3號透鏡、7號稜鏡、12號透鏡以及底鏡的位置上。

「而是3號、7號、12號、底鏡，四基準點校準！其定位精度要求和相互關聯的複雜程度，遠超以往任何型號，這也是為什麼必須由我們最精銳的原班人馬親自操刀，SMEE和華芯的同志密切配合……」

「……」

實際上，後面這部分內容，張汝寧大概率要再說一遍了。

因為當「負折射材料」五個字從他口中吐出的瞬間，大部分人就已經進入了呆若木雞的狀態。

尤其范洪傑，更是瞬間明白了什麼叫「更讓你震驚的在後面」。

好嘛！

這技術，我是真沒見過……

(本章完)