第1613章 如果上帝為我關上一扇窗，那就直接（2/2）

波長越來越短，逐漸逼近深紫外（DUV）區域。

這是傳統光學材料色散急劇增大、像差最難控制的波段。

然而，屏幕上的干涉條紋，雖然隨著波長的變化出現了些許撥動，但呈現出來的變化幅度卻幾乎是肉眼不可見的水平。

如果使用傳統光學器件，那或許只有蔡司出手，才能做到類似的程度。

而且肯定需要一個巨大且複雜的透鏡系統。

絕非三塊鏡片就能解決。

「太穩了……」一位長光的光學工程師忍不住低聲驚嘆。

栗亞波對這個結果早有預估，但真到了親眼所見的時候，還是忍不住掛上了一抹笑容——

如果這個成果順利投入應用，那麼就連自己的院士頭銜，都可以提上議事日程了。

正常情況下，一門雙院士這種事，一般都是老師在哪個院，學生就在哪個院。

但他的老師同時身兼雙院院士。

哎呀，到時候該怎麼選呢？

真是個令人感到痛苦的抉擇呢……

……

就在栗亞波已經忍不住想入非非的時候，何修軍帶著激動的聲音傳來：

「數據出來了！」

他恨不得把頭塞進屏幕里：

「相比基準波長，系統波前的RMS值（均方根值）上升了……不到15！」

實際應用中，DUV光源的寬度很窄，不可能囊括從1nm到193nm這麼寬的範圍。

因此這個數值換算到光刻機上面，就已經是非常優秀的結果了。

身後的另一名工程師直接一哆嗦：

「這……這比我們之前任何一套全折射或折反式系統在這個波段的穩定性都要好得多！」

張汝寧緊抿著嘴唇，沒有說話，但緊握的拳頭微微鬆開，肩膀也耷拉下去不少。

不過，還不到可以徹底放鬆的時候。

電腦屏幕上，ArF波長下的干涉條紋依舊清晰可辨。

雖然比長波長時略粗了一些，但整體形態保持良好沒有災難性的崩潰。

「提取澤爾尼克係數，重點分析離焦項Z4！」

張汝寧語速加快。

澤爾尼克係數是量化光學系統像差的標準數學工具。

其中Z4項，就代表了離焦，這正是由色散差導致的核心像差之一。

何修軍熟練地操作軟體，對當前的干涉圖樣進行高速採集和分析。

十幾秒鐘後，結果跳出！

「Z4值是……-042λ。」

何修軍的聲音由於興奮而顯得尖銳：

「對比我們之前最成功的消色散方案，這套三透鏡系統在同等焦距下的實測Z4值減少了差不多三分之一……」

減少三分之一，這很重要。

但還不是最重要的。

「而且，」張汝寧補充道，「這套系統的體積，只有傳統消色散組件的不到五分之一！」

更緊湊的體積和更簡單的結構，相當於給物鏡組的其它部分留出了更高的自由度。

顯然，他們成功了。

這不僅僅是數據的勝利。

還是為突破AL在光刻技術上的封鎖，打開了一扇充滿希望的窗……

不對。

何止是開窗。

這是把房頂都給掀了……

就在眾人沉浸在初步成功的喜悅中時，氣密門再次滑開。

一名測試人員探進頭來：「栗教授，有電話找，常院士的。」

正在跟另外幾人討論結果的栗亞波一愣，接著匆匆離開。

但僅僅幾分鐘後，又去而復返。

「各位！」栗亞波打斷了討論和慶祝。「常院士讓我立刻通知大家，儘快去頂樓會議室集合！」

張汝寧臉上的笑容瞬間收斂，嚴肅起來：

「栗教授什麼事這麼急？」

他看了看旁邊的設備，還有電腦屏幕上的數據：「實驗方面還有些收尾和重複驗證……是需要所有人都過去麼？」

「老師說，他找到了一種全新的理論方法！」

可能是因為之前一路跑過來的緣故，栗亞波的呼吸有些急促：

「可以替代現有體系，對偏振像差進行描述和理論解釋。」

此話一出，就連正坐在電腦前分析數據的何修軍都停下了手上的動作，轉過頭來看向栗亞波。

「替代瓊斯矩陣？」

不止一個人脫口而出。

在傳統光學系統的成像過程中，大多是將光看做標量處理，而忽略其矢量特性。

但在投影光刻物鏡中，當數值孔徑NA不斷增大時，光的矢量特性對成像效果影響也會逐漸增大。

尤其對於3G浸沒液和鑥鋁石榴石這樣NA值預計會大於70的系統，傳統標量像差理論已經不足以完全表徵光學系統的成像性能。

必須使用偏振像差理論。

然而，偏振相差甚至沒有一種完善的描述形式，穆勒矩陣和瓊斯矩陣各自有無法適用的範圍。

如果能解決這個問題，無疑是補上了超高精度成像領域的一個缺口。

張汝寧瞬間做出決斷：

「先暫停手頭的所有實驗操作，鎖定設備狀態！」

「小何，注意保存好所有數據。」

「所有人，跟我上樓！」