第170章 EUV光刻機?(2/2)
光刻機需要的鏡面誤差十分之小,鏡面誤差不能大於零點零五微米。
這誤差的範圍用個形象的比喻,如果把鏡面誤差比喻成天涯海角島的話,那麼整個天涯海角島的平整度誤差不能大於十毫米!
而最為恐怖的是這樣的鏡片不只是一個,因為鏡片這東西其實是有成像誤差的,這成像誤差在光刻生產環節的影響十分之嚴重。
因為偏差一點就會把整個晶片損壞,畢竟那可是幾十納米的大小,光照到了不該照的地方,最後製造成成品時肯定會短路!
所以為了解決成像誤差,光刻機就需要非常多的鏡片來解決成像誤差的問題。
這也是為什麼很多昂貴的攝像機或相機的鏡頭,為什麼會那麼長。
原因其實和光刻機面臨的問題一樣,為了解決成像誤差的問題,所以相機鏡頭裡面有著非常多的鏡片!
這些鏡片都是高精度鏡片,相互之間精度要求非常之高,所以會出現一個鏡頭會比相機還貴的現象。
而且別的不說,就說後世的手機鏡頭模塊裡面,其實有著五到六片鏡片!
而光刻機自然比相機與手機鏡頭要求高,所以現在的光刻機隨著越來越深入幾十納米的層次。
要求越來越高,鏡片的數量也越來越多,目前的光刻機鏡片已經達到了十六到二十個鏡片。
此時的人們不知道的是,在後世能生產幾納米晶片的euv光刻機鏡片已經達到了二十九個!
這也是為什麼林軒情願花費一億資金,也要把那堪稱破爛的鳳凰公司收購的原因。
因為這些鏡片的要求太過嚴苛,為了那幾個專精於鏡面打磨的八級工,林軒也是捨得出一億的資金把他們買下來!
「我們還是讓林軒先生來決定到底怎麼樣吧。」
人群的前排中,王院士看著隱隱有開始爭吵的趨勢的諸位博士們與研究生們,他緩緩開口說著。
隨著王院士的開口,瞬間,現場陷入了寂靜。
隨後人們將視線看向了林軒這裡,在上千雙眼睛的注視下,林軒也是緩緩開口道:
「關於光刻機的問題,我的決定是直接放棄深紫外光(duv)光刻機,直接研發極深紫外光(euv)光刻機!
而且euv光刻機還沒有太多公司進入這個領域,在這個領域中也沒有太多專利,正好方便我們自由發揮設,設計難度也大幅降低。」
聽到林軒的決定,現場頓時有博士搖頭不認同直接跳過euv光刻機,直接研發euv光刻機這點。
「林先生,雖然因為有 kbbf晶體的原因,我們在光源上有優勢。
但鏡平還有成像定位系統可是一個難題,而且光刻機的零件性能要求十分之高,精度也十分之高,這種程度的要求我們能造得出來嗎?
我不是說設計的問題,而是我們有那個材料,有那個加工精度嗎?」
隨著那個發出質疑的博士話語,現場陷入了絕對的寂靜。
確實,國外為什麼比我們先進,原因就是他們除了擁有豐富的工人隊伍。
也就是有著龐大的八級工九級工隊伍外,他們機器上的精度也十分驚人!
光刻機是一個涉及全領域的東西, 它涉及光學,機械,材料,化學等等全方面的領域,被人稱呼為工業之花。
許多東西,大夏如果想設計的話也是可以設計出來,但能設計卻加工不出來啊!
雖然有八級工九級工的存在,但八級工與九級工能造幾個東西?
這個時候,看著陷入沉默的人們,何秘書也是適時的發話道:
「加工精度上不用擔心,因為我們相比「兩旦一星」的艱難時期已經有了很大的變化!
雖然我們機器的加工精度不行,但我大夏有著龐大的工人隊伍!」
說到這裡的何秘書笑著說道:
「這次上面為了攻克45納米製程工藝也是下狠了心,某位老人還特別發話無論要什麼都全力支持,無論是軍或民都要全力配合。
所以無論是國l營廠還是軍公廠,只要你能設計出來並且你們支付了委託費用,那我都會幫你們打通環節,就算用手工硬堆,也要堆出你的零件!
此外材料問題也不用擔心,這次上面也是下狠了心,為了我大夏能將半導體製程工藝推進到45納米分層次。
只要漢唐科技給錢,某些辛苦收集來的戰略材料也是下了狠心打開倉庫讓你們用,所以材料問題你們不用擔心。
只要我們有的我們就立馬給你,我們沒有的,我們會想方設法地弄給你們!」
聽到陳秘書的發言,現場陷入了絕對的寂靜!
所有人的眼中都露出了驚駭的眼神,沒有想到上面竟然如此重視!