第1622章 突破阿貝極限!(1/2)
「常院士,這是……?」欒文杰環顧四周,有些不解。
相比旁邊關乎國家半導體命脈的光刻機測試,這裡的設備顯得過於「普通」了。
「一項純光學的……原理性驗證實驗。」常浩南言簡意賅,目光落在栗亞波身上,「我們準備了快半年,最近才真正具備了測試條件。」
「純光學?驗證什麼?」欒文杰心中的疑惑更甚。
「很快您就知道了。」常浩南依舊賣了個關子,示意欒文杰耐心觀看,目光也投向了栗亞波的操作。
只見栗亞波最後確認了一下所有光學元件的共軸性,然後極其小心地將一塊巴掌大小、表面布滿極其細微黑白條紋的金屬板插入一個特製的靶標架中,並微調了一下位置和角度。
接著走到控制電腦前,手指在鍵盤上快速敲擊了幾下。
嗡……
一聲輕微的啟動聲,位於平台一端的光源被點亮。
霎時,一束鮮艷奪目的紅色雷射束激射而出,經過擴束準直後變成一道直徑大約幾個毫米的平行紅光,射入中間黑色的遮光罩內。
而當光線從另一端射出時,已經略帶上了一絲難以察覺的模糊感。
最終,這束光線投射在數米開外的精密成像屏上,形成一個邊界柔和的光斑。
「紅光?」欒文杰有些驚愕地低呼出聲,「還是可見光?」
在他的認知里,要突破極限,理應使用波長更短的紫外光甚至極紫外光才對。
常浩南似乎早料到他有此一問,平靜地解釋道:
「我們要測試的,是一個理論上『不可能』被傳統透鏡實現的結果……如果使用波長太短的光,那麼……對測試系統本身的精度和噪聲要求會很高,甚至大概率無法測出有效結果。」
他這邊話音剛落,一直緊盯電腦屏幕的栗亞波已經抬起頭:
「找到了。」
從他的臉上看不出太多情緒,但聲音有些發顫:
「成像清晰!我找到靶標的成像結果了!」
「快!」
常浩南立刻上前幾步,接替栗亞波坐到了顯示器前面。
欒文杰也按捺不住好奇,迅速湊到旁邊。
屏幕上顯示的並非什麼複雜的電路,而是一系列明暗相間、等寬等距的豎條紋圖案。
條紋邊緣銳利,對比度極高。
他快速搜索了一下腦海中的知識,並沒有想起來符合當前場景的答案。
但看著面前師生二人的這副架勢,已經能冥冥中感覺到,眼前這東西恐怕不太尋常。
好在,常浩南並沒有讓對方的疑惑持續太久。
「這是解析度測試靶標的一部分。」他指著屏幕上的豎條紋解釋道,「根據光學成像的瑞利判據,使用波長λ=632.8nm的可見紅光時,一個傳統透鏡的理論解析度極限δ大約是0.61λ/ NA……換算到我們這個系統里,大概是在316nm左右。」
他指著屏幕上最清晰的那組條紋旁邊標註的一組編號:
「您看這裡,第10組第5元素,它對應的線對寬度是308nm……也就是說,對於一塊正常意義上的透鏡而言,在632.8nm波長下,不應該看清楚靶標上第10組第5元素以下的圖案。」
常浩南說到這裡,刻意停頓了一下:
「但是……」
他沒有繼續說下去,而是移動滑鼠,在屏幕上快速搜索著。
很快,光標停留在屏幕靠左側的一個區域。那裡清晰地呈現出一個由三條豎直亮線組成的圖案,亮線之間是等寬的黑線。
這個圖案在屏幕上的標註正是「Group 10, Element 5」!
「嗯?」
欒文杰失聲驚呼,身體不由自主地前傾,幾乎要貼到屏幕上。
瑞利判據是物理學基礎,他剛才已經聽明白了這個測試的意思。
308nm,已經超過,至少是貼近了632.8nm波長所對應的解析度極限
然而,眼前的三條亮線是如此清晰銳利,邊緣平滑,沒有一絲一毫的模糊或彌散感。
根本不像是在逼近理論極限,反而像是在分辨一個遠大於極限的物體!
常浩南臉上依舊保持著那種掌控一切的平靜,沒有立刻解答欒文杰的震驚。
他只是再次移動滑鼠控制著屏幕上的成像區域向下移動。
畫面切換,來到了標註為「Group 10, Element 6」的區域。
這裡的線條圖案更加細密。
然而,圖形中的三條亮線依舊清晰可辨。
其銳利程度與9-5相比,幾乎沒有肉眼可見的衰減!
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