第300章 晶片試生產和流片(3/4)(2/2)
第二天一大早,葉子書、武超強和任正非,以及一幫高級研發人員,都來到了晶片生產工廠,今天是試生產的日子,同時也是青龍科技公司晶片流片的日子。
由於這次是試生產,玄武科技公司沒有向青龍科技公司要流片費用,如果失敗了,成本只能自己承擔。
一幫人穿著防塵服進入工廠裡面,葉子書直接去了總控制台那邊,將青龍科技公司設計出來的各種通信晶片設計方案導入到系統裡面。
然後安排晶片生產計劃,安排好之後,總控制台就可以根據計劃,自動切換晶片的製造任務,讓晶片生產可以無縫銜接。
做完這些之後,葉子書來到生產車間,和任正非他們匯合,並且告訴武超強,晶片試生產會在上午9點正式開始。
目前各個崗位的員工正緊張待命,雖然他們能做的事情並不算很多,但是一股緊張氣氛,依然瀰漫在工廠裡面。
這是我國第一座先進的晶片製造工廠,是我國晶片發展的重要里程碑,只要稍微有些常識的人,都知道這次試生產意義有多重大。
倒是葉子書沒有太緊張,因為他在虛擬圖書館裡面模擬了很多次,結果都很理想,不僅沒有失敗,良品率竟然高達98%以上,接近99%。
這樣的良品率就足夠吊打很多晶片製造生產線,良品率的提高,除了設備先進之外,減少外物的干擾也是重中之重。
時間悄然來到上午九點,生產線上的各種設備從待機狀態陸續進入工作狀態。
等到所有機器都處於工作狀態的時候,工人將晶圓投入到濕洗設備裡面,開始自動用各種試劑保證晶圓表面沒有任何雜質。
這個環節過後,晶圓自動被送入到光刻環節,晶圓在這個過程中,不以任何設備發生接觸,晶圓處於磁懸浮托盤當中。
然後在懸浮狀態進行光刻,一張晶圓的光刻速度只需要12秒,速度是非常快的,光刻完之後,就自動被送入到離子注入設備當中。
後面經過干蝕刻、濕蝕刻、等離子沖洗、熱處理(包括快速退火、退火、熱氧化)、化學氣相沉澱、物理氣相沉澱、分子束外延、電鍍處理、化學/機械錶面處理。
到這一步算是接觸了晶圓測試之前的所有環節,晶圓測試之後,就進入晶圓打磨環節,之後就可以出廠了。
雖然環節說起來簡單,但是一片晶圓要完成所有的環節,絕不是一天時間能夠完成的,一般需要30天左右。
葉子書設計的晶片生產線,由於工藝流程做過優化,各種設備也是高度自動化,依然需要20天時間。
所以流片的時候,葉子書安排每種通信晶片只製造10片晶圓,然後自動切換到下一種晶片的製造。
這樣等到20天之後,就可以知道各種晶片的流片結果,流片通過就意味著晶片設計沒有任何問題,可以進入正式生產階段。
同時也可以得出晶片生產線的良品率是多少,不過他已經在虛擬實驗室做過測試,對此不是很擔心。
在晶片生產工廠又待了一天時間,出來之後,葉子書對武超強說道:「目前來看,運行非常良好,你們繼續盯著,我就不再繼續將時間耗在這裡了。」
葉子書時間比較寶貴,不可能花費20天時間,一直耗在這邊等結果,完全沒有必要,所以準備明天就直接飛回首都。
一旁的任正非也跟著說道:「明天我也跟著你回去吧,這裡就麻煩武總以及各位工程師了。」