第八十九章 第二代光刻機誕生（1/2）

趙燁給這台光刻機設計的光刻機運動系統，是利用了槓桿原理來實現的。

畢竟現在這台機器還是幾乎是純手動，趙燁利用精密的絲杆，再帶精密齒輪組，把底座的運動距離，放大了很多倍，這樣才能實現光刻機外面設置的手輪, 轉動一圈，底座按照設計位移兩微米。這幾乎是這個時代的極限了。

這樣的手輪在光刻機的操作台上有七個，分別控制底座不同的運動路徑。等到這套系統被安裝完畢後，幾個專家立即就進行測試。測試的工作比安裝還要慢，等測試的工作完成後，整個地下室都響起了熱烈的掌聲。

「太不可思議了，太偉大了！這簡直就是奇蹟！」負責測量的人員，都猛烈的拍著巴掌，對這些高級技工, 報以熱烈的掌聲。

這些精密加工，都是趙燁這幾個人，一點點的用手完成的。最後的移動精度，震驚了精密測量專業的專家。

要實現如此精密的位移，這一點兒都不簡單。

掌聲停止了，工作照常進行。

一些測量用的設備，一些被拆除了，還有一些被保留了下來。然後就輪到透鏡組進行安裝了。

趙燁還有幾個過來支援的高級鉗工，一步步，一點點的把整套系統安裝完畢，整整用了一個星期，第一台設備才算是正式誕生並通過了檢測。

眾人無不激動的掉淚，這幾乎就是國家精密儀器的代表之作！在此時此刻，它甚至可以說是全世界最精密的儀器之一都毫不過分。

眾人激動過後，就是合影留念。唯一還沒有露出笑容的, 只有一個泉教授。

「泉教授, 明天就是試生產了, 成敗可就看你的燈泡了！」沒等趙燁上前說話，慈教授就已經拉著泉教授說了這麼一句話。搞的泉教授更加緊張了幾分。

「爭取一次通過，爭取！」泉教授可不敢把話說的太滿，說實話，他是真的心裡沒底的。

趙燁一見對方這麼說，也就沒有過去再說什麼，人家已經這麼緊張了，自己就不去給人施加壓力了。

這個時候，無論你說什麼安慰話，反饋到對方腦子裡的，都是無形的壓力。

趙燁從地下車間走出了，就去看矽錠的處理了。

此時的矽錠，已經從一開始的30MM直徑，擴大到了50MM左右了。生產這個矽錠的是滬上一家工廠。他們在趙燁提供的一些資料的幫助下，成功做出了這種規格的矽錠。矽錠的純淨度雖然還有待提升，但是至少是能用的了，無非良品率低一些。

不過有趙燁這個BUG在，少量的矽錠他還是能處理的。

趙燁在切割好的矽晶片上一陣尋摸, 一會兒拿起這個, 一會兒又拿起那個。外人以為他是觀察切割的質量，可是沒人知道，他是在處理晶圓。

總不能真的按照真是的成品率來吧？那也太折磨人了。這經過一下他的手，成品率一下就上來了。要是有人問為什麼，那就是趕上了，巧合了，對方生產用心了。

還有一點，現在的晶圓直徑還是很小，但趙燁他們的加工精度又遠遠不夠，那麼趙燁等人放棄了把晶圓切成一個矩形的思路，而是把晶片做成一個圓形。

可是圓形也有圓形的弊端，最主要的一個就是，無法分辨方向和位置。這在加工和使用的時候，非常的不方便。

趙燁於是就想了個辦法，既然正圓不行，那就給它一刀好了。於是就有了現在的晶圓，每一片都確實了一個三十度的弧，就是把這整個截面的個扇形區域，變成一個三角形。

這樣，卻了一塊兒的這邊就是正上方，除此之外，為了定位的需要，在這個直邊和他的下方，還開了三個不同形狀的小缺口。這樣一來讓加工的各個環節都能清楚的知道這個晶圓的正反面和方向。

第二天吃過了早飯，浩浩蕩蕩的幾十人都來到了地下車間，大家都想見證一下，第一塊這麼大規模的集成電路的產生。甚至**日報還派來了專門的攝影記者，一個攝像機和照相機，分別架在里光刻機的一邊。

趙燁和馬華一組，第一個開機試生產。照相機清楚的記錄下趙燁拿起的第一塊矽晶片。

既然是試生產，電路的設計其實並不是很複雜。不過為了驗證一些技術，局部地方被設計的還是比較精細和複雜的。可即便是這樣，這一組用來測試的三十塊晶圓，還是用了整整一天的時間，才從這個車間走出去。

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