第231章 歷史性時刻，命名逐光（1/2）
「我說老賀，今天居然這麼平靜，可有點不太像你了。」
12月10日，周四。
微電子裝備總部大樓，毫米級實驗室內，丁順安看著面色淡然的賀鵬濤，忍不住主動搭話詢問。
經過將近兩個月的研發，燕京材料研究院方面，成功製造出多環結構光源靶盤，並第一時間送到魔都。在分析研判後，決定於今天展開新一輪實驗驗證。
由於這段日子裡，微電子裝備這邊，也在全力攻堅集成電路等部件。
可以說對國產極紫外光刻機的研發，已正式進入全面加速階段。
只要徹底解決穩定，且功率達到250瓦商用標準的極紫外光源，便又能往前邁出巨大一步。
同時更好的反擊海外輿論。
而按照以往表現，面對這種國產極紫外光刻機，研發過程中的歷史性關鍵點，賀鵬濤往往會格外緊張。甚至不惜親自上手操作，生怕中途出現什麼岔子，導致實驗過程中發生變故。
但今天他卻一改常態。
除面色鎮定外，還把更多的工作，交給了自己的學生潘耀去做。
他此刻，把丁順安的話聽進耳中，下秒瞥過目光。
理所當然答道：「我相信徐總師的方案，自然沒甚好擔心的。」
「至於潘耀嘛，總要給年輕人鍛鍊的機會，否則如何快速成長，肩負起未來的科研任務。」前腳才剛說完，緊接著他又特意補充一句。
「這話確實沒毛病。」丁順安點點頭自語般應聲。
話落。
視線下意識，看向身旁正站的筆直的徐銘。
那份胸有成竹的自信，確實讓人安心。
回想自己剛接觸徐銘時，何嘗不是和賀鵬濤一樣。
既操心國產極紫外光刻機的研發進度，就生怕如此年輕的徐銘，無法勝任國家重點項目總設計師的工作。
直到上次驗證極紫外光源時，過程中還忐忑不已。
可現在卻內心坦然，就像是提前看到了實驗結果，認定必然成功。
說實話剛意識到這種想法時，他自己都嚇了一跳，畢竟這對一位資深院士來說確實不應該。
科研實驗是嚴謹的，在沒有看到最終結果前，任何情況都有可能發生。
失敗更是再正常不過。
但偏偏受徐銘的影響，形成了這份信心。
只能說徐銘展現出來的天賦和水平，實在太超出常人有限的認知，讓原本幾乎不可能做到的難題，變成了一個個的現實。
徐銘聽著兩位老院士的對話，並未開口參與交流。
他身為項目總設計師，儘管璇璣系統那邊，仍面臨著隨機幾何分析框架的構建證明，然像今天這樣，關乎著核心光源系統的實驗，肯定還是要親臨現場坐鎮的。
所以在同蘇振豪，安排好燕京那邊的事宜，便專程趕回來一趟。
在提出這項新的，獲得穩定極紫外光源的方法時，他便有了改變光源靶盤結構，來提高光源功率的想法。
既然50瓦功率的光源都驗證成功，那麼這次顯然也不會有問題。
確實不需要太擔心。
就當他念頭停留在這裡，只見潘耀邁步走過來，駐足後立即開口進行報告。
「徐總師。」
「演示裝置和多環結構光源靶盤，以及雷射設備，都安裝檢測完畢，隨時可以開始實驗。」
「您下指令吧。」
徐銘聞言正了正臉色，接著不再有任何遲疑。
嘴唇微動吐出幾個字。
「驗證開始。」
潘耀強安耐住激動回道：「是徐總師。」
話音落下的同時，立刻轉身回到實驗裝置控制系統屏幕前，在工程人員的操作下，正式啟動雷射設備。
透過觀察窗，看向實驗室內的那台演示裝置。
只見從多個雷射設備中，同時發射出一束高強度且高重複頻率的近紅外雷射，在照射到高速旋轉的光源靶盤上後，雷射在每一個點上瞬間激發耦合態。
輻射出穩定的極紫外光。
與此同時。
賀鵬濤和丁順安兩位院士，也難以繼續保持平靜，面部表情上隱隱浮現出激動之色。
目光牢牢緊盯著，屏幕中實時反饋的數值。
甚至下意識念出聲來。
「輻射出的光源波長，依舊為13.5納米，屬於極紫外光波段。」
「輸出光源穩定在80瓦————」
「120瓦————
，「200瓦——
「250瓦，我們驗證成功了！」
隨著期望的數字終於出現，在聲音落下瞬間，制室內頓時爆發出熱烈的掌聲，慶祝這一里程碑式重要時刻。
「我早就說過，徐總師的方案沒問題。」賀鵬濤待大家的掌聲落下，抬手輕擦了下濕潤的眼角，毫不掩飾堆在臉上的喜悅之情。
旁邊的丁順安，同樣內心激動不已。
視線依舊鎖定在那台毫米級演示裝置上，心情複雜連連感慨。
「從我國開始重點研究光刻機，到現在多少年了，總算實現了可商用的，足以領先世界的核心光源系統，我這輩子沒啥遺憾嘍。」
「才只是成功驗證了核心光源系統，你就沒遺憾了，起碼也要看到咱們的極紫外光刻機問世。」賀鵬濤笑著接過話茬，跟在丁順安後面補充了兩句。
丁順安附和道：「有徐總師在，這是遲早的事。」
說完兩人轉頭看向徐銘。
「徐總師，請允許我代表所有光機所人員，由衷向你表示感謝。」賀鵬濤最先開口道：「沒有你的物理理論，我們根本不可能這麼快，便攻克穩定功率的極紫外光源。」
「僅這一項理論成果，就起碼讓咱們少走了幾年，甚至十幾年的彎路。」丁順安也沒沉默。
面對兩位院士的如此稱讚，徐銘反應更快，連忙出聲回應。
「兩位院士言重了，既然這個擔子交給我，那我自然會盡最大努力做好。」
「何況後面還有更重要的工作，需要我們大家完成。」
把熱烈氛圍推向高峰。
接下來的時間，實驗室交給了潘耀負責。
繼續進行光源實驗，好記錄更加詳細的數據，用於之後極紫外光刻機核心光源系統的組裝。
徐銘則和賀鵬濤與丁順安兩位院士，來到辦公室安排後續工作。
「下一步我們微電子裝備，就會正式把新的極紫外光源技術，應用到光刻機的核心光源系統上，另外雙工件台控制系統和計量檢測系統，也都在同步的攻堅中，這些年集團的研究可不是一點成果沒有。」
辦公室內丁順安首先發言，在講到最後一句時，能感受到話語中的自信。
春城光機所擅長光刻機的核心光源系統，微電子裝備卻是主攻其他部件技術O
尤其作為國產光刻機主力研發團隊，肯定在部分領域也有著獨到之處，甚至並不落後海外技術多少。
如今最困難的極紫外光源被順利解決，就好比在兩截道路中間的大山中，打通了一條可通行的隧道，當車輛全速行駛起來，距離終點站又豈會遠。
賀鵬濤雖來自春城光機所，但對於微電子裝備方面的研究還是比較認可的。
尤其現在還進行了資源整合。
聞言也當即講出自己的看法和決心。
「眼下我們有了極紫外光源，並且還是比轟擊錫滴更加高效容易的技術，根據國內技術整體評估，我看最多兩年時間，就能成功組裝出首台國產極紫外光刻機。」
「阿斯麥公司的新一代極紫外光刻機，恐怕也會在兩三年時間內發布。」丁順安想到什麼接過話茬補充。
賀鵬濤笑呵呵回複句。
「那就剛好比一比，看看誰的極紫外光刻機，綜合性能更加領先。」
徐銘聽完兩人的對話，嘴角也不由得微微上揚，對阿斯麥公司的光刻機，還真湧現出些許期待。
他也想看看，採用了全新物理現象理論，研發出的極紫外光刻機究竟能達到何種水準。
估摸著拿下阿斯麥在行業中的地位，恐怕不會太難。
思維思忖至此，他很快輕微搖了下頭，暫時把這件事拋在腦後，主動提起接下來的正事。
「後續極紫外光刻機的研發，就還拜託賀院和丁院來坐鎮負責了，如果遇到什麼技術瓶頸的話，隨時通知我參加研討會商議解決方案。」
「等璇璣系統的開發穩定後，我會多關注這邊的。」
目前全新隨機幾何分析框架的構建，正值最後的關鍵幾個證明步驟。
等完成此理論，便能正式著手開發新的算法。
在這種情況下，他肯定不能逗留在微電子裝備，今天下午就要趕回燕京繼續推導。
主要璇璣系統和光刻機，都是高端晶片製造產業鏈中的重要環節，只不過一個屬於前端一個屬於後端。
想實現百分之百國產化升級，就必須把璇璣系統和國產極紫外光刻機，同時研發出來才行，否則單獨離開哪項都無法發揮出自身的作用。
無論賀鵬濤還是丁順安，他們自然都清楚，璇璣系統的重要性。
不過在聽完徐銘這番話之後，互相對視一眼，依舊能看出彼此瞳孔中的疑惑。
本以為徐銘選擇把精力放在新一代EDA上，只是藉助總設計師的身份，好讓國內EDA公司更好整合技術，加快全新一代極紫外光EDA工具算法問世。
結果在璇璣系統項目發布後，他們才意識到，徐銘不單單是負責人那麼簡單。
而是親自參與了璇璣系統的開發。
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