第1620章 從40nm到27nm的跨越（1/2）

十幾分鐘後。

換上防護服的一行人跨過雙層氣密閘門，輕手輕腳地踏入到嶄新設立的無塵測試間。

視線透過防護面罩的視窗，欒文杰幾乎瞬間就捕捉到了房間中央那座巨型光學平台。

形似手術台卻被放大數倍，其上密布著調整架、導軌與傳感器接口，幾束不同顏色的指示雷射束在平台上方交錯掃描，令人有些目眩。

平台周圍，則是七八個身著連體式白色無塵服、頭戴全封閉護具的忙碌身影。

張汝寧，還有他的團隊。

大部分人都沉浸在自己的任務里，對身後氣密門的開啟與訪客的到來渾然不覺。

只有坐在主控電腦前的何修軍此時任務較輕，眼角餘光瞥見了氣密門開啟的微弱指示燈變化，以及隨後魚貫而入的常浩南眾人。

他下意識地要起身，但動作剛到一半，就看到常浩南隔著面罩對他壓了壓手掌，示意繼續工作。

何修軍立刻會意，強行按捺住心中的驚異，重新將注意力聚焦到屏幕上跳動的數據和波形圖上。

直到大約二十分鐘後，伴隨著儀器發出一陣清脆的提示音，控制台上的最後一組指示燈隨之由紅轉綠。

張汝寧如釋重負地舒了口氣，肩膀微微鬆弛下來。

然後習慣性地轉身，準備招呼大家短暫休息。

然而，這一轉身，整個人瞬間就僵住了。

幾米開外，正佇立著幾個身影。

跟他們一樣，都穿著封閉的白色無塵服。

由於面罩的存在，看不太清楚面孔。

只能從體型和動作習慣中分辨出，為首二人中的左邊那位，應該是常浩南。

至於剩下幾人，則不像是火炬實驗室的成員。

「常院士？」

張汝寧的聲音透過面罩，顯得有些瓮聲瓮氣，但還是能聽出明顯的錯愕，眼神也在幾人之間游移不定。

欒文杰倒是知道眼前就是常駐火炬實驗室進行系統研發的長光集團技術團隊，但因為同樣的原因，也分不清其中誰是誰。

好在常浩南及時開口，向二人分別介紹了對方的身份。

這下，欒文杰總算有了精確的目標，上前幾步來到張汝寧面前，主動跟他握了握手。

而後者在聽過剛才的介紹之後，就已經腦子嗡的一聲愣住。

工建委一把手！

他下意識地就想說些「歡迎領導視察指導」之類的場面話，但到了嘴邊卻又猛地卡住——

眼下可是在火炬實驗室的地盤上，自己身為臨時來此工作的合作方，做出歡迎表態似乎有喧賓奪主之嫌。

結果僵在原地，一時不知如何是好。

一股微妙的尷尬瞬間瀰漫開來。

「欒主任，剛剛被提升起來的那兩個模組，就是我們專門給EE ArF-1800光刻機研發的物鏡系統，還有作為對照組的ArF-1500物鏡」

又是常浩南及時開口，把眾人的注意力轉移到了旁邊的測試平台上。

無形的壓力瞬間消失，張汝寧如蒙大赦，立刻接上話題：

「我們剛剛進行的測試，就是在193nm的DUV光源條件下，對比新舊兩種物鏡方案的性能……」

欒文杰並非光學系統或者半導體出身，之前也沒看過光刻機被大卸八塊之後的樣子，所以下意識來到體積更大的1500模組旁邊，左右看了一圈然後才瞄向另一邊體積更加緊湊的1800模組。

「體積大了這麼多？」

顯然，他是把更大的模組當成了更先進的。

當然傳統上，光刻系統的物鏡組也確實是性能和體積成正比。

只不過常浩南的路子實在不同尋常。

張汝寧趕緊解釋：

「我們採用了火炬實驗室提供的負折射材料，結合常院士提出的『折反鏡一體設計』理念，大大簡化了物鏡組的光學設計。」

聽到「簡化」兩個字，欒文杰才意識到自己把目標給搞反了。

好在還沒把臉給丟出去，所以又故作沉著地踱步到更小的那個模組旁邊，微微俯身，似乎想從眼前繁複的結構中找出些許相似之處。

只是理所當然地失敗了。

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