第244章 流片數據出爐，光刻機主體成功（2/2）
或許是看到氛圍太過嚴肅，這個時候一直沒發言的余高遠，終於捨得主動開口。
「真讓人驚心動魄啊，不知道有多久，沒經歷過這種心情了。」
說這句話時，故作輕鬆的語氣，和臉上堆出的微笑，為大家的情緒增添一些不同的波動。
「大家的壓力確實不小。」賀鵬濤點點頭附和句。
前腳話音剛落，身旁科學院化學研究所的周啟深院士，也接過話茬道：「國家有徐總師這樣的天才，我相信逐光極紫外光刻機，肯定能光刻出良好的各層圖案。」
他比賀鵬濤和丁順安小上幾歲，在光酸劑與樹脂等分子設計，以及合成與作用機理等研究領域，位於國內領先地位。
對國家化學材料的發展，做出過重要貢獻。
此次整合國內資源，成立國家集成電路製造研發創新中心，他所在化學研究所，也被納入整合範圍。
負責國產高端光刻膠的研發工作。
其中值得一提的是，徐銘擅長數學物理甚至信息學科，憑藉自身實力和天賦，帶領光刻機和晶片設計軟體，快速實現技術疊代。
以至於經常能在網上看到，又有新的進展新聞。
這對他們光刻膠項目組團隊來講，無疑有著巨大的壓力。
只能依靠自身。
盡最大努力，保證國產高端光刻膠的研發，做到不拖其他項目部門的後腿。
畢竟大家所在工作屬於一個整體，任何人掉隊都不行。
幸好他們的運氣還算不錯，在首台逐光極紫外光刻機組裝完前夕，成功合成一種效果更好的光刻膠。
遠超過當前國內的光刻膠水平。
而正當他思維快速運轉，腦海中一直想著流片結果時，耳旁突然響起徐銘的熟悉聲音。
「我們要看的，不是能不能做出圖形，而是現實與預測的偏差，究竟有多少原子。」徐銘看向周啟深院士，神情很是認真的接話，他對流片數據的要求，遠比現場人要高。
如果說其他人的目標，是晶片製造技術，追趕上阿斯麥設備的產品。
那麼他則是要超過。
況且在付出這麼多努力和心血後，想達成這一點，也並非是什麼不可能做到的事。
余高遠對徐銘的了解，無疑要比現場任何人都深。
他在聽到這句話，當即應和道：「有你的這句話，我對流片結果可是更加期待了，看來又要給我驚喜。」
眾人之間的交流並未持續多久，很快就又被流片過程吸引。
目睹百分之百國產化，正在運行的逐光極紫外光刻機，團隊士氣越發高昂。
由於整個流片過程，包括光刻和刻蝕，以及沉積等數十道工序，且被嚴密監控，因此往往要歷時數周時間才能結束。
面對這種情況，大家毅然留在微電子裝備。
都想第一時間看到流片數據，也好見證國內晶片製造歷時上，真正里程碑時刻。
很快來到月底。
高考結束分數陸續出爐，准大學生開始填寫志願，選擇自己心儀的高校專業。
如果這時候去參加，各地舉行的招生活動，則會發現燕大所在展台位置，基本上一個學生和家長都沒有，但偏偏被旁邊的箐華等，學校招生老師羨慕的不行。
沒辦法。
正所謂樹的影，人的名。
在徐銘這張金字招牌下，燕大已然成為，全國最頂尖的高校。
徹底把箐華甩在後面。
甚至放眼國際，燕大也的地位排名，也在以肉眼可見的速度，每年持續上漲。
特別是有著瘋人院」美稱的數院。
有這些因素在，能夠上燕大的學生，根本不會糾結猶豫。
自然用不著參加這種活動。
放前幾年的時候，徐銘偶爾還會幫忙為學校招生宣傳，畢竟在他那一大堆頭銜中，最開始的可是燕大數院教授。
不過今年肯定是沒有這個時間。
6月27日，周二，微電子裝備集團總部。
今天光學測量實驗室內，要比以往任何時候都要熱鬧，尤其人員上更是打破記錄。
因為在外面房間內，愣是聚集了大十幾個身影。
且有將近一半，都為院士。
目前用於流片的晶圓片已完成製造，被送入了光學測量實驗室，進行關鍵的光學測量和電子顯微鏡檢測，這能夠得到詳細的流片數據，以及晶片良品率。
眾人眼下待在這裡，正是想第一時間知道結果。
明明面積不大的房間內，大家幾乎緊挨著坐下，卻愣是安靜的很。
紛紛保持著沉默。
誰都沒有率先開口打破僵局。
顯然心情都很緊張。
直到房間門外突然響起一陣敲門聲，瞬間讓眾人同時抬起視線望去，心臟仿佛都跳快了不少。
平時一向穩重的院長余高遠，更是首先脫口喊話。
「進來。」
穿著實驗服的科研人員推門進來，手中拿著份嶄新出爐的報告，腳步才剛邁進房間，便迫不及待開口匯報。
「徐總師，各位院士領導。」
「晶圓片的光學測量數據結果出來了————」
「直接講吧。」徐銘聞言立刻出聲，把對方的話給打斷。
而這個時候，那位科員人員也沒有耽擱，僅短暫頓了一秒，忙詳細講出報告中的數據。
「根據測量結果顯示，逐光解析度完全達標，光學成像能力優秀，各層圖案對齊良好，另外光刻機的機械精度達到預期。」
當徐銘以及賀鵬濤和丁順安，等微電子裝備科研人員，聽完這番話後，原本懸著的心總算徹底放下，證明逐光國產極紫外光刻機主體研發成功。
標誌著國內終於擁有了，百分之百國產化的，高端極紫外光刻機。
不過大家並沒有在這個時候鼓掌慶祝，反倒是強壓住心中激動，繼續聽後面的其他流片數據項目結果。
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